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公开(公告)号：KR101416111B1
公开(公告)日：2014-07-08
申请号：KR1020087026063
申请日：2007-03-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J9/0246
Abstract: 상기 펄싱된 레이저에 의해 산출된 레이저 출력 광의 일부를 상기 광 검출 어레이의 출력에서 앨리어싱 아티팩트를 방지하기 위해 상기 광 검출 엘리먼트의 어레이를 가로질러 상기 레이저 빔의 일부를 이동시키는 방식으로 광 검출 엘리먼트의 어레이로 통과시키는 것을 포함하는 단계에 의해, 광검출 엘리먼트의 어레이를 활용하는 펄싱된 레이저의 레이저 출력 광 펄스의 대역폭을 검출하는 것을 포함하는 방법 및 장치가 제공된다. 레이저 출력 광에 의해 형성된 이미지의 부분이 예를 들면 공간 또는 시간 도메인에서 언더 샘플링된다. 샘플링된 프린지 패턴생성 엘리먼트의 출력의 이미지의 연관된 피처 크기는 광 검출 엘리먼트의 어레이에서의 개별 광 검출 엘리먼트의 크기에 대해 작은 크기를 포함한다.
광검출 엘리먼트, 레이저, 레이저 출력 광 펄스, 대역폭, 레이저 빔, 언더 샘플링, 공간 도메인, 시간 도메인, 프린지, 프린지 패턴생성 엘리먼트, 광 디텍터 엘리먼트, 보간 기술-
公开(公告)号：KR101142788B1
公开(公告)日：2012-05-08
申请号：KR1020067026805
申请日：2005-06-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
Abstract: 빔 경로 및 상기 빔 경로내의 빔 호모제나이저를 포함할 수 있는, 유틸라이징 툴로의 광 소스로서 전달하기 위한, 출력 레이저 광 펄스를 포함하는 출력 레이저 빔을 가스 방전 레이저에 의해 생성하기 위한 방법 및 장치가 개시되어 있다. 공간 코히어런스 셀 포지션 시프터를 포함할 수 있는 상기 빔 호모제나이저는 적어도 하나의 빔 이미지 인버터 또는 공간 회전기를 포함할 수 있다. 상기 빔 호모제나이저는 상기 소스 빔의 템포럴 코히어런스 길이보다 길지만 대략 동일한 지연을 갖는 지연 경로를 포함할 수 있다. 이 호모제나이저는 각각의 결합된 표면에 부분 반사 코팅을 갖고 있는 한 쌍의 결합된 도브 프리즘, 상기 소스 빔과 마주하는 빗변면 및 전반사 인접 측면을 포함하는 직삼각형 프리즘, 또는 상기 소스 빔과 마주하는 면 및 전반사 인접 측면을 갖고 있는 이등변 삼각형 프리즘 또는 이들의 조합을 포함할 수 있고, 상기 호모제나이저는 소스 빔 멀티플 교번 반전된 이미지 생성 메커니즘으로서 기능할 수 있다. 상기 빔 경로는 수십 펨토미터내의 정확도로 500 펨토미터 미만의 범위내의 출력 레이저 광을 포함하는 출력 레이저 빔의 대역폭을 측정하는 대역폭 검출기의 일부일 수 있다. 상기 호모제나이저는 에칭될 수 있는 그라운드 글라스 확산기일 수 있는 회전 확산기를 포함할 수 있다. 또한, 파장계는 상기 확산된 광을 콜리메이팅하는 빔 경로내의 콜리메이터; 공초점 에탈론에 입사되는 상기 콜리메이팅된 광에 기초한 출력을 생성하는 공초점 에탈론; 및 상기 공초점 에탈론의 출력을 검출하는 검출기를 포함할 수 있고, 또한 상기 공초점 에 탈론에 걸쳐 상기 콜리메이팅된 광을 스캐닝할 수 있거나 상기 콜리메이팅된 광에 걸쳐 상기 에탈론을 스캐닝할 수 있는 상기 공초점 에탈론에 입사되는 상기 콜리메이팅된 광의 입사각을 스캐닝하는 스캐닝 메커니즘을 포함할 수 있고, 음향 광학 스캐너를 포함할 수 있다. 상기 공초점 에탈론은 측정되는 입력 소스 스펙트럼의 대략 E95 폭인 자유 스펙트럼 범위를 가질 수 있다. 검출기는 상기 공초점 에탈론의 출력의 강도 패턴을 검출하는 포토멀티플라이어를 포함할 수 있다.
