公开(公告)号：KR1020080101336A

公开(公告)日：2008-11-21

申请号：KR1020070047961

申请日：2007-05-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김일우 ,  박병하 ,  이문철 ,  심동식 ,  김경일

IPC: H01L29/00

CPC classification number: B41J2/1601 ,  B33Y80/00 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1639

Abstract: A MEMA(Micro Electro Mechanical System) and a manufacturing method thereof are provided to flat a chamber layer by inspecting an end point detector, which is formed at the chamber layer, with an optical microscope in order to detect the thickness of the chamber layer conveniently. A substrate is prepared, and an ink chamber which has ink is formed on the substrate. A chamber layer(20) is flattened by a CMP(Chemical Mechanical Polishing) process. Two end point detectors which have different depths are formed at the chamber layer to conveniently inspect whether or not the chamber layer is flattened with the thickness that a user wants. Each end point detector displays the margin of error as to the thickness of the chamber layer when flatting the chamber.

Abstract translation: 提供了一种MEMA（微机电系统）及其制造方法，通过用光学显微镜检查形成在室层的端点检测器，以便于方便地检测室层的厚度来平坦化室层 。 准备基板，在基板上形成有油墨的墨室。 通过CMP（化学机械抛光）工艺将室层（20）平坦化。 在室层形成具有不同深度的两个端点检测器，以方便地检查室层是否以用户想要的厚度变平。 每个端点检测器在使腔室平坦化时显示腔室层厚度的误差范围。

公开(公告)号：KR100829580B1

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：KR1020060117921

申请日：2006-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이문철 ,  박병하 ,  심동식 ,  윤용섭 ,  박성준 ,  정용원 ,  김경일

IPC: B41J2/015

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  Y10T29/49401

Abstract: An ink-jet print head and a manufacturing method thereof are provided to uniformly supply each ink chamber with ink via ink feed holes by setting a uniform interval between a first feed hole and the ink chambers. An ink-jet print head includes a substrate(110), a chamber layer(120), and a nozzle layer(130). Ink feed holes(111) are formed on the substrate and consist of first, second, and third feed holes(111a,111b,111c). The first feed hole is formed on the upper part of the substrate and has a width getting narrower downward. The second feed hole is formed on the lower part of the substrate and has a width getting wider upward. The third feed hole connects the first and second feed holes. The chamber layer is formed on the substrate and includes ink chambers which are supplied with ink via the ink feed holes. The nozzle layer includes nozzles which are formed on the nozzle layer and discharge ink.

Abstract translation: 提供一种喷墨打印头及其制造方法，通过在第一供给孔和墨室之间设置均匀的间隔，通过墨水供给孔使墨水均匀地供给墨水。 喷墨打印头包括基底（110），腔室层（120）和喷嘴层（130）。 在基板上形成有供墨孔（111），由第一，第二和第三供给孔（111a，111b，111c）构成。 第一供给孔形成在基板的上部，并且宽度向下变窄。 第二供给孔形成在基板的下部，并且宽度向上变宽。 第三进料孔连接第一和第二进料孔。 室层形成在基板上，并且包括经由供墨孔供给墨水的墨室。 喷嘴层包括形成在喷嘴层上并喷射墨水的喷嘴。

公开(公告)号：KR100717028B1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：KR1020050085203

申请日：2005-09-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  하용웅

IPC: B41J2/05

CPC classification number: B41J2/14129 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2202/03 ,  C08G59/682 ,  C09D11/30

