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11.发明公开광 근접 보정을 위해 초기 바이어스 값을 제공하는 방법, 및 그 초기 바이어스 값에 기초한 광 근접 보정을 수반하는 마스크 제작 방법 审中-实审提供基于初始偏差值的光学近似校正的初步偏差值的方法和光学近似校正的掩蔽生产方法
公开(公告)号：KR1020170016549A
公开(公告)日：2017-02-14
申请号：KR1020150109527
申请日：2015-08-03
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정문규
IPC: H01L21/033 , G03F1/36 , H01L27/02
CPC classification number: G03F1/36
Abstract: 본발명은반도체공정에서이용되는마스크를제작하는방법을제공한다. 본발명의방법은제 1 세그먼트들에대해제 1 광근접보정을수행하는단계, 마스크및 애퍼쳐의광학특성들에기초하여정의되는제 1 세그먼트들각각의특성과제 1 광근접보정에의해산출된제 1 세그먼트들각각에관한바이어스값 사이의대응관계를획득하는단계, 제 2 세그먼트들에대해제 2 광근접보정을수행하는단계, 및제 2 광근접보정의결과에기초하여마스크를제작하는단계를포함한다. 본발명에서, 마스크및 애퍼쳐의광학특성들에기초하여제 2 세그먼트들각각의특성이획득되고, 대응관계에기초하여제 2 세그먼트들각각의특성에대응하도록획득된바이어스값이제 2 세그먼트들각각에초기바이어스값으로서할당될수 있다. 본발명에따르면, 광근접보정의속도및 효율성이향상된다.
Abstract translation: 一种制造掩模的方法，所述方法包括对第一段执行第一光学邻近校正，获得基于掩模的光学特性和孔径定义的每个第一段的特征和与每个区域相关联的偏置值之间的对应关系 在第二段上执行第二光学邻近校正，并且基于第二光学邻近校正的结果制造掩模。 基于掩模和孔径的光学特性获得每个第二段的特征。 基于对应关系，对应于每个第二段的特征获得的偏置值被分配为每个第二段的初始偏置值。
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12.发明公开모바일 장치를 위한 애플리케이션 실행 파일 생성방법, 모바일 장치의 애플리케이션 실행 방법, 애플리케이션 실행 파일 생성 장치 및 모바일 장치 审中-实审用于生成移动设备的应用执行文件的方法，移动设备的应用执行方法，用于生成应用执行文件和移动设备的设备
公开(公告)号：KR1020140139392A
公开(公告)日：2014-12-05
申请号：KR1020130060000
申请日：2013-05-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 모바일 장치를 위한 애플리케이션 실행 파일 생성방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른, 애플리케이션 실행 파일 생성 방법은, 상기 애플리케이션 실행을 위한 복수의 클래스(class)들 중 보안성이 요구되는 적어도 하나의 클래스를 나머지 클래스들과 독립적으로 암호화하는 단계와, 상기 암호화된 적어도 하나의 클래스 및 상기 나머지 클래스들을 포함하는 상기 애플리케이션 실행 파일을 생성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种用于生成移动设备的应用执行文件的方法。 根据本发明的实施例，一种用于生成应用执行文件的方法包括以下步骤：在多个类中编码至少一个具有安全性的类，用于独立于剩余类执行应用; 以及生成包括编码的至少一个类和其余类的应用执行文件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130109764A
公开(公告)日：2013-10-08
申请号：KR1020120031772
申请日：2012-03-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정문규
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G06F17/5081 , G03F1/26 , G03F1/36 , G03F1/38 , G03F1/70 , G03F1/72 , G03F7/70433 , G06F17/5072 , G06F19/00 , G21K5/00 , H01L21/0274 , G03F1/00
Abstract: PURPOSE: A method of designing a pattern layout forms a layout of the accurately corrected final pattern by separating a correction for compensating for an optical proximity effect and a correction for compensating for a light range effect. CONSTITUTION: First layouts of multiple chip regions are generated. Firstly corrected layouts of the chip regions are formed. Secondary corrected layouts of the chip regions are formed. The final layouts of the chip regions are formed. [Reference numerals] (AA) Generate initial layouts of more than two chip regions; (BB) Generate firstly-corrected layouts of the more than two chip regions; (CC) Generate secondly-corrected layouts of the more than two chip regions; (DD) Generate final layouts of the more than two chip regions
Abstract translation: 目的：设计图案布局的方法通过分离用于补偿光学邻近效应的校正和用于补偿光范围效应的校正来形成精确校正的最终图案的布局。 构成：产生多个芯片区域的第一布局。 首先形成芯片区域的校正布局。 形成芯片区域的二次校正布局。 形成芯片区域的最终布局。 （附图标记）（AA）生成两个以上芯片区域的初始布局; （BB）生成两个以上芯片区域的首次校正布局; （CC）生成两个以上芯片区域的二次校正布局; （DD）生成两个以上芯片区域的最终布局
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公开(公告)号：KR1020110117404A
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：KR1020100036841
申请日：2010-04-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G06F17/5081 , G06F2217/12 , Y02P90/265 , H01L21/0274
Abstract: 균일한 광 근접 효과 보정을 이용하는 반도체 소자의 제조 방법을 개시한다. 본 발명에서는 설계 패턴 레이아웃을 반복 패턴 부분 및 비반복 패턴 부분으로 구분한다. 반복 패턴 부분의 일부인 추출 부분에서 OPC 바이어스를 구하여 추출 부분에서 제1 보정 레이아웃을 형성한다. 반복 패턴 부분 중 추출 부분을 제외한 다른 부분에 대하여 추출 부분의 OPC 바이어스를 동일하게 적용하여 상기 추출 부분에서의 제1 보정 레이아웃과 동일한 보정 레이아웃을 형성한다. 반복 패턴 부분의 모든 영역에서 제1 보정 레이아웃에 의거하여 포토마스크를 형성한다.
