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公开(公告)号：KR100138752B1
公开(公告)日：1998-06-15
申请号：KR1019910015124
申请日：1991-08-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/67
CPC classification number: G01R1/0735
Abstract: 피검사체의 전극배열에 대응하는 다수의 프로우브를 가지는 복수의 프로우브부와, 프로우브부에 각각 연이어 접속되는 리이드 패턴부와, 모든 리이드 패턴부를 지지하는 지지부로 구성되고, 수정판의 결정축(Z)과 직교하는 (Z)면을 에칭함으로써 프로우브의 긴쪽방향이 수정판의 X축 또는 Y축에 대하여 기운 방향으로 되도록 형성된 수정 프로우브 본체와, 수정 프로우브 본체상에 형성된 금속 패턴층과 수정 프로우브를 어댑터를 개재하여 부착되는 테스트기를 구비하는 프로우브 장치.
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公开(公告)号：KR1019920006749A
公开(公告)日：1992-04-28
申请号：KR1019910015124
申请日：1991-08-30
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G01R1/67
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR100284236B1
公开(公告)日：2001-04-02
申请号：KR1019960014202
申请日：1996-05-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은, 진공펌프에 의해 처리장치로부터 배기가스를 흡수 및 방출하는 진공배기시스템에 매설되어 배기가스에 함유된 혼입물을 트래하는 트랩장치에 있어서, 상기 진공펌프의 상류측에서 배기통로에 매설된 트랩용 통로용기와, 이 트랩용 통로용기내에 수용되어 상기 배기가스를 소정의 온도로 가열하는 동시에 흐르는 배기가스와 접촉하여 상기 배기가스중의 혼입물을 열분해시키는 가열트랩수단을 구비한 트랩장치를 제공한다. 따라서, 배기통로를 흐르고 있는 미반응 처리가스는 가열트랩수단과 접촉하여 열분해되고, 석출된 금속은 트랩되도록 가열트랩수단에 부착된다. 가열트랩수단은 코일선 사이의 갭을 제한하기 위해 나선형으로 형성된 전열코일로 이루어짐으로써, 전열코일은 배기가스와 충분히 접촉될 수 있고, 배기가스는 코일선 사이의 갭을 통하여 흐를 수 있게 된다. 따라서, 배기가스가 전열코일선과 접촉되는 면적이 커져서, 유로 콘덕턴스를 확보하기 위해 갭을 통해 흐를 수 있게 된다. 그 결과, 접촉면적과 유로 콘덕턴스와의 균형이 유지된다.
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公开(公告)号：KR1019960042937A
公开(公告)日：1996-12-21
申请号：KR1019960014202
申请日：1996-05-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은, 진공펌프에 의해 처리장치로부터 배기가스를 흡수 및 방출하는 진공배기시스템에 삽입되어 배기 가스에 함유된 혼입물을 트래핑하는 트랩장치에 있어서, 상기 진공펌프의 상류측에서 배기통로에 삽입된 트래핑 통로용기와, 이 트래핑 통로용기내에 수용되어 상기 배기가스를 소정의 온도로 가열하는 동시에 흐르는 배기가스와 접촉하여 상기 배기가스중의 혼입물을 열분해시키는 가열트랩수단을 구비한 트랩장치를 제공한다. 따라서, 배기통로를 통과 순환하는 미반응 처리가스는 가열수단과 접촉하여 열분해되고, 석출된 금속은 트랩되기 위해 가열트랩에 부착된다. 가열트랩은 선 사이의 갭을 제한하기 위하여 나선형으로 형성된 전기 가열코일로 이루어지고, 이에 따라 전기 가열 코일은 배기가스와 충분히 접촉할 수 있고, 선 사이의 갭을 통하여 흐를 수 있게 된다. 따라서, 배기가스가 전기 가열코일선과 접촉하는 면적이 커져서, 유로 콘덕턴스를 확보하기 위한 갭을 통해 흐르게 할 수 있다. 그 결과, 접촉면적과 유로 콘덕턴스와의 균형이 유지된다.
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