분광 분석기를 이용한 파장 선정을 위한 시스템 및 그 방법
    13.
    发明公开
    분광 분석기를 이용한 파장 선정을 위한 시스템 및 그 방법 无效
    使用光学发射光谱的峰值分配系统及其方法

    公开(公告)号:KR1020060053778A

    公开(公告)日:2006-05-22

    申请号:KR1020040094221

    申请日:2004-11-17

    CPC classification number: H01J37/32972 G01J3/443

    Abstract: 본 발명은 분광 분석기를 이용한 파장 선정을 위한 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 파장 선정 시스템은 플라즈마 공정을 처리하는 공정 챔버와, 공정 챔버로부터 플라즈마 공정 시 방출되는 빛의 파장으로부터 플라즈마 내의 화학종의 성분을 분석, 확인하는 분광 분석기와, 공정 챔버로부터 플라즈마 공정 시 챔버 내의 가스에 포함되는 물질들의 질량을 분석하여 성분을 확인하는 질량 분석기 및, 분광 분석기 및 질량 분석기로부터 측정된 데이터를 받아서, 기울기 변동의 일치도가 높은 파장을 선정하는 처리부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 공정에서 분석 대상 화학종이 방출하는 여러 개 파장들의 세기 데이터와 질량 분석기에서 확인되는 데이터를 이용하여 기울기 변동의 일치도가 높은 파장을 선정한다.
    플라즈마 공정, 분광 분석기, 질량 분석기, 파장 선정

    분광 분석기용 감쇠기
    14.
    发明授权
    분광 분석기용 감쇠기 失效
    用于光发射光谱的衰减器

    公开(公告)号:KR100516402B1

    公开(公告)日:2005-09-22

    申请号:KR1020030035154

    申请日:2003-05-31

    Abstract: 분광 분석기의 쉴딩 케이블 내에 내재된 분광 분석기용 감쇠기가 개시되어 있다. 시그널을 제공하는 광섬유를 내재하고, 상기 분광 분석기에 제1 단이 연결된 쉴딩 케이블에 장착되어 상기 쉴딩 케이블의 제2 단이 연결된 설비로부터 빛을 수광하는 감쇠기에 있어서, 감쇠기는 상기 쉴딩 케이블 내에 내재되어 상기 쉴딩 케이블 내부를 개폐시킨다. 또는 상기 쉴딩 케이블의 단부에 회전하도록 부착되어 상기 쉴딩 케이블 내의 광섬유 상에 서로 다른 감쇠 효율을 갖는 필터를 위치시킨다. 이와 같이, 분광 분석기의 쉴딩 케이블 내에 감쇠기를 내장시킴으로서, 광을 측정하는 동안 실시간으로 상기 과의 세기를 조절할 수 있다.

    필름 제조 장치 및 방법
    17.
    发明公开
    필름 제조 장치 및 방법 审中-实审
    电影制作装置及其方法

    公开(公告)号:KR1020150137705A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:KR1020140066031

    申请日:2014-05-30

    CPC classification number: B29C55/08 B29C55/20 B29C2793/0063

    Abstract: 미완성필름을공급하는단계, 상기미완성필름이상기미완성필름의이동방향에대하여수직방향으로장력을받도록상기미완성필름의양단을클립하는단계, 상기미완성필름을예열하는단계, 예열된상기미완성필름을연신및 제1차열처리하는단계, 제1차열처리된상기미완성필름을제2차열처리하는단계를포함하고, 상기미완성필름을상기제1차열처리하는단계와상기제2차열처리하는단계중 적어도하나에서상기미완성필름이그 이동방향에대하여수직방향으로받는장력을제거한다.

    Abstract translation: 本发明包括以下步骤:提供不完整的膜; 夹持不完整薄膜的两端,使得不完整薄膜相对于不完全薄膜的移动方向在垂直方向上受到张力; 预热不完整的膜; 延长并主要热处理预热的不完全膜; 二次热处理主要经热处理的不完全膜。 在不完全膜和二次热处理步骤的一次热处理步骤的至少一个步骤中,除去相对于不完全膜的移动方向在垂直方向上容纳的张力。

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