Abstract translation: 一种制造半导体器件的方法包括将设计图案布局划分为重复图案部分和非重复图案部分，从提取部分获得光学邻近校正（OPC）偏压，提取部分是重复的部分部分 将从所提取的部分获得的OPC偏差平均地应用于提取部分和重复图案部分的其他部分，以便形成第一校正布局，其中其他部分的校正布局与提取部分的校正布局相同 并且根据第一校正布局在重复图案部分的所有部分中形成光掩模。
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公开(公告)号：KR1020140139694A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：KR1020130059998
申请日：2013-05-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06Q50/10
Abstract: 사용자 단말의 컨텐츠 재생 방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 컨텐츠 재생 방법은, 제1서버로부터 암호화된 컨텐츠를 수신하는 단계와, 제2서버로부터 사용자 단말의 등급에 따라 암호화된 컨텐츠를 재생할 수 있는 인증키를 수신하는 단계, 인증키가 수신되면, 수신된 인증키를 이용하여 암호화된 컨텐츠를 복호화하는 단계 및 복호화된 컨텐츠를 재생하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种用户终端的内容再现方法。 根据本发明实施例的内容回放方法包括以下步骤：从第一服务器接收加密内容; 根据所述用户终端的间隔级别从第二服务器接收认证密钥以播放加密的内容; 一旦认证密钥被接收，就使用验证密钥解密加密的内容; 并播放解密的内容。
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公开(公告)号：KR1020130081925A
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：KR1020120003036
申请日：2012-01-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 벤게르트세브,드미트리 , 문성호 , 샴수아로브,아르템 , 양승훈 , 정문규
CPC classification number: G03F1/36
Abstract: PURPOSE: A test pattern selecting method for tuning an optical proximity correction (OPC) model is provided to enhance prediction accuracy of the OPC model. CONSTITUTION: A test pattern selecting method for tuning an OPC model comprises the steps of: measuring variation of changing optical parameters as target pattern for measurement changes from multiple first patterns to multiple second patterns (S110), picking selection parameters out of the optical parameters by considering the measured variation of changing optical parameters (S120), and clustering the variations of the selection parameters to select a test pattern among a plurality of the multiple first patterns (S140).
Abstract translation: 目的：提供一种用于调整光学邻近校正（OPC）模型的测试图案选择方法，以提高OPC模型的预测精度。 构成：用于调整OPC模型的测试模式选择方法包括以下步骤：测量变化的光学参数的变化，作为从多个第一图案到多个第二图案的测量变化的目标图案（S110），从光学参数中选出选择参数 考虑改变光学参数的测量变化（S120），并且聚类选择参数的变化以在多个多个第一图案中选择测试图案（S140）。
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公开(公告)号：KR1020130024024A
公开(公告)日：2013-03-08
申请号：KR1020110087196
申请日：2011-08-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G06F12/14 , G06F21/82 , G06F21/84 , G06F2221/2107
Abstract: PURPOSE: A computing system and an operation method therefor are provided to share first protective technology for encoding and decoding data which is exchanged each other, thereby protecting the data in a sharing memory. CONSTITUTION: A memory(120) is shared for exchanging data of components in a computing system. A control unit(130) performs control so that the components encode the data and record the data in the memory. The components read and decode the data and use the decoded data. The control unit performs control so that a first component(140) encodes the decoded data again and records the data in the memory when the data is transmitted from the first component to a second component. [Reference numerals] (120) Memory; (130) Control unit; (AA) First data; (BB) Second data; (CC) Bus
Abstract translation: 目的：提供一种计算系统及其操作方法，用于共享用于对彼此交换的数据进行编码和解码的第一保护技术，从而保护共享存储器中的数据。 构成：存储器（120）被共享用于交换计算系统中的组件的数据。 控制单元（130）执行控制，使得组件对数据进行编码并将数据记录在存储器中。 组件读取和解码数据并使用解码的数据。 控制单元执行控制，使得第一组件（140）再次对解码的数据进行编码，并且当数据从第一组件发送到第二组件时，将数据记录在存储器中。 （附图标记）（120）存储器; （130）控制单元; （AA）第一数据; （BB）第二数据; （CC）总线
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