公开(公告)号：KR100854500B1

公开(公告)日：2008-08-26

申请号：KR1020070014453

申请日：2007-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상근 ,  최민호 ,  박성욱 ,  김진성 ,  박종석 ,  김대현

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  H01L21/68742

Abstract: 척 어셈블리 및 이를 구비한 고밀도 플라즈마 설비가 제공된다. 상기 척 어셈블리는 상면에 반도체 기판이 안착되며 가장자리부에 다수의 핀홀이 형성된 척, 상기 척의 상면에 안착된 반도체 기판이 상기 척으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 척을 둘러싸게 상기 척의 외측부에 배치되는 기판 가이드, 상기 척의 하부에 배치되는 고정 플레이트, 상기 고정 플레이트에 설치되고 상기 핀홀들에 각각 끼워지도록 상기 고정 플레이트의 상측 방향으로 연장형성되되 그 상면이 상기 척의 상면보다 0.2~0.5mm의 낮은 위치에까지 연장형성되는 다수의 리프트 핀 및, 상기 고정 플레이트를 관통하여 상기 척의 하부에 결합되며 상기 척을 하강 및 상승시키는 척 리프터를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020080075369A

公开(公告)日：2008-08-18

申请号：KR1020070014453

申请日：2007-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상근 ,  최민호 ,  박성욱 ,  김진성 ,  박종석 ,  김대현

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  H01L21/68742

Abstract: A chuck assembly is provided to reduce the damage of a film on the backside of a wafer due to plasma when performing the high density plasma process, and a high density plasma equipment having the chuck assembly is provided. A chuck assembly(150) comprises: a chuck(151) which has a semiconductor substrate(90) placed on a top face thereof, and a plurality of pin holes(152a) formed in an outer peripheral part thereof; a substrate guide(159) disposed on an outer face of the chuck to prevent the semiconductor substrate placed on the top face of the chuck from separating from the chuck; a fixed plate(158) disposed on a bottom part of the chuck; lift pins(157) which are fixed to the fixed plate, which are installed in the upper direction of the fixed plate such that the lift pins are inserted into the pin holes respectively, and of which upper faces extend to a position adjacent the top face of the chuck; and a chuck lift(156) which passes through the fixed plate and joins with a bottom part of the chuck, and lifts or lowers the chuck. The chuck comprises a disc-shaped placement plate(152) in which an electrostatic electrode(153) is installed, and a cooling plate(155) disposed on a bottom part of the placement plate.

Abstract translation: 提供了一种卡盘组件，用于在执行高密度等离子体处理时减少由于等离子体造成的晶片背面的薄膜的损坏，并且提供了具有卡盘组件的高密度等离子体设备。 卡盘组件（150）包括：卡盘（151），其上设置有半导体基板（90），以及形成在其外周部分中的多个销孔（152a） 设置在卡盘的外表面上的基板引导件（159），以防止放置在卡盘的顶面上的半导体基板与卡盘分离; 设置在所述卡盘的底部的固定板（158） 固定在固定板上的提升销（157），其安装在固定板的上方，使得提升销分别插入销孔中，并且其上表面延伸到与顶面相邻的位置 的卡盘 和卡盘升降机（156），其通过固定板并与卡盘的底部连接，并提升或降低卡盘。 卡盘包括其中安装有静电电极（153）的盘形放置板（152）和布置在放置板的底部的冷却板（155）。

公开(公告)号：KR100833244B1

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：KR1020060107472

申请日：2006-11-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강만석 ,  박성욱

IPC: G11B27/10 ,  G11B19/02 ,  G11B20/10

CPC classification number: H04N5/44543 ,  G11B19/02 ,  G11B27/34 ,  H04N9/8205 ,  H04N21/4312 ,  H04N21/485

Abstract: 본 발명에 따라 오디오/비쥬얼 데이터를 재생하는 장치에서 상기 오디오/비쥬얼 데이터의 재생 제어 방법 및 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 재생 제어 방법은, 사용자에 의해 상기 오디오/비쥬얼 데이터의 재생 제어를 할 수 있도록 마련된 재생 제어 화면에, 소정의 기능을 실행하기 위해 상기 사용자에 의해 선택될 수있도록 마련된 적어도 하나의 입력 요소를 제공하는 단계와, 상기 입력 요소가 상기 재생 장치에 의해 선택되어야 하는 경우, 상기 입력 요소에 관한 정보를 참조하여 유효한 입력 요소인지를 결정하고, 유효한 입력 요소로 결정된 경우에 상기 입력 요소를 선택하는 단계를 포함한다. 이와 같은 구성에 의하면, 사용자에게 어떠한 경우에도 메뉴의 네비게이션이 가능한 상태가 되도록 보장할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020080031887A

公开(公告)日：2008-04-11

申请号：KR1020080019327

申请日：2008-02-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정현권 ,  고정완 ,  박성욱 ,  박봉길

IPC: H04N5/92 ,  G11B20/10 ,  G11B20/12

CPC classification number: H04N5/91 ,  G11B2220/2537

Abstract: A video data recording apparatus and an information storage medium recording video data are provided to enable a recording unit to decode extracted video data, encode the decoded video data in a different scheme, and record the encoded video data in an optical disk, thereby reproducing the video data and hyper-text data properly even when the video data is re-encoded and recorded in the different scheme. A filter unit(1) extracts video data from a received bitstream. A recording unit(3) decodes the video data and encodes the decoded video data in a different encoding method, records the encoded video data, and generates and records video conversion information about the video data. The video conversion information includes the resolution and aspect ratio of the video data. A control unit(2) creates image conversion information which is to be referred in order to decode image data in a state same as the original state, and transmits the created image conversion information to the recording unit.

