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公开(公告)号：KR101280917B1
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020127016577
申请日：2006-06-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/28
Abstract: 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법으로서, 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1파라미터를 나타내는 제1출력 및 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2파라미터를 나타내는 제2출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 광 대역폭 모니터에 특정의 미리계산된 교정 변수를 사용하는 다변수 방정식의 일부로서 제1출력 및 제2출력을 사용하는 대역폭 계산 장치를 포함하고, 다변수 방정식은 대칭 민감 항을 포함하는 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법이 개시된다.
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公开(公告)号：KR1020120003464A
公开(公告)日：2012-01-10
申请号：KR1020117025233
申请日：2010-03-18
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 이에홍 , 샌드스트롬리차드엘. , 로키츠키슬라바 , 브라운다니엘제이.더블유. , 라팍로버트제이.
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/02 , H01S3/0804 , H01S3/0805 , H01S3/08059 , H01S3/08072 , H01S3/08081 , H01S3/0835 , H01S3/10092 , H01S3/1053 , H01S3/235 , H01S3/2366
Abstract: 레이저는 전극 및 레이저 빔을 산출하기 위해 전극 사이에 이득 매체를 구비한 방전 챔버; 부분-반사 광학 커플러; 및 레이저 빔의 경로에서의 빔 변조 광학 시스템을 포함하는 재생 링 공진기를 포함한다. 빔 변조 광학 시스템은 레이저 빔의 프로파일을 횡단으로 확장하여 인접 필드 레이저 빔 프로파일이 레이저 내의 각각의 어퍼처를 균일하게 채우고, 재생 링 공진기는 재생 링 공진기 내의 광학 엘리먼트에서 열렌즈를 유도하는 파워에서 레이저를 동작시킬때 조건에 따라 안정적이거나 미세하게 불안정한 상태를 유지하도록 한다.
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公开(公告)号：KR101364005B1
公开(公告)日：2014-02-17
申请号：KR1020087001729
申请日：2006-06-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/28
Abstract: 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법으로서, 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제1파라미터를 나타내는 제1출력 및 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 나타내는 제2파라미터를 나타내는 제2출력을 제공하는 광 대역폭 모니터; 및 실제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 광 대역폭 모니터에 특정의 미리계산된 교정 변수를 사용하는 다변수 방정식의 일부로서 제1출력 및 제2출력을 사용하는 대역폭 계산 장치를 포함하고, 다변수 방정식은 대칭 민감 항을 포함하는 레이저 입력으로부터 방출된 광의 스펙트럼의 대역폭을 측정하기 위한 대역폭 측정기 장치 및 방법이 개시된다.
레이저 입력, 대역폭 측정기, 스펙트럼 대역폭, 제1파라미터, 제1출력, 제2파라미터, 제2출력, 광 대역폭 모니터, 다변수 방정식, 실제 대역폭 계산 장치, 대칭성 민감 항.-
公开(公告)号：KR1020060054202A
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020057024686
申请日：2004-06-14
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01J9/00 , H01S3/1305 , H01S3/225
Abstract: An apparatus (10) and method for controlling a laser System (12) is disclosed with a spectrometer (24, 30) having an optical bandwidth measuring unit (24) such as an etalon. The optical bandwidth measuring unit (24) outputs a measured parameter (32) and a reported parameter (36) is calculated by: Reported Parameter (" RP") = A * (Measured Parameter ("MP")) + C where A and C are determined based upon calibration of the optical bandwidth measuring unit (24) MP response for light of known valued of RP.