Abstract: 본 발명은 잉크가 외부로 토출되는 노즐을 가진 잉크 유로를 구비한 잉크젯 프린트 헤드로서, 상기 잉크 유로가 활성선에 의해 형성된 전도성 가교 폴리머 레지스트 조성물의 경화물이며, 상기 전도성 가교 폴리머 레지스트 조성물이, (a) 글리시딜 에테르 작용기를 포함하는 페놀 노볼락 전구체 폴리머 또는 알리사이클릭 전구체 폴리머로부터 선택되는 1 이상의 에폭시 전구체 폴리머; (b) 하기 화학식 1로 표시되는 금속 알콕사이드 화합물;
: R'M(OR)
n
상기 식에서, R'는 옥시란(oxirane)기 또는 옥세타닐(oxetanyl)기를 포함하는 작용기이고, R은 C
1-10 알킬기, M은 Al, Ti 및 Zr로 이루어진 군에서 선택된 하나의 금속이며; (c) 양이온성 광개시제; 및 (d) 용매;를 포함하는 잉크젯 프린터 헤드를 제공한다.
본 발명의 잉크젯 프린터 헤드는 잉크 유로가 전도성 에폭시 수지로 이루어져 있으며 히터 주위에 트렌치가 형성되어 있어 히터로부터 발생하는 잉여열을 효과적으로 분산시킬 수 있으므로 잉크의 토출 특성을 향상시키는 것이 가능하다.
전도성 에폭시 수지, 트렌치, 잉크젯 프린터헤드

Abstract translation: 本发明是墨水为具有要排出到外部用的喷嘴的油墨流路的喷墨打印头，并且墨流路是导电的交联通过将活性线形成的抗蚀剂组合物的聚合物固化物，导电的交联聚合物的抗蚀剂组合物中，（ a）至少一种选自苯酚酚醛清漆前体聚合物或含有缩水甘油醚官能团的脂环前体聚合物的环氧前体聚合物; （b）由以下通式（1）表示的金属醇盐化合物;

公开(公告)号：KR1020070018532A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：KR1020050073312

申请日：2005-08-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민재식 ,  하용웅 ,  박병하 ,  김경일

IPC: B41J2/05

CPC classification number: B41J2/14 ,  B41J2/05 ,  B41J2202/03 ,  B41J2202/16

Abstract: 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드가 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 상면에 소정 깊이의 트렌치가 외곽을 따라 형성된 기판; 기판 상에 형성되는 복수의 히터; 기판 상에서 상기 히터들과 전기적으로 연결되도록 형성되는 복수의 도체; 히터 및 도체들이 형성된 기판 상에 적층되는 것으로, 히터들의 상부에 토출될 잉크가 채워지는 복수의 잉크챔버가 형성된 챔버층; 챔버층 상에 적층되는 것으로, 잉크의 토출이 이루어지는 복수의 노즐이 형성된 노즐층; 및 히터들로부터 발생되는 열을 분산시키기 위한 것으로, 기판과 챔버층 사이에서 히터 및 도체들을 덮도록 형성되는 동시에 트렌치를 채우도록 형성되는 열전달층;을 구비한다.

公开(公告)号：KR1020060017094A

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：KR1020040065608

申请日：2004-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경일 ,  하용웅 ,  한은봉 ,  박성준 ,  김광열 ,  민재식 ,  김남균 ,  박용식 ,  박병하 ,  권명종

IPC: B41J2/05

CPC classification number: B41J2/1404 ,  B41J2/1412

Abstract: 본 발명은 고효율 히터를 갖는 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 카트리지에 저장된 잉크를 공급받기 위한 피드홀을 갖는 기판과; 상기 피드홀과 연통되는 잉크 챔버를 형성하는 유로층와; 상기 잉크 챔버 내의 잉크가 외부로 배출되는 노즐을 갖는 노즐판과; 상기 잉크 챔버의 내벽에 인접하여 위치하며, 표면과 배면이 상기 잉크 챔버 내의 잉크와 접하도록 배치되는 히터와; 상기 히터와 전기적으로 연결되는 리드를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드를 제공한다.
본 발명에 의하면, 히터의 양면이 잉크와 접촉되어 가열이 이루어지므로 열효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 히터의 양단이 유로층 및 기판에 지지되어 있으므로 안정적인 구조를 가질 수 있다. 또한, 히터가 잉크의 공급 유로가 아닌 잉크 챔버의 내벽쪽에 인접하여 배치되므로, 잉크 공급압 또는 버블 축소시의 캐비테이션 포스의 영향을 거의 받지 않으며, 히터와 리드가 별개의 부분이 접합된 형태가 아니라 동일한 재질로 구성한 후 불순물의 주입으로 인해 저항치를 조절한 것이어서, 히터와 리드의 연결부가 분리되는 등의 문제가 없어, 히터의 손상을 최소화할 수 있다.
잉크젯 프린터, 헤드, 히터, 고효율.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有高效加热器的喷墨打印头和该喷墨打印头的制造方法，该喷墨打印头包括：具有用于接收存储在该盒中的墨的供给孔的基板; 流路层，形成与所述供给孔连通的墨水室; 一种具有喷嘴的喷嘴板，通过该喷嘴墨水室中的墨水被排出到外部; 加热器，所述加热器邻近所述墨室的内壁定位并且具有与所述墨室中的墨接触的前表面和后表面; 并且导线与加热器电连接。

