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公开(公告)号：KR1020150117178A
公开(公告)日：2015-10-19
申请号：KR1020140042641
申请日：2014-04-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 개봉후 재사용할수 있도록마련되는포장박스를개시한다. 포장박스는내면과외면을뒤집어조립하는것이가능하도록연결된복수의면부로서, 복수의면부중 적어도하나의면부는인접한다른면부와분리가능하게연결되는복수의면부; 적어도하나의면부에일체로형성되는제1연결부;와제1연결부에대응하여인접한다른면부에일체로형성되는제2연결부;를포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 公开了一种在盒子打开之后被重新使用的包装盒。 包装箱包括：多个表面单元，其连接成能够通过转动表面单元之间的内表面和外表面而组装，其中表面单元中的至少一个表面单元被连接以与其它相邻表面单元分离 ; 整体地形成在至少一个表面单元上的第一连接单元; 以及第二连接单元，其一体形成在相对于第一连接单元的另一相邻表面单元上。
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公开(公告)号：KR100227842B1
公开(公告)日：1999-11-01
申请号：KR1019960056144
申请日：1996-11-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 설비에 사용되는 로봇아암(robot-arm)의 얼라인먼트 툴(alignment tool) 및 얼라인 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의하면 로봇아암을 챔버내에서 정위치하도록 얼라인하는 방법에 있어서, 상기 챔버내 정위치를 상기 챔버 외부의 제 1 위치에 대응시키는 단계와; 상기 로봇아암의 상기 정위치에 대한 제 2 위치를 설정하는 단계와; 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치가 일치하도록 상기 로봇아암을 조정하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 챔버 상부를 개방하지 않고도 챔버 외측의 가상의 기준점을 통해 챔버내의 로봇아암의 위치를 관측하여 얼라인먼트를 수행할 수 있어 반도체 설비의 분해/조립에 따른 번거로움을 감소시키고, 그에 따른 소요 시간을 절약하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990011406A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970034497
申请日：1997-07-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F16L9/02
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 조립 공정에 사용되는 가스 전송관에 관한 것으로서, 가스 전송관은 외주면에 절연층이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 전송관이며, 바람직하게는 웨이퍼 가공실과 기계적으로 결합되어 진공을 인가함에 이용됨으로써, 아크 방전의 발생을 없애 장치의 수명을 연장하여 원가를 절감하고, 가스 누출로 인한 공정 불량을 방지하는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150047778A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：KR1020130127646
申请日：2013-10-25
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: Y02W30/807
Abstract: 내부완충및 외부포장의기능을동시에수행할수 있도록내외장이일체로형성되며, 사용후 폐기시키지않고보관하였다가재사용할 수있으며, 내부에포장되는제품의유동을방지할수 있는재사용포장박스를제공한다. 재사용포장박스는상하부가개방된박스형상을갖도록마련되어내부에세탁기가수용되며, 좌우측판은각각두 개의측판이이중힌지구조를갖는복수의힌지부재에좌우방향으로회전가능하게결합되도록마련되고, 전후판은각각상기좌우측판에좌우방향으로회전가능하게힌지결합되어재사용을위해접어서보관할수 있도록마련되는상부바디및 하부바디, 내부에상기세탁기상부의일부를수용할수 있는공간이마련되며, 상기상부바디의상부에결합되는리드및 내부에상기세탁기하부의일부를수용할수 있는공간이마련되어상기하부바디의하부에결합되며, 내부중앙에상기세탁기의터브를고정할수 있는터브고정부가착탈가능하게결합되는바텀을포함하며, 상기상부바디및 하부바디와, 상기리드와, 상기바텀은충격을흡수할수 있는재질로형성되어내부완충및 외부포장의기능을동시에수행할수 있도록형성되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 提供了一种可再利用的包装盒，其中内部和外部片材整体形成，以同时执行内部缓冲和外部包装的功能，并且可以在使用后不被丢弃而被再次使用，并且可以防止其中包装的产品被移动 。 可重复使用的包装盒包括：上部本体和下部主体，其被布置成具有盒形形状，其中上部和下部打开以用于容纳在其中的洗衣机，并且其中左侧和右侧板分别 被布置成旋转地联接到具有双铰链结构的多个铰链构件的左右方向，并且前板和后板被布置成折叠以便重新使用并存储为旋转地铰接到左右方向 左右侧板; 盖子，其中为了容纳所述洗衣机的上部的一部分设置有空间，并且联接到所述上身的上部; 以及底部，其中，为了容纳所述洗衣机的下部的一部分而布置有空间，并且联接到下体的下部，并且其中可以将所述洗衣机的桶固定的桶固定单元是可拆卸的 加在中心。 上身，下体，盖子和底部由能够吸收冲击并形成以同时执行内部缓冲器和外部包装的功能的材料制成。
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公开(公告)号：KR1020020091936A
