나노구조물 센서 및 그 제조방법
    11.
    发明公开
    나노구조물 센서 및 그 제조방법 有权
    纳米结构传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020110048800A

    公开(公告)日:2011-05-12

    申请号:KR1020090105522

    申请日:2009-11-03

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: PURPOSE: A nanostructure sensor and a method for manufacturing the same are provided to regulate the resistance change of the nanostructure sensor due to external force using the compensation relation between the resistance changes of nanostructures and conductive layer. CONSTITUTION: A nanostructure sensor(100) includes thread(110), a first electrode(120), a second electrode(130), a plurality of nanostructures(140). The thread includes at least one strand of fiber. The first electrode and the second electrode are separately arranged on the surface of the thread. The nanostructures electrically connect the first electrode and the second electrode. A conductive layer(150) is additionally arranged to be in electric connection with the nanostructures.

    Abstract translation: 目的:提供纳米结构传感器及其制造方法,以使用纳米结构和导电层的电阻变化之间的补偿关系来调节由外力引起的纳米结构传感器的电阻变化。 构成:纳米结构传感器(100)包括螺纹(110),第一电极(120),第二电极(130),多个纳米结构(140)。 纱线包括至少一根纤维束。 第一电极和第二电极分别布置在线的表面上。 纳米结构电连接第一电极和第二电极。 导电层(150)另外布置成与纳米结构电连接。

    복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법
    12.
    发明授权
    복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법 有权
    具有多个金属板的生物分子传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101024325B1

    公开(公告)日:2011-03-24

    申请号:KR1020080054438

    申请日:2008-06-11

    CPC classification number: B82Y15/00 G01N27/4145 G01N27/4146 Y10S977/957

    Abstract: 본 발명은 생체분자 센서(biomolecular sensor) 및 그 제조 방법에 관한 발명으로서 보다 구체적으로는 생체분자의 부착에 따라 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 이용한 높은 검출 민감도 및 검출 분해능을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법에 관한 발명이다.
    본 발명의 일측면은 기판; 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 및 제2 전극; 상기 기판 위에 배치되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 복수의 나노구조물들; 및 생체분자의 부착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 포함하는 생체분자 센서를 제공하는 것이다.
    나노구조물, 생체분자 센서

    분자를 감지하기 위한 금속-함유 나노막
    13.
    发明公开
    분자를 감지하기 위한 금속-함유 나노막 无效
    用于分子传感的含金属纳米微粒

    公开(公告)号:KR1020100030545A

    公开(公告)日:2010-03-18

    申请号:KR1020080122699

    申请日:2008-12-04

    Inventor: 김용협 강태준

    CPC classification number: G01N33/5438 B82Y15/00 B82Y30/00 Y10T29/49002

    Abstract: PURPOSE: A metal-contained nanomembrane for sensing a molecule is provided to prevent a molecule from being attached on an undesired surface. CONSTITUTION: A metal-contained nanomembrane for sensing a molecule comprises a first support body(102), a metal-contained nanomembrane(106), and one or more electrodes(108). The first support has one or more openings(104). The metal-contained nanomembrane is connected to the openings, and interacted with one or more kinds of molecules. The electrodes sense an interaction of the molecules and the metal-contained nanomembrane.

    Abstract translation: 目的:提供用于感测分子的含金属纳米膜,以防止分子附着在不需要的表面上。 构成:用于感测分子的含金属纳米膜包括第一支撑体(102),含金属的纳米膜(106)和一个或多个电极(108)。 第一支撑件具有一个或多个开口(104)。 金属纳米膜与开口连接,并与一种或多种分子相互作用。 电极感应分子和含金属纳米膜的相互作用。

    탄소나노튜브 복합체
    14.
    发明公开
    탄소나노튜브 복합체 有权
    碳纳米管复合材料

    公开(公告)号:KR1020100022419A

    公开(公告)日:2010-03-02

    申请号:KR1020080101655

    申请日:2008-10-16

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: PURPOSE: A carbon nanotube composite including one or more metal/carbon nanotubes which are include on a meal is provided to improve mechanical properties, thermal properties, and electrical properties. CONSTITUTION: A method for manufacturing a composite(100) comprises the following steps: dipping in a carbon nanotube(110) containing patterned metal layers(104,106) in a colloidal solution; drawing out the patterned metal layer from the colloidal solution containing the carbon nanotube under effective conditions for coating the carbon nanotube on a selected domain of the patterned metal layer; and depositing the metal on the metal layer which is coated with the carbon nanotube.

