公开(公告)号：KR1020080014588A

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：KR1020070030844

申请日：2007-03-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황성준 ,  박종석 ,  김영기 ,  장기덕

IPC: H04B1/38

CPC classification number: H04M1/0212 ,  E05Y2900/606 ,  H04M1/23

Abstract: A dual-axis rotation folder-type mobile terminal and a hinge unit thereof are provided to offer the optimum user interfacing environment to input data conveniently and to see the screen of a display part comfortably by easily changing open/close patterns of a folder and to open and close the folder easily by forming a stopper part to restrict the swing operation of a hinge part. A dual-axis rotation folder-type mobile terminal consists of a main body, a folder(200), and a rotary hinge part(300). The rotary hinge part connects the folder with the main body so that the folder can rotate in the direction of getting near to or far from the main body. The rotary hinge part, swung at a certain angle along the outer circumferential side of the main body, changes open/close patterns of the folder. The first bending radius region having the first bending radius is formed at an edge of the main body, and the second bending radius region having the second bending radius is formed at an edge of the folder. The rotary hinge part, swung along the outer circumferential sides of the first and second bending radius regions, changes hinge axes of the folder.

Abstract translation: 提供双轴旋转文件夹型移动终端及其铰链单元，以方便地提供最佳用户接口环境以便方便地输入数据，并且通过容易地改变文件夹的打开/关闭图案来舒适地查看显示部分的屏幕，并且 通过形成限制部件来限制铰链部件的摆动操作，容易地打开和关闭夹子。 双轴旋转文件夹型移动终端由主体，文件夹（200）和旋转铰链部（300）组成。 旋转铰链部分将文件夹与主体连接，使得文件夹可以在靠近或远离主体的方向旋转。 沿着主体的外周侧以一定角度摆动的旋转铰链部分改变了文件夹的打开/关闭图案。 具有第一弯曲半径的第一弯曲半径区域形成在主体的边缘处，并且具有第二弯曲半径的第二弯曲半径区域形成在文件夹的边缘。 沿着第一和第二弯曲半径区域的外周侧摆动的旋转铰链部分改变文件夹的铰链轴。

公开(公告)号：KR1020050099256A

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：KR1020040024504

申请日：2004-04-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권혁만 ,  박재홍 ,  박종석

IPC: H04N19/86

CPC classification number: H04N19/86 ,  H04N19/182 ,  H04N19/80

Abstract: 영상 처리장치와 영상처리 방법이 개시된다. 상기 영상처리 장치는 디블록킹 모드 및 화소 차이 값 결정회로, 외부 메모리와 필터링 회로를 구비한다. 상기 킹 모드 및 화소 차이 값 결정회로는 비디오 신호의 블록경계가 오프셋 모드인지 또는 디폴트 모드인지의 여부를 결정하고, 상기 비디오신호, 블록킹 모드 정보와 화소 차이 값을 외부 메모리에 저장한다. 필터링 회로는 블록경계를 따라 복호화된 비디오 신호의 해당 라인을 디블록킹하는 경우 디블록킹 모드정보와 화소 차이 값을 외부 메모리로부터 임시 버퍼인 라인 메모리로 읽어와 상기 디블록킹 모드정보와 상기 화소 차이 값에 기초하여 상기 복호화된 비디오 신호의 해당 라인을 디블록킹한다.

公开(公告)号：KR1020050014412A

公开(公告)日：2005-02-07

申请号：KR1020030053046

申请日：2003-07-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이춘득 ,  박종석

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A wafer fixing apparatus is provided to prevent particles from penetrating a gap between an electrostatic chuck and a wafer fixed to the electrostatic chuck by sufficiently enlarging the size of a step formed in the upper part of the inner circumferential surface of a guard ring for protecting the electrostatic chuck. CONSTITUTION: A main body(114) is of a circumferential type. Protrusions(112) supports a wafer(W), protruding from the upper surface of the main body. An electrostatic chick(110) fixes the wafer by electrostatic force. A guard ring(120) of a circular ring type protects the electrostatic chuck, surrounding the lateral surface of the electrostatic chuck. A step is formed in the upper part of the inner circumferential surface of the guard ring to provide a space in which particles generated during a process can be deposited. The depth of the step is 2-3 millimeter from the upper surface of the guard ring.