公开(公告)号：KR1020050076445A

公开(公告)日：2005-07-26

申请号：KR1020040004429

申请日：2004-01-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  권명종 ,  하용웅 ,  박성준

IPC: B41J2/05

CPC classification number: B41J2/1629 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646

Abstract: 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은, 기판 상에 히터와 전극을 형성하는 단계; 히터와 전극이 형성된 기판 상에 잉크 유로를 한정하는 유로형성층을 형성하는 단계; 기판 상에 유로형성층을 덮도록 희생층을 형성하는 단계; 화학적 기계적 연마(CMP) 공정을 통하여 유로형성층과 희생층의 상면을 평탄화하는 단계; 상기 유로형성층과 희생층 위에 노즐층을 형성하는 단계; 기판에 잉크 공급구를 형성하는 단계; 및 희생층을 제거하는 단계;를 포함한다.

公开(公告)号：KR100468161B1

公开(公告)日：2005-01-26

申请号：KR1020020080508

申请日：2002-12-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김윤기 ,  박병하 ,  권명종 ,  민재식

IPC: B41J2/135 ,  B82Y30/00

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet print head is provided to uniformly manufacture the bubble ink jet print head through a monolithic manner, and to precisely align a substrate and a nozzle plate while increasing productivity and yield rate. CONSTITUTION: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet print head includes the steps of forming a heater and a protective layer at an upper surface of a substrate in order to heat ink, forming a chamber plate(20) at an upper surface of the substrate(1), forming a sacrificial layer photoresist at a predetermined position, in which a flow path of the chamber plate is formed, forming a nozzle plate(60) having a nozzle at an upper surface of the chamber plate, exposing the nozzle plate(60) by using a first photo mask, re-exposing the nozzle plate through the first photo mask by using a second photo mask smaller than the first photo mask, developing a first nozzle(71) using the first photo mask and a second nozzle(72) using the second photo mask, forming a hole by etching a lower surface of the substrate(1), and removing the sacrificial layer photoresist.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造整体式气泡喷墨打印头的方法，以通过单片方式均匀地制造气泡喷墨打印头，并且在提高生产率和成品率的同时精确地对准基材和喷嘴板。 用于制造整体式气泡喷墨印刷头的方法包括以下步骤：在基底的上表面形成加热器和保护层以加热墨水，在所述基底的上表面形成腔室板（20） 在预定位置形成牺牲层光致抗蚀剂，在该预定位置处形成室板的流动路径，在室板的上表面形成具有喷嘴的喷嘴板（60），从而暴露出喷嘴板 （60），通过使用比所述第一光掩模小的第二光掩模，通过所述第一光掩模重新暴露所述喷嘴板，使用所述第一光掩模和第二喷嘴使第一喷嘴（71）显影， （72），通过蚀刻所述衬底（1）的下表面来形成孔，并且去除所述牺牲层光致抗蚀剂。

公开(公告)号：KR100440957B1

公开(公告)日：2004-07-21

申请号：KR1020010060132

申请日：2001-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김태균 ,  조서현 ,  박병하 ,  정명송 ,  박성준

