公开(公告)号：KR1020140010400A

公开(公告)日：2014-01-24

申请号：KR1020137024382

申请日：2012-03-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고바야시센쇼

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67703 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/6838

Abstract: 기판을 감압 분위기하에서 처리하는 복수의 처리실이 근접하고, 상기 처리실과의 사이에서 기판을 반입반출하는 반송 기구를 내부에 갖는 복수의 진공 반송실과, 상기 복수의 진공 반송실의 각 진공 반송실에 각각 설치된 하나 또는 그 이상의 로드록실과, 외부로부터 공급된 기판을 하나의 상기 로드록실에 반송하는 제1 대기 반송 기구와, 상기 제1 대기 반송 기구로부터 기판을 수취하여, 수취한 상기 기판을 다른 상기 로드록실에 반송하는 제2 대기 반송 기구를 구비하고, 상기 제2 대기 반송 기구를 상기 하나의 로드록이 설치되어 있는 진공 반송실의 상측 또는 하측에 배치하고, 상기 복수의 진공 반송실을, 상기 제2 대기 반송 기구에 의한 기판의 반송 방향을 따라서 직렬로 배치한다.

公开(公告)号：KR1020130113437A

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：KR1020137007123

申请日：2011-09-21

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고바야시센쇼

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67739 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67184 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67098

Abstract: 본 발명은, 처리의 고효율화가 가능한 멀티 챔버 방식의 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 웨이퍼(W)를 수납하는 수납부(1)와, 웨이퍼(W)를 기밀 상태 하에서 처리하는 복수의 챔버(42, 43)가 주위에 연결되어 있고, 챔버(42, 43)와의 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 아암(A41)을 내부에 갖는 반송실(41)과, 챔버(52, 53)와의 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 아암(A51)을 내부에 갖는 반송실(51)을 구비하며, 반송실(41)로 웨이퍼(W)를, 제1 개구부(410)를 통해 반입하는 기판 처리 장치에 있어서, 제1 개구부(410)와는 상이한 위치에 마련된 제2 개구부(60)로부터 배출된 웨이퍼(W)를 반송 아암(A6), 수평 이동부(X6), 상하 이동부(Z6) 및 평행 이동부(63)를 이용하여 수납부(1)로 반출하는 반출실(6)을 구비한다.

公开(公告)号：KR1020110093704A

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：KR1020110011989

申请日：2011-02-10

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 고바야시센쇼 ,  오자와마사히토 ,  사사키요시아키

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/324 ,  B65G49/07 ,  B25J15/00

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/043 ,  B25J9/106 ,  B25J11/0095 ,  B25J19/0054 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A transfer device is provided to suppress the temperature rise of an arm portion by forming a thermal shield layer on the surface of the arm portion. CONSTITUTION: In a transfer device, an arm portion(36A,36B) is comprised of a plurality of arms. A plurality of arms is comprised of a first arm(94), a second arm(96), and a third arm(98). A pork portion(38A) is connected to the end of the arm unit and maintains an object. A thermal shielding plate(104) is arranged in the entrance of the arm portion into a reaction chamber. The thermal shielding plate is arranged in the lower part and or side of a second arm.

Abstract translation: 目的：提供一种传送装置，通过在臂部的表面上形成热屏蔽层来抑制臂部的温度上升。 构成：在转移装置中，臂部（36A，36B）由多个臂构成。 多个臂由第一臂（94），第二臂（96）和第三臂（98）构成。 猪肉部分（38A）连接到臂单元的端部并保持物体。 热屏蔽板（104）布置在臂部分的入口处进入反应室。 热屏蔽板布置在第二臂的下部或侧面。