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公开(公告)号：KR1020030026475A
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：KR1020010059323
申请日：2001-09-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/02046 , H01L21/31116 , H01L21/67109
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for processing a wafer and a method and an apparatus for etching a wafer are provided to improve productivity by etching easily natural oxides of plural wafers. CONSTITUTION: The first chamber(400) has a storage space(400a) for storing a plurality of wafers(W). The volume of the storage space(400a) corresponds to the volume of a boat(420) for loading 25 to 100 sheets of wafers. The second chamber(410) includes the first chamber(400). An inner face of the second chamber(410) and an outer face of the first chamber(400) face to each other. A vacuum adiabatic space(410a) is formed between the second chamber(410) and the first chamber(400). A wall of the first chamber(400) is thinner than the wall of second chamber(410) in thickness. A heating portion(430) is arranged at an inner circumference of the second chamber(410) in order to heat the storage space(400a) of the first chamber(400). The first coolant circulation line(440a) is used for cooling the first chamber(400). The second cooling portion is used for cooling directly the wafer(W) within the first chamber(400). A rotary portion(460) is installed on the first chamber(400) in order to rotate the boat(420). A reaction gas induction line(470) and an exhaust line(480) are connected with the first chamber(400). A load lock chamber(490) is installed at a lower portion of the first chamber(400). A transfer portion(500) is installed at a lower portion of the load lock chamber(490).
Abstract translation: 目的：提供一种用于处理晶片的方法和装置，以及用于蚀刻晶片的方法和装置，以通过蚀刻易于多个晶片的天然氧化物来提高生产率。 构成：第一室（400）具有用于存储多个晶片（W）的存储空间（400a）。 存储空间（400a）的体积对应于用于装载25至100张晶片的船（420）的体积。 第二室（410）包括第一室（400）。 第二室（410）的内表面和第一室（400）的外表面彼此面对。 在第二室（410）和第一室（400）之间形成真空绝热空间（410a）。 第一腔室（400）的壁厚度比第二腔室（410）的壁薄。 为了加热第一室（400）的储存空间（400a），加热部（430）配置在第二室（410）的内周。 第一冷却剂循环管线（440a）用于冷却第一室（400）。 第二冷却部分用于直接冷却第一室（400）内的晶片（W）。 旋转部分（460）安装在第一室（400）上以便使船（420）旋转。 反应气体诱导管线（470）和排气管线（480）与第一室（400）连接。 负载锁定室（490）安装在第一室（400）的下部。 传送部分（500）安装在负载锁定室（490）的下部。
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公开(公告)号：KR100350972B1
公开(公告)日：2002-12-18
申请号：KR1019970066752
申请日：1997-12-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F9/06
Abstract: PURPOSE: A computer system capable of storing an identification number and a method thereof are provided to use a ROM as a network address and storing an identification number of a computer system which is not capable of being deleted by a user. CONSTITUTION: A computer system includes a RAM(310), a CPU(300), a ROM(320) having a bias unit for storing a basic input/output system and an identification number unit, an auxiliary memory(330), and a serial input/output device(340). A bar code reader(350) reads an inherent identification number of the computer system recorded in a bar code. An identification number input unit(360) is stored in the RAM(310), operated by a control of the CPU(300), reads the inherent identification number of the computer system read by the bar code reader(350) through the serial input/output device(340), and stores the inherent identification number in an area of the auxiliary memory(330). An identification number storing unit(370) is stored in the RAM(310), operated by a control of the CPU(300), and stores the identification number stored in the auxiliary memory(330) in an identification number unit of the ROM(320). The identification number is used as a network address.
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公开(公告)号：KR1020000061455A
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019990010504
申请日：1999-03-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김재욱
IPC: G06F1/32
Abstract: PURPOSE: A computer converting to a suspend mode automatically is provided to convert a computer body to the suspend mode when a user equips the body to a docking system even not turning-off the power of the computer body. CONSTITUTION: A docking system, extending device in a handheld computer, extends a monitor, a key board, a speaker, a power port, a video display, a printer, a communication, a USB(universal serial bus) port, a CD-ROM drive and a hard disk drive to handheld computer. The handheld computer has a connection protecting unit(20) protecting a docking connection part connected with a docking system. A sensing unit(54) generates an attachment sensing signal(55) when a main body of the handheld computer(50) is attached to the docking system(52). The attachment sensing signal(55) is transmitted to a converting control unit(56). The converting control unit(56) converts an operating status of the handheld computer to suspend mode by using the attachment sensing signal(55). The converting control unit(56) uses a main processor of the handheld computer or an auxiliary processor for suspend.