빔 경로, 빔 호모제나이저, 빔 이미지 인버터, 공간 회전기, 코히어런스, 소스 빔, 회전 확산기, 대역폭 검출기, 공초점 에탈론-
公开(公告)号：KR101073940B1
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020057024686
申请日：2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
Abstract: 측정되는 스펙트럼의 미지의 대역폭의 파라미터를 나타내는 측정 파라미터를 출력으로서 제공하도록 적용된 광 대역폭 측정 유닛; 및 공식: 보고 파라미터("RP") = A*(측정 파라미터("MP")) + C에 따라 측정되는 스펙트럼의 미지의 대역폭의 보고 파라미터를 계산하도록 적용된 보고 파라미터 계산 유닛;을 포함하고, 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 미지의 대역폭을 측정하도록 적용된 스펙트로미터를 포함할 수 있는 레이저 시스템을 제어하는 장치 및 방법이 개시되었다. 상기 RP 및 MP는 상이한 유형의 파라미터이고 A 및 C의 값은 RP의 공지된 값의 광에 대한 광 대역폭 측정 유닛 MP 응답값의 교정에 기초하여 결정된다. 광 대역폭 측정 유닛은 에탈론과 같은 간섭 또는 분산 광학 기기를 포함할 수 있다. RP는 예를 들어, FWXM에서의 파라미터일 수 있고 MP는 예를 들어, FWX'M에서의 파라미터일 수 있고, X≠X'이다. RP는 예를 들어, EX%에서의 파라미터일 수 있고 MP는 예를 들어, FWXM에서의 파라미터일 수 있다.
레이저 시스템, 대역폭, 스펙트로미터, 측정 파라미터, 보고 파라미터, 광 대역폭 측정 유닛, FWXM-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060035639A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020057024950
申请日：2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: A bandwidth meter method and apparatus for measuring the bandwidth of a spectrum of light emitted from a laser input to the bandwidth meter is disclosed, which may comprise an optical bandwidth monitor providing a first output representative of a first parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser and a second output representative of a second parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser; and, an actual bandwidth calculation apparatus utilizing the first output and the second output as part of a multivariable equation employing predetermined calibration variables specific to the optical bandwidth monitor, to calculate 10 an actual bandwidth parameter. The actual bandwidth parameter may comprise a spectrum full width at some percent of the maximum within the full width of the spectrum of light emitted from the laser ("F)WXM") or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of the spectrum of light emitted from the laser ("EX"). The bandwidth monitor may comprise an etalon and the first output is representative of at least one of a width of a fringe of an optical output of the etalon at FWXM or a width between two points on the spectrum enclosing some percentage of the energy of the full spectrum of light emitted from the laser ("EX"') and the second output is representative of at least one of a second FWX"M or EX"', where XXX" and X'X"'. The precomputed calibration variables may be derived from a measurement of the value of the actual bandwidth parameter utilizing a trusted standard, correlated to the occurrence of the first and second outputs for a calibration spectrum. The value of the actual bandwidth parameter is calculated from the equation: estimated actual BW parameter = K*w l + L*w2 + M, where wl = the first measured output representative of FWXM or EX' and w2 is the second measured output representative of FWX"M or EX"'. The apparatus and method may be implemented in a laser lithography light source and/or in an integrated circuit lithography tool.
Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光输入到带宽计的发射光谱的带宽的带宽测量仪方法和装置，其可以包括光带宽监视器，其提供表示第一参数的第一输出，第一参数指示 从激光器发射的光和表示从激光器发射的光的带宽的第二参数的第二输出; 并且使用第一输出和第二输出的实际带宽计算装置作为使用光带宽监视器特有的预定校准变量的多变量方程的一部分来计算10实际带宽参数。 实际带宽参数可以包括在从激光（“F”WXM“）发射的光谱的全宽度内的最大值的某个百分比处的光谱全宽度或包含一定百分比的光谱的光谱的两个点之间的宽度 从激光发射的光谱的全谱的能量（“EX”）。 带宽监视器可以包括标准具，并且第一输出表示在FWXM处的标准具的光输出的边缘的宽度中的至少一个，或者在包含满量程的一定百分比的能量的频谱上的两个点之间的宽度中的至少一个 从激光（“EX”）发射的光的频谱和第二输出代表第二FWX“M或EX”'中的至少一个，其中XXX“和X'X”'。 预先计算的校准变量可以从利用可信标准的实际带宽参数的值的测量导出，与可校准频谱的第一和第二输出的出现相关。 实际带宽参数的值由以下公式计算：估计的实际BW参数= K * w1 + L * w2 + M，其中w1 =表示FWXM或EX'的第一个测量输出，w2是第二个测量输出的代表 FWX“M或EX”'。 该装置和方法可以在激光光刻光源和/或集成电路光刻工具中实现。
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公开(公告)号：KR1020120089350A
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：KR1020127016577
申请日：2006-06-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/28
Abstract: 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법으로서, 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1파라미터를 나타내는 제1출력 및 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2파라미터를 나타내는 제2출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 광 대역폭 모니터에 특정의 미리계산된 교정 변수를 사용하는 다변수 방정식의 일부로서 제1출력 및 제2출력을 사용하는 대역폭 계산 장치를 포함하고, 다변수 방정식은 대칭 민감 항을 포함하는 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법이 개시된다.
