Abstract:
본 발명에 따른 스위칭 소자는 화학식1 Bi 5 Nb 3 O 15 의 유전체 조성물로 형성되는 유전체 박막층을 포함한다. 따라서 본 발명에 따른 유전체 조성물은 화학식 1의 Bi 5 Nb 3 O 15 조성을 갖으며, 400℃ 이하의 저온 공정에서 형성할 수 있는 유전 박막 재료를 확보할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 유전체 조성물 및 이로 형성되는 유전체 박막층을 구비하는 스위칭 소자는 고유전율, 저유전손실 및 저온에서 용이한 증착공정으로 성능이 향상될 수 있는 효과가 있다.
Abstract:
2010년 ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductor)의 요구조건인 4.0 fF/㎛ 2 이상의 정전 용량 밀도, 7 fA/pFV 이하의 낮은 누설전류, 100 ppm/V 2 이하의 정전용량 전압계수(VCC), 50 이상의 품질계수를 모두 만족시킬 수 있는 MIM 캐패시터가 제공된다. 본 발명에 따른 MIM 캐패시터는 상부전극과 하부전극; 및 상부전극과 하부전극 사이에 50~70 nm의 두께를 가지고 형성되는 BaTi 4 O 9 박막을 포함한다. 또한, MIM 캐패시터의 제조방법도 제공된다. MIM, 캐패시터, ITRS, 정전용량, 누설전류, VCC, TCC
Abstract:
PURPOSE: A piezoelectric material for a multilayer actuator in a haptic device and a fabrication method thereof are provided to minimize power consumption by performing a sintering process at a low temperature. CONSTITUTION: Copper oxide of 0.1 to 10 mole% is added to a compound. The compound is indicated as a chemical formula 1. A haptic device is laminated by using a piezoelectric material. A mixture is manufactured by a wet mixing process (S110). A first powder is formed by drying the mixture (S120). [Reference numerals] (S110) Step where a below-mentioned compound is produced by wet-mixing raw powder including PbO,ZrO_2,TiO_2,NiO,ZnO, and Nb_2O_5 according to a mol rate; (S120) Step where the compound is dried and calcined at around 700-1,000 °C in order to create a first powder; (S130) Step where copper oxide of 0.1 to 10 mole % is added to the first powder and the powder is wet-mixed and dried to produce a second powder; (S140) Step where the second powder is pressed and sintered at around 700-1,000 °C in order to create a piezoelectric body
Abstract:
본 발명은 마이크로파 유전체 세라믹스 조성물 및 이를 이용한 마이크로파 유전체 세라믹스 제조방법에 관한 것으로, 특히 Zn 1.8 SiO 3.8 세라믹스에 소결조제로 V 2 O 5 나 Bi 2 O 3 를 첨가함으로써 920℃ 이하의 저온에서 소결이 가능하며, 우수한 마이크로파 유전특성을 가지면서 동시에 저온으로 내부 도체 전극과 동시소결이 가능하여 고주파 소자의 적층화에 매우 적합한 마이크로파 유전체 세라믹스 조성물 및 그 제조방법에 관한 것이다. 유전체 세라믹스, 저온 소결, 동시소결, 적층 세라믹 콘덴서
Abstract:
PURPOSE: A microwave dielectric ceramics composition and a manufacturing method of a microwave dielectric ceramics using thereof are provided to secure the excellent microwave dielectric property by adding V_2O_5 or Bi_2O_3 as a sintering aid to a Zn1.8SiO3.8 ceramics. CONSTITUTION: A microwave dielectric ceramics composition contains Zn1.8SiO3.8 and Y in a ratio of 1:0.03~1:0.25. Y is selected from either V_2O_5 or Bi_2O_3. A manufacturing method of a microwave dielectric ceramics composition comprises the following steps: wet-mixing the Zn1.8SiO3.8 and the Y with a solvent, and crushing to make mixed powder; drying the mixed powder; and molding and sintering the dried mixed powder.