Abstract translation: 提供视频数据记录装置和记录视频数据的信息存储介质，以使记录单元能够解码所提取的视频数据，以不同方案对解码的视频数据进行编码，并将编码的视频数据记录在光盘中，从而再现 视频数据和超文本数据，即使视频数据被重新编码并以不同的方案记录。 滤波器单元（1）从接收的比特流中提取视频数据。 记录单元（3）以不同的编码方式解码视频数据并对解码的视频数据进行编码，记录编码的视频数据，并生成并记录关于视频数据的视频转换信息。 视频转换信息包括视频数据的分辨率和高宽比。 控制单元（2）创建要参照的图像转换信息，以便以与原始状态相同的状态对图像数据进行解码，并将所生成的图像转换信息发送到记录单元。

公开(公告)号：KR100757347B1

公开(公告)日：2007-09-10

申请号：KR1020060082659

申请日：2006-08-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김일경 ,  허노현 ,  이태원 ,  박성욱 ,  윤기영

IPC: H01J37/36 ,  H01J37/30 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/32495 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32412

Abstract: An ion implanter is provided to reduce the amount of contaminants due to an etching effect of a boundary by forming an etch-preventing member at the boundary. A process chamber(100) includes an airtight internal space for performing an ion implanting process. A supporting platen(200) is positioned in the inside of the process chamber in order to support a substrate as an ion implanting target and to be electrically connected to a high-frequency pulse source. A conductor(300) is positioned apart from the supporting platen in order to generate plasma for ion implanting process. The conductor includes a first etch-preventing member(142) to prevent etch due to process gas for generating the plasma. A power connection unit(400) supplies RF(Radio Frequency) power to the inside of the process chamber.

Abstract translation: 提供了离子注入机，通过在边界处形成防蚀蚀部件来减少由于边界的蚀刻效应引起的污染物的量。 处理室（100）包括用于进行离子注入处理的气密内部空间。 支撑压板（200）位于处理室的内部，以便支撑基板作为离子注入目标并且电连接到高频脉冲源。 导体（300）定位成离开支撑台板，以产生用于离子注入工艺的等离子体。 导体包括防止由于处理气体而产生等离子体的蚀刻的第一防蚀蚀部件（142）。 电力连接单元（400）向处理室的内部提供RF（射频）功率。

公开(公告)号：KR100739770B1

公开(公告)日：2007-07-13

申请号：KR1020050119084

申请日：2005-12-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 천혜정 ,  박성욱

IPC: G11B20/10

CPC classification number: G11B27/105 ,  G06F17/30817 ,  G06F17/30858 ,  G11B27/28 ,  G11B27/329 ,  G11B2220/235

Abstract: 본 발명은 멀티 앵글을 지원하는 AV 데이터에 대한 확장 검색 기능을 제공하는 메타 데이터를 포함하는 저장 매체와 그 저장 매체를 재생하는 재생 장치 및 재생 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 저장 매체는, 멀티 앵글을 지원하는 AV 데이터; 및 AV 데이터에 대한 확장 검색 기능을 제공하기 위한 메타 데이터를 포함하며, 메타 데이터는 장면(scene)별로 정의되며, 해당 장면에 적용되는 적어도 하나의 검색 키워드 정보와 해당 장면에서 지원되는 앵글에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 메타 데이터는 해당 장면의 시작 위치 및 재생 지속 시간에 대한 정보를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 멀티 앵글을 지원하는 동영상 데이터에 대하여, 장면(scene), 등장인물(Character), 배우(actor) 또는 제작자가 임의로 정의할 수 있는 검색 기준에 따른 확장 검색 기능을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR100739682B1

公开(公告)日：2007-07-13

申请号：KR1020040016103

申请日：2004-03-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강만석 ,  문성진 ,  정길수 ,  박성욱 ,  정현권

IPC: G11B20/10

CPC classification number: G11B27/105 ,  G11B2220/2541 ,  H04N5/44504 ,  H04N5/85 ,  H04N5/9205 ,  H04N5/9206 ,  H04N9/8042 ,  H04N9/8227 ,  H04N9/8233 ,  H04N21/23412 ,  H04N21/235 ,  H04N21/4307 ,  H04N21/435 ,  H04N21/4884 ,  H04N21/84 ,  H04N21/8543 ,  H04N21/8545 ,  H04N21/8583