Abstract translation: 公开了一种用于控制激光系统（12）的装置（10）和方法，具有具有诸如标准具的光学带宽测量单元（24）的光谱仪（24,30）。 光带宽测量单元（24）输出测量参数（32），报告参数（36）通过以下方式计算：报告参数（“RP”）= A *（测量参数（“MP”））+ C其中A和 C基于光学带宽测量单元（24）的校准确定了对已知值RP的光的MP响应。
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公开(公告)号：KR1020120080181A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：KR1020127007614
申请日：2010-08-24
Applicant: 사이머 엘엘씨
IPC: H01S3/13
CPC classification number: G03F7/70575 , G03F7/70525
Abstract: 광빔의 스펙트럼 속성을 제어하는 방법은, 광빔을 웨이퍼 상에 패턴을 생성하도록 구성된 리소그래피 노출 장치로 지향시키는 단계; 상기 광빔의 스펙트럼 속성을 나타내는 정보를 수신하는 단계; 상기 리소그래피 노출 장치의 광학 이미징 조건을 나타내는 정보를 수신하는 단계; 상기 수신된 스펙트럼 속성 정보와 상기 수신된 광학 이미징 조건 정보에 기초하여 상기 광빔의 특성 값을 추정하는 단계; 상기 추정된 광빔 특성 값이 타겟 광빔의 특성 값과 매칭하는지를 판정하는 단계; 및 상기 추정된 광빔 특성 값이 상기 타겟 광빔 특성 값과 매칭하지 않는것으로 판정되면, 상기 광빔의 상기 스펙트럼 속성을 조정하는 단계;를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101084016B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020067000333
申请日：2004-06-29
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0228 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45
Abstract: 레이저로부터 방출된 광의 대역폭을 측정하기 위한 방법 및 장치는, 제1 및 제2 대역폭 검출기에 의해 각각 측정된 바와 같은 방출된 광의 대역폭을 지시하는 제1 파라미터를 표현하는 출력을 각각 제공하는 제1 및 제2 파장 센시티브 광 대역폭 검출기, 및 제1 실제 대역폭 파라미터 및 제2 실-제 대역폭 파라미터를 계산하기 위해, 제1 또는 제2 대역폭 검출기에 특정한 소정 교정 변수를 이용하는 다중변수 선형 등식의 일부분으로서 상기 두 출력을 이용하도록 응용된 실제 대역폭 계산 장치를 포함한다. 제1 실제 대역폭 파라미터는 최대치의 일정한 백분율에서 스펙트럼 전체 폭("FWXM"; full width at some percent of the maximum)일 수 있고 제2 실제 대역폭 파라미터는 에너지의 일정한 백분율("EX";some percentage of the energy)을 포함하는 부분일 수 있다. 제1 및 제2 대역폭 검출기는 에탈론일 수 있고 출력은 FWXM에서 각각의 에탈론의 광학 출력의 프린지의 프린지 출력을 나타낼 수 있다. 미리계산된 교정 변수는 제1 및 제2 실제 대역폭 파라미터의 공지된 값으로 입력 광을 교정하는 것에 관한 검출기 출력을 각각, 나타내는 각각의 3차원 플롯으로부터 유도될 수 있다.
대역폭 측정기, 교정, 에탈론, 스펙트럼, 레이저,-
公开(公告)号：KR1020080081890A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：KR1020087001729
申请日：2006-06-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 라팍로버트제이.
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/28
Abstract: A bandwidth meter apparatus and method for measuring the bandwidth of a spectrum of light emitted from a laser input to the bandwidth meter is disclosed which may comprise an optical bandwidth monitor providing a first output representative of a first parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser and a second output representative of a second parameter which is indicative of the bandwidth of the light emitted from the laser; and, an actual bandwidth calculation apparatus utilizing the first output and the second output as part of a multivariable equation employing predetermined calibration variables specific to the optical bandwidth monitor, to calculate an actual bandwidth parameter; the multivariable equation comprising a symmetry sensitive term.
