公开(公告)号：KR1019960042937A

公开(公告)日：1996-12-21

申请号：KR1019960014202

申请日：1996-05-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이케다토오루 ,  호리우치다카시

IPC: H01L21/205

Abstract: 본 발명은, 진공펌프에 의해 처리장치로부터 배기가스를 흡수 및 방출하는 진공배기시스템에 삽입되어 배기 가스에 함유된 혼입물을 트래핑하는 트랩장치에 있어서, 상기 진공펌프의 상류측에서 배기통로에 삽입된 트래핑 통로용기와, 이 트래핑 통로용기내에 수용되어 상기 배기가스를 소정의 온도로 가열하는 동시에 흐르는 배기가스와 접촉하여 상기 배기가스중의 혼입물을 열분해시키는 가열트랩수단을 구비한 트랩장치를 제공한다. 따라서, 배기통로를 통과 순환하는 미반응 처리가스는 가열수단과 접촉하여 열분해되고, 석출된 금속은 트랩되기 위해 가열트랩에 부착된다. 가열트랩은 선 사이의 갭을 제한하기 위하여 나선형으로 형성된 전기 가열코일로 이루어지고, 이에 따라 전기 가열 코일은 배기가스와 충분히 접촉할 수 있고, 선 사이의 갭을 통하여 흐를 수 있게 된다. 따라서, 배기가스가 전기 가열코일선과 접촉하는 면적이 커져서, 유로 콘덕턴스를 확보하기 위한 갭을 통해 흐르게 할 수 있다. 그 결과, 접촉면적과 유로 콘덕턴스와의 균형이 유지된다.