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公开(公告)号：KR101118532B1
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020057024950
申请日：2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1 파라미터를 나타내는 제1 출력 및 상기 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2 파라미터를 나타내는 제2 출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 상기 광 대역폭 모니터에 구체적인 사전결정된 교정 변수를 사용하는 복수변수 방정식의 일부로서 상기 제1 출력 및 제2 출력을 사용하는 실제 대역폭 계산 장치;를 포함하고, 대역폭 미터로 입력되는 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 미터 방법 및 장치가 개시되어 있다. 상기 실제 대역폭 파라미터는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체폭내의 최대값의 임의의 퍼센트에서의 스펙트럼 전체폭("FWXM") 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 스펙트럼의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼의 콘텐트를 한정하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX")을 포함할 수 있다. 상기 광 대역폭 모니터는 에탈론을 포함할 수 있고, 상기 제1 출력은 FWXM에서의 에탈론의 광 출력의 프린지의 폭 또는 상기 레이저로부터 방출된 광의 전체 스펙트럼의 에너지의 임의의 퍼센트를 포함하는 스펙트럼상의 2개의 포인트 사이의 폭("EX'")중 적어도 하나를 나타내고, 상기 제2 출력은 제2 FWX''M 또는 EX'''의 적어도 하나를 나타내고, 여기에서, X≠X'' 및 X'≠X'''이다. 상기 사전계산된 교정 변수는 교정 스펙트럼에 대한 제1 출력 및 제2 출력의 발생과 상관된 신뢰의 스탠더드를 사용하여 실제 대역폭 파라미터의 값을 측정함으로써 유도될 수 있다. 상 기 실제 대역폭 파라미터의 값은 방정식: 추정된 실제 BW 파라미터 = K*w
1 + L*w
2 + M, 로부터 계산되고, w
1 는 FWXM 또는 EX'를 나타내는 제1 측정된 출력이고 w
2 는 FWX''M 또는 EX'''을 나타내는 제2 측정된 출력이다. 상기 장치 및 방법은 레이저 리소그래피 광원 및/또는 집적 회로 리소그래피 툴내에 구현될 수 있다.
레이저, 스펙트럼, 광원, 대역폭, 광 대역폭 모니터, 실제 대역폭 계산 장치, 대역폭 파라미터, 교정 스펙트럼, 레이저 리소그래피 광원, 집적회로 리소그래피 툴-
公开(公告)号：KR1020080111503A
公开(公告)日：2008-12-23
申请号：KR1020087026063
申请日：2007-03-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J9/0246
Abstract: A method and apparatus is disclosed which may comprise detecting the bandwidth of laser output light pulses of a pulsed laser utilizing an array of light detecting elements by the steps which may comprise passing a portion of the laser output light produced by the pulsed laser to the array of light detecting elements in a manner that shifts the portion of the laser beam across the array of light detecting elements to avoid aliasing artifacts in output of the light detecting array. The portion of the image formed by the laser output light may be under-sampled, e.g., in the spatial or time domains. The relevant feature size of an image of an output of a fringe pattern generating element being sampled may comprise a size that is small with respect to the size of individual light detecting elements in the array of light detecting elements. ® KIPO & WIPO 2009
Abstract translation: 公开了一种方法和装置，其可以包括通过步骤检测利用光检测元件阵列的脉冲激光器的激光输出光脉冲的带宽，该步骤可以包括将由脉冲激光产生的激光输出光的一部分传递到阵列 的光检测元件，其方式是将激光束的该部分移动穿过光检测元件阵列，以避免光检测阵列的输出中的伪像。 由激光输出光形成的图像的部分可能在例如空间或时域中被低采样。 被采样的条纹图案生成元件的输出的图像的相关特征尺寸可以包括相对于光检测元件阵列中的各个光检测元件的尺寸小的尺寸。 ®KIPO＆WIPO 2009
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公开(公告)号：KR1020060052783A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020067000333
申请日：2004-06-29
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: A method and apparatus for measuring bandwidth of light emitted from a laser (12) is disclosed which may comprise: a first (30) and second (34) wavelength sensitive optical bandwidth etalon detectors providing, respectively, an output (32, 36) representative of a first parameter indicative of the bandwidth of the emitted light as measured respectively by the first anal second bandwidth detectors, and an actual bandwidth calculation apparatus (40) adapted to utilize these two outputs as part of a multivariable linear equation employing predetermined calibration variables specific to either the first or the second bandwidth detector, to calculate a first actual bandwidth parameter (FWXM) or a second actual bandwidth parameter (EX).
Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光器（12）发射的光的带宽的方法和装置，其可以包括：分别提供输出（32,36）代表的第一（30）和第二（34）波长敏感的光带宽标准具检测器 指示由第一肛门第二带宽检测器分别测量的发射光的带宽的第一参数，以及适于利用这两个输出作为多变量线性方程的一部分的实际带宽计算装置（40），其采用预定的校准变量 到第一或第二带宽检测器，以计算第一实际带宽参数（FWXM）或第二实际带宽参数（EX）。
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