    Abstract translation: 目的:提供一种包括在餐上的一种或多种金属/碳纳米管的碳纳米管复合材料,以改善机械性能,热性能和电性能。 构成:制造复合材料(100)的方法包括以下步骤:将含有图案化金属层(104,106)的碳纳米管(110)浸入胶体溶液中; 在图案化金属层的选定区域上涂覆碳纳米管的有效条件下,从含有碳纳米管的胶体溶液中抽出图案化金属层; 以及将金属沉积在涂覆有碳纳米管的金属层上。

    탄소나노튜브 구조체를 이용한 전계방출장치
    15.
    发明授权
    탄소나노튜브 구조체를 이용한 전계방출장치 有权
    使用CNT结构的场致发射器件

    公开(公告)号:KR101436948B1

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:KR1020120074136

    申请日:2012-07-06

    CPC classification number: H01J1/304 C01B32/16 C01B2202/34

    Abstract: 본 발명은 탄소나노튜브 구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 전계방출장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 탄소나노튜브 구조체에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 일체의 고밀도 및 저밀도 부분으로 구분되되, 상기 고밀도 부분은 탄소나노튜브가 나란하게 배열되며, 상기 저밀도 부분은 상기 고밀도에 비해 상대적으로 저밀도이면서 고밀도의 경계 부분에서부터 멀어질수록 점진적으로 밀도가 낮아지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 구조체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 전계방출장치를 제공한다.

    탄소나노튜브 구조체를 이용한 전계방출장치
    16.
    发明公开
    탄소나노튜브 구조체를 이용한 전계방출장치 有权
    高密度CNT结构,使用它制备其和场发射装置

    公开(公告)号:KR1020140006659A

    公开(公告)日:2014-01-16

    申请号:KR1020120074136

    申请日:2012-07-06

    Abstract: The present invention relates to a carbon nanotube structure, a production method thereof, and a field emission device using the same, more specifically to: a carbon nanotube structure which includes carbon nanotubes divided into a high density part and a low density part integrated to each other; a production method thereof; and a field emission device using the same. In the high density part, the carbon nanotubes are arranged side by side. The low density part has relatively lower density than the high density part, and has the density gradually lowering from the boundary with the high density part to the area far from the high density part.

    Abstract translation: 本发明涉及碳纳米管结构及其制造方法以及使用该碳纳米管结构的场致发射器件,更具体地说,涉及:碳纳米管结构,其包括分为高密度部分的碳纳米管和与各密度部分积分的低密度部分 其他; 其制造方法; 以及使用其的场发射装置。 在高密度部分中,碳纳米管并排布置。 低密度部分的密度比高密度部分具有相对较低的密度,并且具有从高密度部分到远离高密度部分的区域的密度逐渐降低的密度。

    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법
    17.
    发明授权
    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법 有权
    微型遮光器及其制造方法和硅薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR101118007B1

    公开(公告)日:2012-02-24

    申请号:KR1020110028948

    申请日:2011-03-30

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: 응력 구배 완화 및 표면 저항 감소를 위한 마이크로메카니컬 구조체의 실리콘 박막 제조 방법이 개시된다. 실리콘 박막 위에 Cu-박막을 증착하고, 노열처리를 수행하여, 실리콘 박막 표면에서 Cu-실리사이드화를 일으킨다. 실리콘 박막은 상부 표면에 Cu-실리사이드를 포함한다.

