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公开(公告)号：WO2016186299A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/KR2016/001938
申请日：2016-02-26
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/48
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/04 , C23C16/047 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/46
Abstract: 본 발명은, 소스 가스 및 퍼지 가스를 공급하여 기판 표면에 원자층 박막을 증착시키는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치에 있어서, 반응 챔버와, 상기 반응 챔버 내에 배치되고, 일면 상에 기판이 배치되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 상대 가동 가능하게 배치되는 컴비네이션 노즐부와, 상기 기판에 원자층 박막을 형성하기 위한 프리커서 및 산화제를 공급하는 가스 공급부가 구비되고, 상기 컴비네이션 노즐부는, 상기 기판의 일면을 선택적으로 국부 가열시키는 레이저를 조사하는 레이저 코어를 구비하고, 상기 가스 공급부는, 적어도 일부가 상기 레이저 코어에 근접 배치되고 상기 기판의 일면으로 상기 레이저 코어에 의하여 선택적으로 국부 가열되는 영역에 가열된 상기 기판 영역에 흡착되는 프리커서 및 상기 프리커서의 리간드를 제거하는 산화제를 제공하는 것을 특징으로 하는 국부 원자층 선택 박막 증착 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置，其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上，该装置包括：反应室; 设置在所述反应室内的台，设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元，设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元，其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂，其中所述组合喷嘴单元具有激光芯，所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面，并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻，并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域，其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150134873A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：KR1020140062250
申请日：2014-05-23
Applicant: 한국과학기술연구원 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56 , H01M8/124 , H01M4/86 , H01M4/88 , H01M4/90 , H01M8/02 , H01M8/12
Abstract: 본발명은프로톤전도성산화물연료전지및 이의제조방법에관한것으로, 연료극지지체소재로저렴하고, 화학적안정성및 전자전도성이우수한이종물질을선정하고, 상기연료극지지체상에이온전도성및 전자전도성이우수한프로톤전도성산화물및 금속촉매를포함하는중간층을도입함으로써구성층간발생할수 있는계면결함을방지하여단전지의장기안정성을확보하고, 내부저항을감소시켜연료전지의성능을향상시킨다.
Abstract translation: 本发明涉及一种质子传导性氧化物燃料电池及其制造方法。 本发明的质子传导性氧化物燃料电池使用具有优异的化学稳定性和电子传导性以及作为阳极支撑体中使用的材料的成本效益的异种材料。 本发明的燃料电池还在阳极支撑体上形成由金属催化剂和质子传导性氧化物构成的中间层，其具有优异的离子和电子传导性，从而防止在所述层内发生的界面缺陷。 此外，燃料电池显示出端电池的长期稳定性，并通过降低内阻来提高燃料电池的性能。
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公开(公告)号：KR101680626B1
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020140062250
申请日：2014-05-23
Applicant: 한국과학기술연구원 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 본발명은프로톤전도성산화물연료전지및 이의제조방법에관한것으로, 연료극지지체소재로저렴하고, 화학적안정성및 전자전도성이우수한이종물질을선정하고, 상기연료극지지체상에이온전도성및 전자전도성이우수한프로톤전도성산화물및 금속촉매를포함하는중간층을도입함으로써구성층간발생할수 있는계면결함을방지하여단전지의장기안정성을확보하고, 내부저항을감소시켜연료전지의성능을향상시킨다.
Abstract translation: 本发明涉及一种质子传导性氧化物燃料电池及其制造方法。 本发明的质子传导性氧化物燃料电池使用具有优异的化学稳定性和电子传导性以及作为阳极支撑体中使用的材料的成本效益的异种材料。 本发明的燃料电池还在阳极支撑体上形成由金属催化剂和质子传导性氧化物构成的中间层，其具有优异的离子和电子传导性，从而防止在所述层内发生的界面缺陷。 此外，燃料电池显示出端电池的长期稳定性，并通过降低内阻来提高燃料电池的性能。
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公开(公告)号：KR1020160135049A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：KR1020150068010
申请日：2015-05-15
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/48
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/04 , C23C16/047 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/46
Abstract: 본발명은, 소스가스및 퍼지가스를공급하여기판표면에원자층박막을증착시키는국부원자층선택박막증착장치에있어서, 반응챔버와, 상기반응챔버내에배치되고, 일면상에기판이배치되는스테이지와, 상기스테이지상부에상기스테이지와상대가동가능하게배치되는컴비네이션노즐부와, 상기기판에원자층박막을형성하기위한프리커서및 산화제를공급하는가스공급부가구비되고, 상기컴비네이션노즐부는, 상기기판의일면을선택적으로국부가열시키는레이저를조사하는레이저코어를구비하고, 상기가스공급부는, 적어도일부가상기레이저코어에근접배치되고상기기판의일면으로상기레이저코어에의하여선택적으로국부가열되는영역에가열된상기기판영역에흡착되는프리커서및 상기프리커서의리간드를제거하는산화제를제공하는것을특징으로하는국부원자층선택박막증착장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置，其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上，该装置包括：反应室; 设置在所述反应室内的台，设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元，设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元，其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂，其中所述组合喷嘴单元具有激光芯，所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面，并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻，并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域，其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。
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公开(公告)号：KR1020160121972A
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020150051899
申请日：2015-04-13
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: F16B33/06 , F16B33/00 , F16B35/04 , C23C16/455
Abstract: 금속스레드화스너는화스너몸체및 상기화스너몸체를전체적으로덮도록형성된세라믹박막을포함한다. 상기세라믹박막은원자층증착공정을통하여형성되며, 상기세라믹박막은 1 내지 50 nm의두께를가질수 있다.
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公开(公告)号：KR101715223B1
公开(公告)日：2017-03-14
申请号：KR1020150068010
申请日：2015-05-15
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C16/455 , C23C16/48
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/04 , C23C16/047 , C23C16/4408 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/46
Abstract: 본발명은, 소스가스및 퍼지가스를공급하여기판표면에원자층박막을증착시키는국부원자층선택박막증착장치에있어서, 반응챔버와, 상기반응챔버내에배치되고, 일면상에기판이배치되는스테이지와, 상기스테이지상부에상기스테이지와상대가동가능하게배치되는컴비네이션노즐부와, 상기기판에원자층박막을형성하기위한프리커서및 산화제를공급하는가스공급부가구비되고, 상기컴비네이션노즐부는, 상기기판의일면을선택적으로국부가열시키는레이저를조사하는레이저코어를구비하고, 상기가스공급부는, 적어도일부가상기레이저코어에근접배치되고상기기판의일면으로상기레이저코어에의하여선택적으로국부가열되는영역에가열된상기기판영역에흡착되는프리커서및 상기프리커서의리간드를제거하는산화제를제공하는것을특징으로하는국부원자층선택박막증착장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种选择性区域原子层沉积装置，其通过供应源气体和净化气体将原子层薄膜沉积在基底上，该装置包括：反应室; 设置在所述反应室内的台，设置在所述台的一个表面上的基板; 组合喷嘴单元，设置在所述平台上方以相对于所述平台移动; 以及气体供给单元，其在基板上供给用于形成原子层薄膜的前体和氧化剂，其中所述组合喷嘴单元具有激光芯，所述激光芯施加激光束以选择性地局部加热所述基板的一个表面，并且所述气体 供给单元设置成使得其至少一部分与激光芯相邻，并且将前体和氧化剂供给到由激光芯选择性局部加热的基板表面上的区域，其中前体被吸附到 底物的加热区域和氧化剂除去前体的配体。
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