公开(公告)日：2002-12-11
申请号：KR1020010030754
申请日：2001-06-01
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박형욱
IPC: H01L21/28
Abstract: PURPOSE: A contact hole formation method of semiconductor devices is provided to reduce the generation of particles and to shorten processing time by using preferably a single equipment having an etch chamber and a strip chamber. CONSTITUTION: A dielectric layer is formed on a silicon substrate(200). A resist pattern is formed on the dielectric layer so as to define a contact formation region(210). A single equipment is prepared, wherein the single equipment includes an etch chamber having gas inlets of CF4, CHF3, Ar, O2, and NF3, and a strip chamber. A contact hole is formed by etching the dielectric layer using mixed gases of CF4, CHF3 and Ar in the etch chamber(220a). The exposed silicon substrate is recessed by using mixed gases of O2 and NF3 in same chamber(220b). The resist pattern is partially removed by using the strip chamber(220c). The remained resist pattern is removed by wet etching in an additional equipment.
Abstract translation: 目的：提供半导体器件的接触孔形成方法，以通过优选使用具有蚀刻室和剥离室的单个设备来减少颗粒的产生并缩短处理时间。 构成：在硅衬底（200）上形成介电层。 在电介质层上形成抗蚀剂图形，以限定接触形成区域（210）。 制备单个设备，其中单个设备包括具有CF 4，CHF 3，Ar，O 2和NF 3的气体入口的蚀刻室和带室。 通过在蚀刻室（220a）中使用CF4，CHF3和Ar的混合气体来蚀刻介电层形成接触孔。 暴露的硅衬底通过在相同的腔室（220b）中使用O 2和NF 3的混合气体来凹陷。 通过使用带状室（220c）部分去除抗蚀剂图案。 通过在另外的设备中的湿法蚀刻去除残留的抗蚀剂图案。
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公开(公告)号：KR1019980037399A
公开(公告)日：1998-08-05
申请号：KR1019960056144
申请日：1996-11-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 설비에 사용되는 로봇아암(robot-arm)의 얼라인먼트 툴(alignment tool) 및 얼라인 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의하면 로봇아암을 챔버내에서 정위치하도록 얼라인하는 방법에 있어서, 상기 챔버내 정위치를 상기 챔버 외부의 제 1 위치에 대응시키는 단계와; 상기 로봇아암의 상기 정위치에 대한 제 2 위치를 설정하는 단계와; 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치가 일치하도록 상기 로봇아암을 조정하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 챔버 상부를 개방하지 않고도 챔버 외측의 가상의 기준점을 통해 챔버내의 로봇아암의 위치를 관측하여 얼라인먼트를 수행할 수 있어 반도체 설비의 분해/조립에 따른 번거로움을 감소시키고, 그에 따른 소요 시간을 절약하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019970072166A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960010397
申请日：1996-04-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
Abstract: 건식 식각 장치용 갭 조정 하우징 링의 조립 장치에 있어서, 상, 하판의 사이에 스프링이 설치되고, 나사형 조정부가 하판과 상판에 나사 체결되어 있어 작업자가 상판의 고정핀을 갭 조정 하우징의 하측부에 접촉한 상태에서 나사형 조정부를 시계 방향으로 회전시키면, 상, 하판 사이의 간격이 좁아져 스프링이 압축하게 될 때, 상판이 고정된 갭 조정 하우징에 의해 전진하지 못하는 대신에 하판이 하판의 고정핀이 갭 조정 하우징 링을 갭 조정 하우징과 플랜지 사이의 공간에 밀어 넣는다. 따라서, 갭 조정 하우징 링이 작업자 한사람에 의해 플랜지에 용이하게 조립될 수 있어 갭 조정 하우징 링의 조립에 소요되는 시간과 인력의 낭비에 따른 생산성의 저하가 방지될 수 있다. 또한 조립 장치가 상판과 하판의 사이에 스프링이 착탈 가능하도록 설치되어 분해/조립 겸용으로 사용될 수 있다. 즉, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하면, 조립용으로 사용되고, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하지 않으면, 분해용으로 사용된다.
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