Abstract translation: 目的：提供一种晶片定影装置，通过充分扩大形成在防护环的内周面的上部的台阶的尺寸，防止颗粒穿过静电卡盘与固定在静电卡盘上的晶片之间的间隙 保护静电卡盘。 构成：主体（114）为周向型。 突起（112）支撑从主体的上表面突出的晶片（W）。 静电小鸡（110）通过静电力固定晶片。 环形保护环（120）保护静电卡盘，围绕静电卡盘的侧面。 在保护环的内周面的上部形成台阶，提供能够沉积在工序中产生的粒子的空间。 台阶的深度距保护环的上表面2-3毫米。

公开(公告)号：KR100454969B1

公开(公告)日：2004-11-06

申请号：KR1020010074391

申请日：2001-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이영근 ,  박종석

IPC: H04B1/38

CPC classification number: H04M1/0237 ,  H04M1/0214 ,  H04M1/0279 ,  H04M1/0283

Abstract: Disclosed is a mobile telephone terminal provided with a main housing having an antenna unit, a speaker unit, a LCD, a key array including a plurality of keys, and a microphone unit, and comprising (a) the main housing including a front end and at least one side end, and (b) a replaceable sub-housing including a front end, a first wing and a second wing extended from both side surfaces of the front end in the longitudinal direction, and an accommodation area disposed between the front end and the first and second wings, wherein the replaceable sub-housing surrounds a designated area of the main housing and is attached to and detached from the main housing in the longitudinal direction.

Abstract translation: 公开了一种移动电话终端，该移动电话终端设置有主壳体，该主壳体具有天线单元，扬声器单元，LCD，包括多个键的键阵列和麦克风单元，并且包括：（a）主壳体，包括前端和 （b）可更换的副壳体，该可更换的副壳体包括从前端的纵向方向的两个侧表面延伸的前端，第一翼部和第二翼部，以及容纳区域，该容纳区域设置在前端部 以及所述第一翼和所述第二翼，其中所述可替换的子外壳围绕所述主外壳的指定区域并且在所述纵向方向上与所述主外壳连接和分离。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR1020000065903A

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：KR1019990012656

申请日：1999-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박종석 ,  지연홍

IPC: H01L21/28

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a reaction blocking layer using a two step evaporation process is provided to form a reliable barrier layer by forming the reaction blocking layer having a superior step coverage regarding an overall contact hole. CONSTITUTION: In forming a tungsten plug using titanium(106)/titanium nitride layer(108a,108b) in a contact hole of a semiconductor device, the titanium nitride layer is evaporated so that a step coverage of the bottom of the contact hole becomes superior and a step coverage of the sidewall of the contact hole becomes superior. Therefore, the titanium nitride layer has a superior step coverage regarding all of the inside of the contact hole.

Abstract translation: 目的：提供使用两步蒸发方法制造反应阻挡层的方法，通过形成对整个接触孔具有优异的阶梯覆盖的反应阻挡层来形成可靠的阻挡层。 构成：在半导体器件的接触孔中使用钛（106）/氮化钛层（108a，108b）形成钨插塞时，氮化钛层被蒸发，使得接触孔底部的台阶覆盖变得优异 并且接触孔的侧壁的台阶覆盖变得更好。 因此，氮化钛层对接触孔的全部内部具有优异的阶梯覆盖。

公开(公告)号：KR1019990039104A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970059066

申请日：1997-11-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박종석 ,  김원우 ,  정용화 ,  박정호

IPC: H01L21/20

Abstract: 반도체 장치 제조용 스퍼터(sputter)를 개시한다. 본 발명은, 챔버(chamber)와, 챔버 내에 도입되는 타겟부(target part)와, 타겟부에 대향되게 설치되며 회전하는 척부(chuck part) 및 척부를 회전시키는 모터(motor) 등과 같은 구동 수단을 포함한다. 이때, 척부로는 가열 수단을 가지는 히터 테이블(heater table)을 이용한다.

公开(公告)号：KR100174086B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019950055034

申请日：1995-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임상만 ,  박종석

IPC: H01L21/3065

Abstract: 본 발명은 반도체소자의 제조공정중 건식식각공정에 관한 것으로 특히 챔버에서 발생한 부산물을 외부로 배출하기위한 펌프라인에 설치되는 밸브의 구조에 대한 것이다.
종래의 건식식각 장비에 챔버와 펌프사이에 설치되는 밸브는 밸브의 동작시 밸브내부에 있는 파티클이 공정챔버로 유입되어 공정결함을 유발하고 오염의 정도가 심하여 크리닝하는 주기가 짧은 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로 공정챔저와 파티클을 제거하기 위한 펌프사이에 설치되는 슬라이드 방식으로 개폐동작되는 격리판을 구비한 개폐밸브에 있어서, 상기 격리판의 상부에 고정되는 링모양의 브러쉬나, 흡입 또는 분사하는 제거부재를 설치하여 공정침버의 오염을 방지하고 제품의 품질이 향상과 장비의 가동효율을 높이도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR100854500B1

