公开(公告)号：KR102111236B1

公开(公告)日：2020-05-14

申请号：KR1020190060621

申请日：2019-05-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  사토다카미

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

公开(公告)号：KR1020160115777A

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：KR1020160034664

申请日：2016-03-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  나가이다카시 ,  하라히로미

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은농도계측부에의해희석액으로희석된처리액의농도를정상적으로측정할수 없는경우에도기판의액처리를계속해서행하여수율의향상을도모하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판(8)을희석액으로희석된처리액으로처리하는액처리부(38)와, 상기처리액을공급하는처리액공급부(39)와, 상기처리액을희석하기위한희석액을공급하는희석액공급부(40)와, 상기희석액으로희석된처리액의농도를계측하는농도계측부[농도센서(54)]와, 상기농도계측부에의해계측한상기희석액으로희석된처리액의농도에따라상기처리액공급부및 희석액공급부를제어하는제어부(7)를갖고, 상기액처리부에서상기기판의처리중에상기농도계측부에의해상기처리액의농도를정상적으로계측할수 없다고판단한경우, 상기처리액및 희석액의공급상태를미리결정된공급상태로유지하여, 상기액처리부에서의상기기판의처리를계속하는것으로하였다.

公开(公告)号：KR1020160094275A

公开(公告)日：2016-08-09

申请号：KR1020160006297

申请日：2016-01-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  사토다카미

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/30604 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67253

Abstract: 본발명은기판액처리장치에있어서, 농도센서의고장등을방지하고, 농도센서로부터석출되거나한 먼지가기판에부착되는것을방지하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판(8)을처리하기위한처리액을저류하는처리액저류부(38)와, 처리액저류부(38)에처리액을공급하는처리액공급부(39)와, 처리액저류부(38)의내부의처리액을순환시키는처리액순환부(40)와, 처리액순환부(40)로부터분기되어처리액을배출시키는처리액배출부(41)와, 처리액배출부(41)에설치되며, 처리액중의농도를계측하는농도센서(61)와, 처리액공급부를제어하는제어부(7)를가지며, 제어부는, 처리액순환부에의해처리액을순환시키고, 순환시킨처리액을미리정해진타이밍에서단속적으로또는미리정해진시간으로연속적으로처리액배출부로부터배출시키며, 처리액공급부로부터새로운처리액을공급하고, 배출시킨처리액에대해미리정해진타이밍에서처리액중의농도를농도센서에의해계측시키는것으로한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够防止浓度传感器故障并防止从浓度传感器提取的灰尘附着于基板的基板液体处理装置。 基板液体处理装置包括：处理液体储存部（38），其存储处理液体以处理基板（8）; 将处理液供给到处理液收容部（38）的处理液供给部（39）。 使处理液储存部（38）中的处理液循环的处理液循环部（40）; 处理液体排出部分（41）从处理液循环部分（40）分叉以排出处理液体; 浓度传感器（61），其安装在处理液排出部（41）中，并测量处理液的浓度; 和控制处理液供给部的控制部（7）。 控制部件使处理液体通过处理液循环部循环，在规定的时刻间歇地或连续地从处理液排出部排出循环的处理液，从处理液供给部供给新的处理液， 在规定的时刻通过浓度传感器排出处理液。

公开(公告)号：KR1020150091245A

公开(公告)日：2015-08-10

申请号：KR1020150013609

申请日：2015-01-28

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하라히로미 ,  사토히데아키 ,  가와주다카히로 ,  나가이다카시

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67023 ,  B08B3/08 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/302

Abstract: 본발명은미리정해진농도의약제의수용액을처리액으로서이용하여기판을액처리하는기판액처리장치에있어서기판을처리액으로양호하게처리할수 있도록하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 처리액을처리액저류부에저류해두고, 상기처리액과는상이한농도의약제의수용액을상기처리액저류부에공급하고, 상기처리액저류부로부터상기처리액을배출하여, 상기처리액저류부에저류되는상기처리액을갱신하며, 그때에, 상기처리액저류부에미리정해진양의상기수용액을공급하고, 상기처리액저류부로공급되는상기수용액에함유되는상기약제의양과동일양의약제를함유하는상기처리액을상기처리액저류부로부터배출하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种通过使用作为规定浓度的化学品的水溶液的处理液令人满意地处理基板的基板液体处理装置。 本发明将处理液储存在处理液储存单元中，将不同浓度的化学品的水溶液供给到处理液储存单元，并从处理液储存单元排出处理液，以更新储存在 处理液体存储单元。 此时，本发明将规定量的水溶液供给到处理液储存单元，并且将包含与供给到处理液的水溶液中所含的化学物质的量相等的化学物质的处理液排出 存储单元。

公开(公告)号：KR101168109B1

公开(公告)日：2012-07-24

申请号：KR1020090088513

申请日：2009-09-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  하라히로미

IPC: G05F1/00 ,  G05F1/66 ,  H01L21/02

CPC classification number: H05B1/0244 ,  F24H9/2014 ,  F24H9/2028

Abstract: 본 발명은 가열 주기 사이에서 유체에 대한 가열의 정도가 시간의 경과에 따라 크게 변화되는 것을 억제할 수 있는 가열 유닛, 기판 처리 장치 및 유체의 가열 방법을 제공한다.
본 발명의 가열 유닛에 있어서, 제어부(50)는, 요구 출력량(Q)에 기초하여, (A) 요구 출력량(Q)이 소정의 설정값 이하인 경우에는, 가열 주기의 전체 기간에서 항상 온이 되는 가열기(24a)를 두지 않고, 모든 또는 일부의 가열기(24a)를 시분할 제어하는 제어를 행하며, (B) 요구 출력량(Q)이 소정의 설정값보다 큰 경우에는, 가열 주기의 전체 기간에서 모든 또는 일부의 가열기(24a)를 항상 온으로 하고, 나머지 가열기(24a) 중 모든 또는 일부의 가열기(24a)를 시분할 제어하는 제어를 행한다. 이 때에, 가열 주기에 있어서 가열기(24a)가 온이 되는 최대의 수와 최소의 수와의 차가 1 이하가 되도록 한다.

