Abstract:
광유도구조물이제공될수 있다. 이를위해서, 상기광 유도구조물은반도체기판상에위치하는제 1 내지 3 절연막들에한정될수 있다. 상기광 유도구조물은제 1 내지 3 절연막들에하나또는다수개의식각종료점을대응시켜서제 1 내지 3 절연막들에배치될수 있다. 이를통해서, 상기광 유도구조물은반도체기판으로부터이격해서제 1 내지 3 절연막들에배치될수 있다. 상기광 유도구조물은이미지센서에포함될수 있다. 상기이미지센서는프로세서베이스드시스템에배치될수 있다.
Abstract:
레이아웃 디자인 시스템, 이를 이용하여 제조한 반도체 장치 및 그 반도체 장치의 제조 방법이 제공된다. 레이아웃 디자인 시스템은, 프로세서, 중간(intermediate) 디자인이 저장된 저장모듈 및 프로세서를 이용하여, 중간 디자인을 수정하는 수정 모듈을 포함하되, 중간 디자인은, 액티브 영역과, 액티브 영역 상에 배치된 복수의 더미 디자인을 포함하고, 각 더미 디자인은 더미 구조물과, 더미 구조물의 양 측에 배치된 더미 스페이서를 포함하고, 수정 모듈은, 복수의 더미 디자인의 일부 영역의 폭을 수정한다.