公开(公告)日：2008-08-26

申请号：KR1020070014453

申请日：2007-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상근 ,  최민호 ,  박성욱 ,  김진성 ,  박종석 ,  김대현

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  H01L21/68742

Abstract: 척 어셈블리 및 이를 구비한 고밀도 플라즈마 설비가 제공된다. 상기 척 어셈블리는 상면에 반도체 기판이 안착되며 가장자리부에 다수의 핀홀이 형성된 척, 상기 척의 상면에 안착된 반도체 기판이 상기 척으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 상기 척을 둘러싸게 상기 척의 외측부에 배치되는 기판 가이드, 상기 척의 하부에 배치되는 고정 플레이트, 상기 고정 플레이트에 설치되고 상기 핀홀들에 각각 끼워지도록 상기 고정 플레이트의 상측 방향으로 연장형성되되 그 상면이 상기 척의 상면보다 0.2~0.5mm의 낮은 위치에까지 연장형성되는 다수의 리프트 핀 및, 상기 고정 플레이트를 관통하여 상기 척의 하부에 결합되며 상기 척을 하강 및 상승시키는 척 리프터를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020080075369A

公开(公告)日：2008-08-18

申请号：KR1020070014453

申请日：2007-02-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상근 ,  최민호 ,  박성욱 ,  김진성 ,  박종석 ,  김대현

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/50

CPC classification number: H01L21/68735 ,  H01L21/68742

Abstract: A chuck assembly is provided to reduce the damage of a film on the backside of a wafer due to plasma when performing the high density plasma process, and a high density plasma equipment having the chuck assembly is provided. A chuck assembly(150) comprises: a chuck(151) which has a semiconductor substrate(90) placed on a top face thereof, and a plurality of pin holes(152a) formed in an outer peripheral part thereof; a substrate guide(159) disposed on an outer face of the chuck to prevent the semiconductor substrate placed on the top face of the chuck from separating from the chuck; a fixed plate(158) disposed on a bottom part of the chuck; lift pins(157) which are fixed to the fixed plate, which are installed in the upper direction of the fixed plate such that the lift pins are inserted into the pin holes respectively, and of which upper faces extend to a position adjacent the top face of the chuck; and a chuck lift(156) which passes through the fixed plate and joins with a bottom part of the chuck, and lifts or lowers the chuck. The chuck comprises a disc-shaped placement plate(152) in which an electrostatic electrode(153) is installed, and a cooling plate(155) disposed on a bottom part of the placement plate.

Abstract translation: 提供了一种卡盘组件，用于在执行高密度等离子体处理时减少由于等离子体造成的晶片背面的薄膜的损坏，并且提供了具有卡盘组件的高密度等离子体设备。 卡盘组件（150）包括：卡盘（151），其上设置有半导体基板（90），以及形成在其外周部分中的多个销孔（152a） 设置在卡盘的外表面上的基板引导件（159），以防止放置在卡盘的顶面上的半导体基板与卡盘分离; 设置在所述卡盘的底部的固定板（158） 固定在固定板上的提升销（157），其安装在固定板的上方，使得提升销分别插入销孔中，并且其上表面延伸到与顶面相邻的位置 的卡盘 和卡盘升降机（156），其通过固定板并与卡盘的底部连接，并提升或降低卡盘。 卡盘包括其中安装有静电电极（153）的盘形放置板（152）和布置在放置板的底部的冷却板（155）。

公开(公告)号：KR1020050103065A

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：KR1020040028466

申请日：2004-04-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정태성 ,  김재혁 ,  박종석

IPC: H04L12/28

CPC classification number: H04W76/12 ,  H04W28/06 ,  H04W40/00 ,  H04W76/11 ,  H04W84/04 ,  H04W88/16 ,  H04W92/02

Abstract: An apparatus and a method are provided for producing a tunnel in an integration serving node formed by integrating a serving support node and a gateway node which connect a radio network controller of a wireless access network server to a home server of an external network. The apparatus comprises a plurality of integration traffic modules for processing upstream data and downstream data; a memory module comprising a look up table, for example, for storing integration tunnel endpoint identifiers corresponding to the integration traffic modules; a serving support node signaling module for, according to a call request of a terminal for connecting with an external server, selecting one integration traffic module from among the plurality of integration traffic modules and assigning an integration tunnel endpoint identifier corresponding to the selected integration traffic module; and a gateway node signaling module for receiving request data including the assigned integration tunnel endpoint identifier from the serving support node signaling module though internal processing communication (IPC) and storing the integration tunnel endpoint identifier in the look up table.