Abstract:
PURPOSE: Dielectric ceramic and a manufacturing method thereof are provided to improve dielectric property by reducing surface defects of a ferroelectric compound having a perovskite type structure. CONSTITUTION: A mixture which includes a ferroelectric compound having a perovskite type structure and a halide is prepared. An average particle diameter of the ferroelectric compound is 50 to 500micrometers. The mixture is dried under the vacuum atmosphere less than 100°C. The mixture is heat-treated in a temperature of 700°C to 1300°C range. The halide is eliminated by washing the mixture.
Abstract:
본 발명은 분광 분석기를 이용한 파장 선정을 위한 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 파장 선정 시스템은 플라즈마 공정을 처리하는 공정 챔버와, 공정 챔버로부터 플라즈마 공정 시 방출되는 빛의 파장으로부터 플라즈마 내의 화학종의 성분을 분석, 확인하는 분광 분석기와, 공정 챔버로부터 플라즈마 공정 시 챔버 내의 가스에 포함되는 물질들의 질량을 분석하여 성분을 확인하는 질량 분석기 및, 분광 분석기 및 질량 분석기로부터 측정된 데이터를 받아서, 기울기 변동의 일치도가 높은 파장을 선정하는 처리부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 공정에서 분석 대상 화학종이 방출하는 여러 개 파장들의 세기 데이터와 질량 분석기에서 확인되는 데이터를 이용하여 기울기 변동의 일치도가 높은 파장을 선정한다. 플라즈마 공정, 분광 분석기, 질량 분석기, 파장 선정
Abstract:
분광 분석기의 쉴딩 케이블 내에 내재된 분광 분석기용 감쇠기가 개시되어 있다. 시그널을 제공하는 광섬유를 내재하고, 상기 분광 분석기에 제1 단이 연결된 쉴딩 케이블에 장착되어 상기 쉴딩 케이블의 제2 단이 연결된 설비로부터 빛을 수광하는 감쇠기에 있어서, 감쇠기는 상기 쉴딩 케이블 내에 내재되어 상기 쉴딩 케이블 내부를 개폐시킨다. 또는 상기 쉴딩 케이블의 단부에 회전하도록 부착되어 상기 쉴딩 케이블 내의 광섬유 상에 서로 다른 감쇠 효율을 갖는 필터를 위치시킨다. 이와 같이, 분광 분석기의 쉴딩 케이블 내에 감쇠기를 내장시킴으로서, 광을 측정하는 동안 실시간으로 상기 과의 세기를 조절할 수 있다.