Abstract:
콘택 플러그를 포함하는 반도체 소자 및 그 제조 방법이 제공된다. 콘택 플러그를 포함하는 반도체 소자, 기판 상의 게이트 전극, 상기 기판 상의 층간 절연막, 상기 층간 절연막을 관통하고 상기 게이트 전극에 인접하는 기판을 노출하는 콘택홀, 상기 콘택홀 하부의 기판과 전기적으로 접속하고 상기 층간 절연막의 상면보다 일정 깊이 리세스된 상면을 갖는 콘택 플러그, 상기 콘택 플러그 상의 상기 콘택홀 내부 측벽을 덮고 상기 콘택 플러그의 상면의 일부를 노출하는 스페이서, 상기 스페이서 상에 형성되고 상기 콘택 플러그의 상면과 전기적으로 접속하는 제1 도전 라인, 그리고 상기 제1 도전 라인과 인접하고 상기 층간 절연막 상의 제2 도전 라인을 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 무선 통신 특히 지그비 통신 방식으로 조도 센서와 모션 센서를 제어할 수 있는 무선 조명 상태 검출 장치에 관한 것으로, 사전에 설정된 네트워크 정보를 갖고, 사전에 설정된 네트워크 정보를 갖고, 사전에 설정된 통신 방식으로 제어되어 적어도 하나의 조명의 상태를 검출하는 적어도 하나의 센싱 모듈과, 상기 적어도 하나의 센싱 모듈로부터 사전에 설정된 통신 방식으로 상기 네트워크 정보를 전달받아 무선 네트워크를 형성하여 상기 센싱 모듈에 검출 정보를 요청하는 제어 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 조명 상태 검출 장치를 제공한다.
Abstract:
A charge pump circuit and a charge-pumping method are provided to increase an operating speed by generating previously a first boosting signal in response to a command signal before activating a sensing signal. A first boosting unit(120) outputs a first boosting signal of an intermediate voltage level by performing a pumping operation in response to a command signal. A sensing unit(112) outputs a sensing signal(det) when a voltage level of an output node is lower than a voltage level of a target voltage in response to the command signal. A final boosting unit(130) performs a charge-pumping operation for boosting the voltage level of the output node to a final boosting voltage level higher than the intermediate voltage level and the voltage level of the target voltage in response to the sensing signal and the first boosting signal.
Abstract:
개량된 러빙 강도 측정 장치를 러빙 롤러에 설치하여 최적 러빙강도를 정밀하게 산출하고, 산출된 러빙 강도에 의하여 글래스 기판에 러빙 공정을 수행함으로써, 특히 패턴이 다르게 형성된 적어도 2 종류 이상의 글래스 기판에 적합한 러빙 강도의 측정 시간 단축 및 러빙 정밀도를 향상시키는 러빙강도 측정장치를 구비한 러빙 장치 및 그 방법이 개시되고 있다. 본 발명에 의하면 테이블에 안착되어 있는 글래스 기판의 상면을 러빙 롤러에 의하여 러빙할 때 필요한 러빙강도를 산출하는 방법에 있어서, 테이블과 글래스 기판 사이의 마찰력을 제거하는 단계와, 일정 회전수로 회전하고 있는 러빙 롤러를 소정 러빙 강도로 글래스 기판상에 가압하는 단계와, 러빙 롤러에 의하여 이동된 글래스 기판의 이동속도를 측정하여 러빙 강도를 산출하는 단계와, 산출된 러빙 강도가 적합한지를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.