Abstract: 본 발명은 서브 타이틀에 관한 것으로, 구체적으로는 텍스트 기반의 서브 타이틀, 그 처리장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 텍스트 기반의 서브 타이틀 정보를 기록한 정보저장매체는, 상기 서브 타이틀의 자막 텍스트 정보 및 상기 자막 텍스트의 출력형태를 지정하는 정보를 포함하는 다이얼로그 정보; 상기 자막 텍스트를 렌더링하여 비트맵 형식으로 변환하는데 사용되는 스타일 정보를 포함하는 프리젠테이션 정보를 포함한다. 본 발명은 서브 타이틀의 데이터 량과 서브 타이틀의 출력시에 처리하여야 할 데이터 량을 크게 줄일 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020070033732A

公开(公告)日：2007-03-27

申请号：KR1020050088212

申请日：2005-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강만석 ,  정길수 ,  박성욱

IPC: H04N5/445

CPC classification number: G06F3/04892

Abstract: Provided are an information storage medium on which contents for interactively providing a user with audio/visual data are recorded, a method and an apparatus for highlighting buttons on a screen (500) on which a plurality of applications are displayed so as to interactively provide the user with the audio/visual data. The contents include information about a button performing a predetermined function. The information about the button includes neighboring button information (540) for moving within an application to which the highlighted button belongs or for moving to a neighboring application which is adjacent to the application to which the highlighted button belongs.

Abstract translation: 提供了一种信息存储介质，在该信息存储介质上记录用于交互式地向用户提供音频/视频数据的内容，用于突出显示多个应用的​​屏幕（500）上的按钮的方法和装置，以交互地提供 用户与音频/视频数据。 内容包括关于执行预定功能的按钮的信息。 关于按钮的信息包括用于在突出显示的按钮所属的应用程序内移动的相邻按钮信息（540），或者用于移动到与突出显示的按钮所属的应用程序相邻的邻近应用程序。

公开(公告)号：KR100694038B1

公开(公告)日：2007-03-12

申请号：KR1020000035948

申请日：2000-06-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이희수 ,  정태윤 ,  허정권 ,  박성욱

IPC: G11B27/00

CPC classification number: H04N21/242 ,  G11B2020/10944 ,  H04N21/23424 ,  H04N21/4305 ,  H04N21/44016

Abstract: 본 발명에는 연속 재생이 가능한 비트열 통합 방법과 장치, 이를 위한 제어 정보를 기록하는 기록 매체 및 편집 방법이 개시되어 있다. 본 발명은 서로 다른 두 비트열을 통합할 때 비트열 경계에서 다음 비트열의 SCR(System Clock Reference)값은 이전 비트열의 SCR값과 연관이 없음을 나타내는 SCR 제어 정보를 기록한 후 통합된 비트열을 재생하는 경우 통합된 비트열의 경계에서 SCR값이 크게 변하더라도 정상적인 재생이 가능하다. SCR 제어 정보는 제어 정보 식별자, 제어 정보 길이, 불연속 정보, 기타 정보 중 적어도 하나 이상으로 되어 있다.

公开(公告)号：KR100678147B1

公开(公告)日：2007-02-02

申请号：KR1020050000976

申请日：2005-01-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박성욱 ,  정혜연 ,  박정훈 ,  임애리

IPC: H04B7/26

CPC classification number: H04W36/02 ,  H04L1/1851 ,  H04L1/1883

Abstract: 본 발명의 실시 예는, 핸드오버시 자동 재전송(ARQ: Automatic Retransmission Request) 관련 타이머를 제어하는 광대역 무선 접속 통신 시스템에 있어서, 단말기와 통신을 수행하는 중에 핸드오버의 시작을 알리는 메시지를 수신하면 핸드오버 절차를 수행하는 서빙 기지국과, 상기 핸드오버 절차와 상기 단말기와 네트워크 엔트리 절차를 수행하는 타겟 기지국과, 상기 서빙 기지국과의 통신을 수행하는 중에 핸드 오버 상황이 발생하면, 상기 핸드 오버 시작을 알리는 메시지를 전송하면서 제1 ARQ 관련 타이머를 중지시킨 후 상기 타겟 기지국과 핸드 오버 절차를 수행하고, 상기 타겟 기지국과의 핸드 오버가 완료되면 상기 타겟 기지국과 네트워크 엔트리를 수행하고, 상기 네트워크 엔트리 완료 시 상기 제1 ARQ 관련 타이머를 재동작시키는 단말기를 포함하는 핸드오버시 ARQ 관련 타이머를 제어시킬 수 있도록 하는 기능이 구현된다. 본 발명에 따르면, 이러한 방법을 통해 원할하게 단말기와 기지국 간의 동기가 이루어짐으로써 핸드 오버 도중에 ARQ 관련 타이머의 동작으로 인해 단말기와 기지국 간의 동기가 맞지 않아 발생할 수 있는 신뢰성, 지연과 지연 변이 등의 문제점을 사전에 방지할 수 있으며 핸드 오버 상황 또는 정상적인 상태 등 네트워크의 상태 변화에 상관없이 최적화된 ARQ 관련 타이머를 제공할 수 있게 된다.
ARQ, 핸드 오버, ARQ 타이머