公开(公告)号：KR1019980068542A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970005192

申请日：1997-02-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이학재

IPC: H01L21/20

Abstract: 확산로를 구성하는 석영 재질의 내· 외측튜브를 포함한 플랜지를 분리하기 용이하도록 하는 저압화학기상증착 공정설비의 확산로 분리장치에 관한 것이다.
본 발명은 석영 재질로 제작되어 확산로를 이루는 내· 외측튜브를 받쳐 지지하도록 형성된 플랜지와, 상기 플랜지 하측 부위에 승· 하강 가능하게 설치되어 승강 운동시 다수개의 웨이퍼를 수용하는 보트를 상기 내· 외측튜브 내부로 투입하도록 설치되는 로더부를 포함하여 구성된 저압 화학기상증착 공정설비의 확산로에 있어서, 테프론 재질로 제작되어 상호 분해 조립이 가능하고 상호 결합시 링 형상을 이루는 분리장치가 상기 플랜지와 상기 로더부 사이에 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 공정 수행시 기밀 상태를 유지하게 되고, 내· 외측튜브를 포함한 플랜지의 분해시 로더부와의 접착 현상을 방지하게 되어 용이하게 분리하게 됨에 따라 내· 외측튜브의 깨짐 현상을 방지하여 저압 화학기상증착 공정설비의 수명을 연장하게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980068185A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970004673

申请日：1997-02-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이학재

IPC: H01L21/20

Abstract: 저압화학기상증착을 위한 반도체 제조설비인 버티칼 머신(VERTICAL MACHINE)의 챔버 내부의 상압과 저압을 감지하는 센서어셈블리에 감지된 압력을 디스플레이하도록 개선시킨 저압화학기상증착 설비의 압력 감지장치에 관한 것이다.
본 발명은 보트에 실린 웨이퍼가 로딩 및 언로딩 되면서 박막증착을 수행하는 챔버와 내부압 설정을 위한 펌프간의 배기라인에 설치되는 저압화학기상증착 설비의 압력 감지장치에 있어서, 보트의 상승과 하강조건인 챔버내부의 압력을 센싱하는 센싱수단과 센싱된 압력을 표시하는 디스플레이수단으로 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면, 공정챔버 내부의 압력이 디스플레이됨으로써 작업자가 기준점을 설정하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있으며, 언로딩 단계에서의 상압감지 불량으로 인한 에러를 사전에 방지함으로써 공정시간을 감소시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019970052815U

公开(公告)日：1997-09-08

申请号：KR2019960003369

申请日：1996-02-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이학재

IPC: H01L21/205

公开(公告)号：KR2019970051151U

公开(公告)日：1997-09-08

申请号：KR2019960002823

申请日：1996-02-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이학재 ,  김화식

IPC: B25B21/00

Abstract: 본고안은나비너트에균일한힘을가할수 있도록토크수단을갖는나비너트조임구에관하여개시한다. 본고안은두 물체의접촉부에형성된구멍에서로관통하도록삽입되는볼트의끝단에나비너트를용이하게체결하기위한나비너트조임구에있어서, 전면에상기나비너트가삽입되도록홈이형성된헤드부와, 상기헤드부위후면에서소정의길이로연장되어형성되고상기나비너트에균일한힘을가할수 있는토크수단을갖는몸체부와, 상기몸체부의끝단에 T자형으로형성된손잡이부로구성되는것을특징으로하는나비너트조임구를제공한다. 본고안은나비너트를고정또는실링하는경우에균일하게접합시킬수 있다.

公开(公告)号：KR1019970051979A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950049333

申请日：1995-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강기호 ,  정경수 ,  이학재 ,  김화식

IPC: H01L21/20

Abstract: 본 발명은 반도체소자 제조설비의 진공 밸브에 관한 것으로, 반도체소자의 제조공정중 저압 화학기상증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)장비등 여러 가지 저압 공정장비에서 공정후 발생되는 폐기물이 배출되는 배출라인의 통로를 개폐하도록 설치된 반도체소자 제조설비의 진공 밸브에 있어서, 개폐판의 직선 왕복이동에 따라 수축 및 팽창하여 기밀이 지속적으로 유지되도록 구비한 벨로우즈가 완전수축되지 않도록 벨로우즈 수축방향으로의 개폐판 이동거리를 제한하는 스토퍼가 밸브몸체내에 설치된 구성이다.
따라서 벨로우즈의 완전수축이 방지되어 용접부위에서의 균열 및 깨짐현상이 감소되어 이로 인한 공정 폐기물의 누출이 방지되는 것이고, 공정 폐기물의 배출시 벨로우즈의 표면 및 용접부위가 노출되지 않아 벨로우즈의 수명이 연장되는 효과가 있다.