公开(公告)号：KR1020110027568A

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：KR1020100082527

申请日：2010-08-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  에시마카즈요시 ,  하라히로미 ,  호시노히로즈미

IPC: H01L21/302

CPC classification number: B08B3/12 ,  H01L21/67057

Abstract: PURPOSE: An ultrasonic cleaning apparatus, an ultrasonic cleaning method, and a recording medium storing a computer program for executing the ultrasonic cleaning method are provided to generate ultrasonic vibration by a single ultrasonic oscillator, thereby miniaturizing an ultrasonic cleaning apparatus with cleaning tubs. CONSTITUTION: The first cleaning tub(10a) and the second cleaning tub(10b) store cleaning liquid. A vibrator is installed in the cleaning tubs. A mega-sonic controller(40) generates ultrasonic vibration in each vibrator. An output switching device(50) switches a vibrator connected to an ultrasonic oscillator. A controller controls the ultrasonic oscillator and the output switching device.

Abstract translation: 目的：提供一种超声波清洗装置，超声波清洗方法和存储用于执行超声波清洗方法的计算机程序的记录介质，以通过单个超声波振荡器产生超声波振动，从而使具有清洗槽的超声波清洗装置小型化。 构成：第一清洗槽（10a）和第二清洗槽（10b）存储清洗液。 振动器安装在清洁桶中。 超音速控制器（40）在每个振动器中产生超声波振动。 输出切换装置（50）切换连接到超声波振荡器的振动器。 控制器控制超声波振荡器和输出开关装置。

公开(公告)号：KR102264002B1

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：KR1020180123962

申请日：2018-10-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 쟝지엔 ,  이나다타카오 ,  카와노히사시 ,  후지츠세이고 ,  사토히데아키 ,  코니시테루아키 ,  시오카와토시유키 ,  오구라코지 ,  요시다히로시

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213

公开(公告)号：KR1020160112951A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020160027457

申请日：2016-03-08

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67

CPC classification number: B08B9/0321 ,  B08B3/10 ,  B08B9/027 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67253

Abstract: 처리액과세정유체의반응에의해결정이생기는것을방지하는것. 본발명에서는, 기판(8)을처리하기위한처리액이흐르는처리액유로[농도계측유로(53)]와, 상기처리액유로중 적어도일부를세정하기위한세정유체를상기처리액유로에공급하는세정유체공급부(57)와, 상기처리액을가열하는히터(52)와, 상기세정유체공급부(57) 및상기히터(52)를제어하는제어부(7)를가지고, 상기히터(52)로상기처리액을상기처리액과상기세정유체의반응에의해결정이생기는온도보다높은온도로가열한후에, 가열된상기처리액을상기처리액과상기세정유체의반응에의해결정이생기는온도의상기처리액이체류하는상기처리액유로에공급하고, 그후, 상기세정유체공급부(57)로부터상기처리액유로에상기세정유체를공급하도록제어하는것으로하였다.

Abstract translation: 本发明提供了一种能够防止由处理液和清洗液之间的反应形成晶体的基板处理液体处理装置，基板处理液体处理方法和具有基板处理液体处理程序的计算机可读存储介质 存储在其上。 根据本发明，该装置包括：处理基板（8）的处理液流动的处理液通道（浓度测量通道（53））; 清洗液供给单元，用于向处理液通道供给清洗处理液通道的至少一部分的清洗液; 用于加热处理液体的加热器; 以及控制单元，用于控制清洁液供给单元（57）和加热器（52）。 加热器（52）通过处理液和清洗液之间的反应将处理液体加热到高于形成晶体的温度的温度，加热后的处理液体被供给加工液体通道，在该处理液通道中形成温度为 通过处理液和清洗液之间的反应停留晶体。 然后，控制清洗液从处理液供给部（57）供给到处理液通道。

公开(公告)号：KR102260913B1

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：KR1020180115072

申请日：2018-09-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오노히로키 ,  사토히데아키 ,  이나다타카오 ,  카와노히사시 ,  니시와키요시노리 ,  오츠타카히코

IPC: H01L21/67

公开(公告)号：KR102221743B1

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：KR1020180080422

申请日：2018-07-11

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사토히데아키 ,  사토다카미

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은기판액처리장치에있어서, 농도센서의고장등을방지하고, 농도센서로부터석출되거나한 먼지가기판에부착되는것을방지하는것을목적으로한다. 본발명에서는, 기판(8)을처리하기위한처리액을저류하는처리액저류부(38)와, 처리액저류부(38)에처리액을공급하는처리액공급부(39)와, 처리액저류부(38)의내부의처리액을순환시키는처리액순환부(40)와, 처리액순환부(40)로부터분기되어처리액을배출시키는처리액배출부(41)와, 처리액배출부(41)에설치되며, 처리액중의농도를계측하는농도센서(61)와, 처리액공급부를제어하는제어부(7)를가지며, 제어부는, 처리액순환부에의해처리액을순환시키고, 순환시킨처리액을미리정해진타이밍에서단속적으로또는미리정해진시간으로연속적으로처리액배출부로부터배출시키며, 처리액공급부로부터새로운처리액을공급하고, 배출시킨처리액에대해미리정해진타이밍에서처리액중의농도를농도센서에의해계측시키는것으로한다.