IPC: B41J2/16

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an ink exhaust head is provided to achieve an ink exhaust head having superior resolution by forming a thick photoresist layer in the ink exhaust head. CONSTITUTION: A base layer is formed on a substrate so as to performing a plating process. A thick photoresist layer, which is corresponding to an orifice of a nozzle plate(14), is formed on the base layer through a photolithography process. The nozzle plate(14) is formed on the base layer by performing a plating process. Then, the nozzle plate(14) is separated from the substrate. After that, the nozzle plate(14) is coupled to a head chip substrate(18). An electric heat emitting device is formed in the head chip substrate(18). The head chip substrate(18) is formed with an ink storing chamber, into which ink is supplied.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造墨水排出头的方法，以通过在墨水排出头中形成厚光致抗蚀剂层来实现具有优异分辨率的墨水排出头。 构成：在基底上形成基层以执行电镀工艺。 通过光刻工艺在基底层上形成厚的光致抗蚀剂层，其对应于喷嘴板（14）的孔口。 喷嘴板（14）通过执行电镀工艺形成在基层上。 然后，喷嘴板（14）与基板分离。 之后，喷嘴板（14）连接到头芯片基板（18）。 在头芯片衬底（18）中形成电热发射装置。 头芯片基板（18）形成有供墨供应的储墨室。

公开(公告)号：KR100438708B1

公开(公告)日：2004-07-05

申请号：KR1020010078962

申请日：2001-12-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  권명종 ,  박용식 ,  김경일 ,  민재식 ,  조서현

IPC: B41J2/05

Abstract: PURPOSE: An ink jet printer head and a method for manufacturing the same are provided to improve a liquid droplet exhausting performance of the ink jet printer head by forming a hydrophobic coating layer. CONSTITUTION: An ink jet printer head(100) includes a substrate(110) having a semi-spherical chamber(140) at the center. A rectangular-channel type manifold(170) is formed at a lower portion of the semi-spherical chamber(140). Ink is supplied from the manifold(170) into the ink chamber through a fluid passage(160) formed at a bottom of the semi-spherical chamber(140). A multi-layered nozzle plate(120) is formed on an upper surface of the substrate(110). The multi-layered nozzle plate(120) has a nozzle(180) positioned corresponding to the center of the semi-spherical chamber(140). The multi-layered nozzle plate(120) includes first to third insulation layers(120a-120c).

Abstract translation: 目的：提供一种喷墨打印头及其制造方法，以通过形成疏水涂层来改善喷墨打印头的液滴排出性能。 一种喷墨打印机头（100）包括一个在中心具有一个半球形室（140）的基片（110）。 矩形通道型歧管（170）形成在半球形室（140）的下部。 通过形成在半球形腔室（140）底部的流体通道（160）将墨水从歧管（170）供应到墨水腔室中。 多层喷嘴板（120）形成在基板（110）的上表面上。 多层喷嘴板（120）具有与半球形室（140）的中心对应的喷嘴（180）。 多层喷嘴板（120）包括第一至第三绝缘层（120a-120c）。

公开(公告)号：KR1020040054430A

公开(公告)日：2004-06-25

申请号：KR1020020081465

申请日：2002-12-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김윤기 ,  민재식 ,  권명종 ,  박병하

IPC: B41J2/235

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet printer is provided to simply manufacture a monolithic bubble ink jet printer with a low cost by fabricating an ink passage and a nozzle plate as one matter. CONSTITUTION: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet printer includes the steps of: forming a protection layer and a heater on an upper surface of a substrate(1); exposing negative photoresist of a position, on which an ink passage(3) is formed, using a first photo mask; re-exposing the negative photoresist by using a second photo mask; forming an ink supplying hall on the substrate(1); and developing and removing negative photo resist. The negative photoresist is spread in a thickness of 10 to 100 micrometer. The negative photoresist includes SU-8, DFR, N-PMER, and PMGI. The negative photoresist adjusts density of a photo acid generator absorbing light and is selectively exposed.

Abstract translation: 目的：一种用于制造单片气泡喷墨打印机的方法是通过制造油墨通道和喷嘴板来简单地制造具有低成本的单片式泡沫喷墨打印机。 构成：制造单片气泡喷墨打印机的方法包括以下步骤：在基板（1）的上表面上形成保护层和加热器; 使用第一光掩模曝光在其上形成墨通道（3）的位置的负光致抗蚀剂; 通过使用第二光掩模重新曝光负光致抗蚀剂; 在所述基板（1）上形成供墨室; 并开发和去除负光致抗蚀剂。 负光致抗蚀剂以10至100微米的厚度扩散。 负光致抗蚀剂包括SU-8，DFR，N-PMER和PMGI。 负性光致抗蚀剂调节吸收光的光生酸发生器的密度并选择性地曝光。