Abstract translation: 目的：当用户将身体装配到对接系统时，即使不关闭计算机机身的电源，也会自动将计算机转换为挂起模式，以将计算机主体转换为挂起模式。 构成：手持式计算机中的扩展装置的对接系统扩展了监视器，键盘，扬声器，电源端口，视频显示器，打印机，通信，USB（通用串行总线）端口，CD- ROM驱动器和硬盘驱动器到手持计算机。 手持式计算机具有保护与对接系统连接的对接连接部分的连接保护单元（20）。 当手持式计算机（50）的主体附接到对接系统（52）时，感测单元（54）产生附接感测信号（55）。 附件检测信号（55）被发送到转换控制单元（56）。 转换控制单元（56）通过使用附件感测信号（55）将手持计算机的操作状态转换为挂起模式。 转换控制单元（56）使用手持式计算机的主处理器或辅助处理器暂停。
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公开(公告)号：KR1020000034940A
公开(公告)日：2000-06-26
申请号：KR1019990041178
申请日：1999-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/38
CPC classification number: H04M1/0262 , H04B1/385 , H04M1/0214
Abstract: PURPOSE: A watch type radio telephone is provided to enhance portability and minimize the damage due to drop by connecting to user's wrist, to reduce the size, and to have a battery pack connection device for attaching and detaching the battery pack to/from a main body. CONSTITUTION: A watch type radio telephone comprises a main body(10), a battery pack holder(20), a locking unit(50), a hinge(30) and a band(40). Power supply such as a battery pack(22) is mounted on the holder(20). The locking unit(50) locks/unlocks the battery pack(22) to/from the holder(20). The hinge(30) connects the main body to the battery pack holder(20). The band is connected to the main body and rung to user's wrist.
Abstract translation: 目的：提供手表型无线电话以增强便携性，并通过连接到用户的手腕来减少由于跌落造成的损坏，以减小尺寸，以及具有用于将电池组连接到主体或从主体拆卸的电池组连接装置 身体。 构成：手表式无线电话包括主体（10），电池组保持架（20），锁定单元（50），铰链（30）和带（40）。 诸如电池组（22）的电源安装在保持器（20）上。 锁定单元（50）将电池组（22）锁定/解锁到保持器（20）。 铰链（30）将主体连接到电池组保持器（20）。 乐队连接到主体，并转向用户的手腕。
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公开(公告)号：KR100247931B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970019862
申请日：1997-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/108
CPC classification number: H01L28/84
Abstract: 본 발명의 반도체 장치의 제조방법은 비정질 실리콘막이 형성된 반도체 기판을 챔버에 로딩한 후 상기 챔버를 570∼600℃의 제1 온도로 승온시킨는 단계를 포함한다. 이어서, 상기 제1 온도에서 상기 챔버에 실리콘 소오스 가스를 주입하여 상기 비정질 실리콘막 상에 선택적으로 제1 실리콘 결정핵을 형성한다. 다음에, 상기 챔버를 550∼590℃의 제2 온도로 감온하면서 상기 챔버에 실리콘 소오스 가스를 주입하여 상기 제1 실리콘 결정핵의 크기보다 큰 제2 실리콘 결정핵을 형성한다. 이어서, 상기 결과물을 어닐링함으로써 상기 제2 실리콘 결정핵을 성장시켜 반구형의 그레인을 갖는 다결정 실리콘(HSG-Si)막을 형성한다. 상기 어닐링은 상기 제2 온도, 상기 제2 온도보다 낮은 제3 온도, 또는 상기 제2 온도에서 제3 온도로 감온하면서 수행한다. 본 발명의 반도체 장치의 제조방법에 의하면 실리콘 결정핵을 2 단계로 나누어 형성함으로써 실리콘 결정핵의 밀도를 향상시켜 셀 커패시턴스를 향상시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990053019A
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019970072587
申请日：1997-12-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김재욱
IPC: G11B33/02
Abstract: 자기 헤드가 장착되는 구동 기구의 후미부측에 장착되어 상기 자기 헤드가 파킹 영역에 파킹될 때 그 반대되는 방향으로 선회하여 잠금 역할을 하는 하드 디스크 드라이브의 로킹 수단에 있어서, 구동 기구에 형성된 관통공에 결합되는 댐퍼와, 상기 댐퍼의 선단에 부착되는 철편과, 상기 철편의 전면부에 형성되는 제 1 결합부를 구비하는 래치; 및 상기 래치와 소정 간격 이격되게 형성되어 상기 제 1 결합부와 상응하는 제 2 결합부가 형성된 래치 하우징부;를 포함하는 하드 디스크 드라이브의 로킹 수단에 관한 것으로서, 래치부와 래치부와 대향되게 설치되는 래치 하우징부의 전면부에 상호 끼움맞춤으로 결합가능한 결합부를 형성함으로써 래치부와 래치 하우징부와 결합되는 면의 접촉 면적을 넓히게 되므로 잠김 기능을 강화시키게 된다.
