公开(公告)号：KR1020150028371A

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：KR1020130099055

申请日：2013-08-21

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  박석원 ,  한권덕 ,  최형종

IPC: C23C16/448 ,  C23C28/00

CPC classification number: C23C16/448 ,  C23C16/24 ,  C23C16/34 ,  C23C16/44 ,  C23C16/4411 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/4486 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C28/00

Abstract: 제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치 및 방법이 개시된다. 제논 플래시 램프를 이용한 원자층 증착 장치는 제논 플래시 램프를 이용 순간적인 복사열로 어닐링 공정을 수행함으로써 사용자가 어닐링 공정을 원하는 표층 박막에만 어닐링 공정을 적용할 수 있다.

Abstract translation: 在本发明中公开了一种原子层沉积装置和使用氙闪光灯的方法。 使用氙闪光灯的原子层沉积装置可以仅使用用户希望通过使用氙闪光灯进行瞬时辐射热的退火处理来进行退火处理的表面层的薄膜进行退火处理。

公开(公告)号：KR1020140108097A

公开(公告)日：2014-09-05

申请号：KR1020130132098

申请日：2013-11-01

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  박석원 ,  최형종

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/448 ,  C23C16/44

Abstract: The present invention relates to a powder transfer type atomic layer deposition apparatus capable of depositing an atomic layer by efficiently transferring a large amount of powder. According to an embodiment of the present invention, the powder transfer type atomic layer deposition apparatus comprises: a plurality of precursor chambers separated from each other; a transfer part penetrated inside the plurality of precursor chambers consisting of a porous material; and a pump to transfer the injected powder along the transfer part.

Abstract translation: 本发明涉及通过有效地转移大量粉末而沉积原子层的粉末转移型原子层沉积装置。 根据本发明的实施例，粉末转移型原子层沉积装置包括：彼此分离的多个前体室; 透过多孔材料构成的多个前体室内的转印部; 以及沿着转印部分转移注入的粉末的泵。

公开(公告)号：KR1020160121972A

公开(公告)日：2016-10-21

申请号：KR1020150051899

申请日：2015-04-13

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  배기호 ,  박석원 ,  최형종 ,  한권덕

IPC: F16B33/06 ,  F16B33/00 ,  F16B35/04 ,  C23C16/455

Abstract: 금속스레드화스너는화스너몸체및 상기화스너몸체를전체적으로덮도록형성된세라믹박막을포함한다. 상기세라믹박막은원자층증착공정을통하여형성되며, 상기세라믹박막은 1 내지 50 nm의두께를가질수 있다.

公开(公告)号：KR101491893B1

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：KR1020130006388

申请日：2013-01-21

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박석원 ,  심준형

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

Abstract: 본 발명은 진동을 이용한 원자층 증착 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따르면, 진동을 이용한 원자층 증착 장치로서, 진공 상태가 유지되는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 기능성 박막이 증착되는 다공성 나노입자를 포함하는 다공성 실린더-상기 다공성 실린더는 상기 기능성 박막 형성을 위한 전구체 및 반응체의 소스가스는 통과시키고 상기 다공성 나노입자의 유출을 방지하는 사이즈의 기공을 가짐-; 및 상기 챔버에 진동을 가하는 진동자를 포함하되, 상기 진동자는 상기 챔버 내에 위치한 상기 다공성 실린더를 진동시키는 원자층 증착 장치가 제공된다.

公开(公告)号：KR1020140109234A

公开(公告)日：2014-09-15

申请号：KR1020130131380

申请日：2013-10-31

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 최형종 ,  심준형 ,  박석원 ,  한권덕

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4417 ,  C23C16/52

Abstract: The present invention relates to an atomic layer deposition apparatus using dispersion capable of uniformly depositing an atomic layer to each nanoparticle by dispersing nanoparticles using wavelength having vibration. According to an embodiment of the present invention, the atomic layer deposition apparatus using dispersion comprises: a powder chamber; a gas transfer pipe connected to the powder chamber to transfer gas to the powder chamber; a wavelength generating part to generate wavelength capable of generating vibration at a constant frequency; a wavelength controlling part to control wavelength generation of the wavelength generating part; and a medium chamber filled with a fixated medium to accommodate the powder chamber and the wavelength generating part, and to transfer the wavelength generated in the wavelength generating part to the powder chamber.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用能够通过使用具有振动的波长分散纳米颗粒，使每个纳米颗粒均匀沉积原子层的分散体的原子层沉积装置。 根据本发明的实施例，使用分散体的原子层沉积装置包括：粉末室; 连接到粉末室以将气体转移到粉末室的气体输送管; 波长发生部，其产生能够以恒定频率产生振动的波长; 波长控制部分，用于控制波长发生部分的波长产生; 以及填充有固定介质以容纳粉末室和波长发生部分的介质室，并将在波长产生部分中产生的波长传递到粉末室。

公开(公告)号：KR1020140094121A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：KR1020130006388

申请日：2013-01-21

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박석원 ,  심준형

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

Abstract: Disclosed are an atomic layer depositing apparatus and a method using vibration. The atomic layer depositing apparatus using the vibration includes a chamber in which a vacuum state is maintained; a porous cylinder positioned in the chamber and containing porous nano-particles on which a functional film is deposited, the porous cylinder having voids of a size to pass source gases for a precursor and a reactor for forming the functional film and to prevent discharge of the porous nano-particles; and a vibrator for applying the vibration to the chamber, the vibrator vibrating the porous cylinder positioned in the chamber.

Abstract translation: 公开了一种原子层沉积装置和使用振动的方法。 使用振动的原子层沉积装置包括保持真空状态的室; 多孔圆柱体，其位于所述腔室中并且包含沉积有功能膜的多孔纳米颗粒，所述多孔圆筒具有通过用于前体的源气体的尺寸空隙和用于形成功能膜的反应器，并且防止 多孔纳米颗粒; 以及用于将振动施加到腔室的振动器，振动器振动位于腔室中的多孔圆筒。