公开(公告)号：KR100514167B1

公开(公告)日：2005-09-09

申请号：KR1020020035422

申请日：2002-06-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대훈 ,  전상문 ,  김진성 ,  전필권 ,  박동진 ,  김정주 ,  류재준

IPC: H01L21/304

CPC classification number: B08B7/0071 ,  B08B3/12 ,  C11D7/10 ,  C11D7/265 ,  C11D7/5013 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/007

Abstract: 세정액 및 이를 사용한 세라믹 부품의 세정 방법이 개시되어 있다. 5 내지 10 중량%의 불화물염, 10 내지 20 중량%의 유기산 및 30 내지 50 중량 %의 유기 용매 및 20 내지 50 중량%의 물을 포함하는 세정액을 제공한다. 상기 세정액에 세라믹 부품을 침지한 후 상기 세정액을 헹구어 냄으로서, 플라즈마 반응 부산물이 흡착되어 있는 세라믹 부품을 세정할 수 있다.