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公开(公告)号：KR1019990048136A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970066752
申请日：1997-12-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F9/06
Abstract: 본 발명은 식별번호 저장 기능을 갖는 컴퓨터 시스템 및 컴퓨터 시스템에 식별번호를 저장시키는 방법에 관한 것으로서, 램, 중앙처리장치, 바이어스부 및 식별번호부를 지닌 롬, 보조기억장치 및 직렬입출력장치를 포함하고, 식별번호 저장 기능을 갖는 컴퓨터 시스템은 바코드에 기록된 식별번호를 판독하는 바코드 판독기; 램에 저장되고 중앙처리장치의 제어에 의해 동작하면서, 바코드 판독기에 의해 판독된 식별번호를 직렬입출력장치를 통해 읽어들여 보조기억장치의 소정의 영역에 저장하는 식별번호입력부; 및 램에 저장되고 중앙처리장치의 제어에 의해 동작하면서, 보조기억장치에 저장된 식별번호를 롬의 식별번호부에 저장하는 식별번호저장부를 더 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 롬에 내장된 컴퓨터 시스템 고유의 식별번호를 네트워크 어드레스로 활용할 수 있으며, 상기 식별번호를 이용하여 도난당한 컴퓨터 시스템을 쉽게 확인할 수도 있다.-
公开(公告)号：KR2019960002775U
公开(公告)日：1996-01-22
申请号：KR2019940014354
申请日：1994-06-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김재욱
IPC: G06F11/30
Abstract: 이고안은외부와의통신기능을보유한팜탑(Palmtop) 또는핸드헬드(Handheld) 데이터(Data) 컴퓨터에관한것으로, 외부와의통신기능을보유한광탑또는핸드헬드컴퓨터등에서중요한데이터를긴급히송수신하기위하여, 키인풋또는펜 인풋에의해이머젼시시그널발생부와; 메모리에있는데어터가없어지지않도록주기적인펄스신호인리프레쉬시그널을발생하고, 초기에파워를온 했을때 파워굿시그널을발생하고, 전원의소모를줄이기위해클럭기능을멈추는스탑클럭시그널을발생하는상태시그널발생부와; 상기의이머전시시그널발생부와상태시그널발생부로부터여러가지시그널을입력받아컴퓨터의상태에따라각기다른시그널을발생하는이머젼시스테이트시그널발생부로구성되어, 팜탑또는핸드헬드컴퓨터등에서중요한데이터를긴급히송수신하고자할 때메인컴퓨터에최우선의우선권(Prioity)를요구하는작업상태로들어갈수있도록이머젼시스테이트를알려주기위한시그널을발생시키도록하는서스펜드나노멀모드시이머젼시스테이트신호발생장치에관한것.
Abstract translation: 本发明涉及具有外部通信功能的掌上电脑或手持式数据计算机，并且能够发送和接收密钥数据或密钥数据，以便在小型计算机中紧急地发送和接收重要数据， 通过笔输入的浸入式信号发生器; 生成周期性脉冲sinhoin刷新信号，从而走开deeoteo的内存，并在发展初期接通电源的电源良好信号和产生时钟停止信号，停止时钟功能状态信号发生器，以减少电力的消耗时 单元; 接收的各种信号从所述紧急信号生成单元和所述状态信号产生部的组成，根据计算机的状态产生不同的信号的紧急状态信号发生器，紧急发送和接收重要数据等掌上型或手提式计算机， 并且当产生紧急状态时产生用于通知紧急状态的信号以进入给予计算机最高优先级的工作状态。
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