Abstract translation: 公开了一种用于测量从激光输入到带宽计的发射光谱的带宽的带宽计量仪装置和方法，其可以包括光带宽监视器，其提供表示第一参数的第一输出，第一参数指示 从激光器发射的光和表示从激光器发射的光的带宽的第二参数的第二输出; 以及使用所述第一输出和所述第二输出的实际带宽计算装置作为使用所述光学带宽监视器特有的预定校准变量的多变量方程的一部分来计算实际带宽参数; 包含对称敏感项的多变量方程。
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公开(公告)号：KR1020070022769A
公开(公告)日：2007-02-27
申请号：KR1020067026805
申请日：2005-06-17
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/08009 , H01S5/0071 , H01S5/0687
Abstract: 빔 경로 및 상기 빔 경로내의 빔 호모제나이저를 포함할 수 있는, 유틸라이징 툴로의 광 소스로서 전달하기 위한, 출력 레이저 광 펄스를 포함하는 출력 레이저 빔을 가스 방전 레이저에 의해 생성하기 위한 방법 및 장치가 개시되어 있다. 공간 코히어런스 셀 포지션 시프터를 포함할 수 있는 상기 빔 호모제나이저는 적어도 하나의 빔 이미지 인버터 또는 공간 회전기를 포함할 수 있다. 상기 빔 호모제나이저는 상기 소스 빔의 템포럴 코히어런스 길이보다 길지만 대략 동일한 지연을 갖는 지연 경로를 포함할 수 있다. 이 호모제나이저는 각각의 결합된 표면에 부분 반사 코팅을 갖고 있는 한 쌍의 결합된 도브 프리즘, 상기 소스 빔과 마주하는 빗변면 및 전반사 인접 측면을 포함하는 직삼각형 프리즘, 또는 상기 소스 빔과 마주하는 면 및 전반사 인접 측면을 갖고 있는 이등변 삼각형 프리즘 또는 이들의 조합을 포함할 수 있고, 상기 호모제나이저는 소스 빔 멀티플 교번 반전된 이미지 생성 메커니즘으로서 기능할 수 있다. 상기 빔 경로는 수십 펨토미터내의 정확도로 500 펨토미터 미만의 범위내의 출력 레이저 광을 포함하는 출력 레이저 빔의 대역폭을 측정하는 대역폭 검출기의 일부일 수 있다. 상기 호모제나이저는 에칭될 수 있는 그라운드 글라스 확산기일 수 있는 회전 확산기를 포함할 수 있다. 또한, 파장계는 상기 확산된 광을 콜리메이팅하는 빔 경로내의 콜리메이터; 공초점 에탈론에 입사되는 상기 콜리메이팅된 광에 기초한 출력을 생성하는 공초점 에탈론; 및 상기 공초점 에탈론의 출력을 검출하는 검출기를 포함할 수 있고, 또한 상기 공초점 에 탈론에 걸쳐 상기 콜리메이팅된 광을 스캐닝할 수 있거나 상기 콜리메이팅된 광에 걸쳐 상기 에탈론을 스캐닝할 수 있는 상기 공초점 에탈론에 입사되는 상기 콜리메이팅된 광의 입사각을 스캐닝하는 스캐닝 메커니즘을 포함할 수 있고, 음향 광학 스캐너를 포함할 수 있다. 상기 공초점 에탈론은 측정되는 입력 소스 스펙트럼의 대략 E95 폭인 자유 스펙트럼 범위를 가질 수 있다. 검출기는 상기 공초점 에탈론의 출력의 강도 패턴을 검출하는 포토멀티플라이어를 포함할 수 있다.
빔 경로, 빔 호모제나이저, 빔 이미지 인버터, 공간 회전기, 코히어런스, 소스 빔, 회전 확산기, 대역폭 검출기, 공초점 에탈론-
公开(公告)号：KR101576109B1
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：KR1020127007614
申请日：2010-08-24
Applicant: 사이머 엘엘씨
IPC: H01S3/13
CPC classification number: G03F7/70575 , G03F7/70525
Abstract: 광빔의스펙트럼속성을제어하는방법은, 광빔을웨이퍼상에패턴을생성하도록구성된리소그래피노출장치로지향시키는단계; 상기광빔의스펙트럼속성을나타내는정보를수신하는단계; 상기리소그래피노출장치의광학이미징조건을나타내는정보를수신하는단계; 상기수신된스펙트럼속성정보와상기수신된광학이미징조건정보에기초하여상기광빔의특성값을추정하는단계; 상기추정된광빔특성값이타겟광빔의특성값과매칭하는지를판정하는단계; 및상기추정된광빔특성값이상기타겟광빔특성값과매칭하지않는것으로판정되면, 상기광빔의상기스펙트럼속성을조정하는단계;를포함한다.
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公开(公告)号：KR101548286B1
公开(公告)日：2015-08-28
申请号：KR1020117025233
申请日：2010-03-18
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 이에홍 , 샌드스트롬리차드엘. , 로키츠키슬라바 , 브라운다니엘제이.더블유. , 라팍로버트제이.
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/02 , H01S3/0804 , H01S3/0805 , H01S3/08059 , H01S3/08072 , H01S3/08081 , H01S3/0835 , H01S3/10092 , H01S3/1053 , H01S3/235 , H01S3/2366
Abstract: 레이저는전극및 레이저빔을산출하기위해전극사이에이득매체를구비한방전챔버; 부분-반사광학커플러; 및레이저빔의경로에서의빔 변조광학시스템을포함하는재생링 공진기를포함한다. 빔변조광학시스템은레이저빔의프로파일을횡단으로확장하여인접필드레이저빔 프로파일이레이저내의각각의어퍼처를균일하게채우고, 재생링 공진기는재생링 공진기내의광학엘리먼트에서열렌즈를유도하는파워에서레이저를동작시킬때조건에따라안정적이거나미세하게불안정한상태를유지하도록한다.
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