    탄소나노튜브 네트워크 및 그의 제조방법
    18.
    发明公开
    탄소나노튜브 네트워크 및 그의 제조방법 无效
    碳纳米管网络及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020100025178A

    公开(公告)日:2010-03-09

    申请号:KR1020080083838

    申请日:2008-08-27

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: PURPOSE: A carbon nano tube network with SWNT attached with each other and a method of manufacturing thereof are provided to replace ITO as a new material for TCE. CONSTITUTION: A carbon nano tube network(100) comprises metal particles(103,104,105) randomly distributed on plural carbon nano tubes(101,102) in which some of the carbon nano tubes are attached with each other through the metal particles. The surface resistance of the carbon nano tube network is under 1,000 ohm per square. The transmittance rate of the carbon nano tube network at a visible light area is over 70%. The carbon nano tubes comprise a material selected from the group consisting of a single-walled carbon nano tube and a multi-walled carbon nano tube. The carbon nano tubes comprise a metallic carbon nano tube.

    Abstract translation: 目的:提供一种具有SWNT连接的碳纳米管网络及其制造方法,以替代ITO作为TCE的新材料。 构成:碳纳米管网络(100)包括随机分布在多个碳纳米管(101,102)上的金属颗粒(103,104,105),其中一些碳纳米管通过金属颗粒相互连接。 碳纳米管网络的表面电阻低于1000欧姆/平方。 碳纳米管网络在可见光区域的透射率超过70%。 碳纳米管包括选自单壁碳纳米管和多壁碳纳米管的材料。 碳纳米管包括金属碳纳米管。

    나노구조물 센서 및 그 제조방법
    19.
    发明授权
    나노구조물 센서 및 그 제조방법 有权
    纳米结构传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101124206B1

    公开(公告)日:2012-03-27

    申请号:KR1020090105522

    申请日:2009-11-03

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: 나노구조물 센서에 관한 기술이 개시(disclosure)된다. 일 실시 예에 있어서, 나노구조물 센서는 적어도 한 가닥의 섬유(fiber)를 포함하는 실(thread), 상기 실 표면에 서로 이격되어 배치되는 제1 전극과 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 연결하는 복수의 나노구조물들을 포함한다.

    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법
    20.
    发明公开
    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법 有权
    微型遮光器及其制造方法和硅薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020100026021A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:KR1020080084827

    申请日:2008-08-29

    Inventor: 김용협 강태준

    CPC classification number: H01L21/28518 H01L21/02068 H01L21/28556 H01L21/324

    Abstract: PURPOSE: A micro cantilever, a silicon thin film, and a manufacturing method thereof are provided to control the low thermal budget of a stress gradient by using a built-up stress generated from a Cu-silicide process. CONSTITUTION: A substrate(10) is prepared. A sacrificial layer is evaporated on the top of the substrate. The sacrificial layer is etched in order to eliminate a part of the sacrificial layer. A cantilever structure layer(20) is evaporated on the exposed substrate part and the sacrificial layer by removing a part of the sacrificial layer. A Cu- thin film(30) is evaporated on the cantilever structure layer. A Cu-silicide(40) is formed on the cantilever structure layer by a furnace annealing in the Cu-thin film. The furnace anneal temperature is 200 °C or less.

    Abstract translation: 目的:提供微悬臂,硅薄膜及其制造方法,以通过使用由Cu-硅化物工艺产生的累积应力来控制应力梯度的低热预算。 构成:制备基材(10)。 牺牲层在衬底的顶部蒸发。 蚀刻牺牲层以消除牺牲层的一部分。 通过去除牺牲层的一部分,在暴露的基底部分和牺牲层上蒸发悬臂结构层(20)。 在悬臂结构层上蒸发Cu薄膜(30)。 通过在Cu薄膜中的炉退火,在悬臂结构层上形成硅化硅(40)。 炉退火温度为200℃以下。

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