公开(公告)号：KR101369410B1

公开(公告)日：2014-03-04

申请号：KR1020100082527

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  에시마카즈요시 ,  하라히로미 ,  호시노히로즈미

IPC: H01L21/302

CPC classification number: B08B3/12 ,  H01L21/67057

Abstract: 소형화 및 저가격화 가능한 복수의 세정조를 가지는 초음파 세정 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 초음파 세정 장치(1)는 세정액을 저장하며 피처리체(W)를 침지 가능한 복수의 세정조(10)와, 각 세정조(10)에 설치된 진동자(30)와, 각 진동자(30)에 초음파 진동을 발생시키는 단일의 초음파 발진기(41)를 구비하고 있다. 이 초음파 발진기(41)와 각 세정조(10)의 진동자(30)와의 사이에 이 초음파 발진기(41)에 접속되는 진동자(30)를 전환하는 출력 전환기(50)가 개재되어 있다. 또한, 초음파 발진기(41) 및 출력 전환기(50)를 제어하는 제어기(46)가 설치되어 있다. 이 제어기(46)는 한 세정조(10)의 진동자(30)에 초음파 진동을 발생시키는 타이밍과 다른 세정조(10)의 진동자(30)에 초음파 진동을 발생시키는 타이밍이 겹치지 않도록 초음파 발진기(41) 및 출력 전환기(50)를 제어한다.

公开(公告)号：KR1020100036181A

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：KR1020090088513

申请日：2009-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  하라히로미

IPC: G05F1/00 ,  G05F1/66 ,  H01L21/02

CPC classification number: H05B1/0244 ,  F24H9/2014 ,  F24H9/2028

Abstract: PURPOSE: A heating unit, a substrate processing apparatus and a method for heating fluid are provided to suppress the variation of heating the fluid according to time variation by controlling a heating apparatus by a time-division method. CONSTITUTION: In a heating unit, a substrate processing apparatus and a method for heating fluid, a heating unit heats fluid. The heating unit comprises a plurality of heaters and controllers. The controller controls the on/OFF of the heater. The controller produces the required power output of the heating unit. The controller produces a period of a heat-up cycle. The controller controls the heating apparatus by a time-division method.

Abstract translation: 目的：提供加热单元，基板处理装置和加热流体的方法，以通过时分方法控制加热装置来抑制根据时间变化来加热流体的变化。 构成：在加热单元中，基板处理装置和加热流体的方法，加热单元加热流体。 加热单元包括多个加热器和控制器。 控制器控制加热器的开/关。 控制器产生加热单元所需的功率输出。 控制器产生一个加热周期。 控制器通过时分方法控制加热装置。