복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법
    1.
    发明申请
    복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법 审中-公开
    具有多种金属板的生物分子传感器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2009151219A1

    公开(公告)日:2009-12-17

    申请号:PCT/KR2009/002728

    申请日:2009-05-22

    CPC classification number: B82Y15/00 G01N27/4145 G01N27/4146 Y10S977/957

    Abstract: 본 발명은 생체분자 센서(biomolecular sensor) 및 그 제조 방법에 관한 발명으로서 보다 구체적으로는 생체분자의 부착에 따라 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 이용한 높은 검출 민감도 및 검출 분해능을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법에 관한 발명이다. 본 발명의 일측면은 기판; 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 및 제2 전극; 상기 기판 위에 배치되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 복수의 나노구조물들; 및 생체분자의 부착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 포함하는 생체분자 센서를 제공하는 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种生物分子传感器及其制造方法。 更具体地,生物分子传感器使用多个金属板具有高检测灵敏度和分辨率,其中金属板根据生物分子粘附来操纵多个纳米结构的电特性。 本发明的一个实施方案提供了一种生物分子传感器,包括:基板,在基板上彼此间隔一定距离的一次和二次电极,布置在基板上并将初级电极与次级电极连接的多个纳米结构 以及根据生物分子粘附而操作多个纳米结构的电特性的多个金属板。

    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법
    3.
    发明公开
    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법 有权
    微型遮光器及其制造方法和硅薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020110036569A

    公开(公告)日:2011-04-07

    申请号:KR1020110028948

    申请日:2011-03-30

    Inventor: 김용협 강태준

    CPC classification number: G01Q60/42 G01R1/06727 H01L21/02532 H01L21/28556

    Abstract: PURPOSE: A micro cantilever, manufacturing method thereof, silicon thin film, and manufacturing method thereof are provided to reduce the surface resistivity of a thin film and to increase the stress gradient relax. CONSTITUTION: A Cu-thin film(30) is evaporated on a thin film. The furnace anneal operates on the Cu-thin film. The furnace anneal temperature is less than 200 degrees. A polysilicon cantileve(20) having the stress gradient of amount grows distant on a substrate(10).

    Abstract translation: 目的:提供微悬臂,其制造方法,硅薄膜及其制造方法,以降低薄膜的表面电阻率并增加应力梯度放松。 构成:在薄膜上蒸发Cu薄膜(30)。 炉退火对Cu薄膜进行操作。 炉退火温度小于200度。 具有量的应力梯度的多晶硅悬臂(20)在衬底(10)上长得远。

    복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법
    4.
    发明公开
    복수의 금속 판들을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법 有权
    具有多种金属板的生物分子传感器及其生产方法

    公开(公告)号:KR1020090128610A

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:KR1020080054438

    申请日:2008-06-11

    CPC classification number: B82Y15/00 G01N27/4145 G01N27/4146 Y10S977/957

    Abstract: PURPOSE: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity and detection sensitivity. CONSTITUTION: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates comprises a substrate(110), a first electrode(120), a second electrode(130), a nanostructure(140), and a metal plate(150). The first electrode and the second electrode are apart from each other and are arranged on the substrate. The nanostructure is arranged on the substrate. The nanostructure connects the first electrode and the second electrode. The metal plate diversifies the electrical characteristic of a plurality of nanostructures according to the attachment of the bio molecular. The nanostructure comprises a carbon nanotube. The metal plate comprises gold.

    Abstract translation: 目的:提供具有多个金属板的生物分子传感器及其制造方法,以提高生产率和检测灵敏度。 构成:具有多个金属板的生物分子传感器包括基底(110),第一电极(120),第二电极(130),纳米结构(140)和金属板(150)。 第一电极和第二电极彼此分开并且布置在基板上。 纳米结构布置在基底上。 纳米结构连接第一电极和第二电极。 金属板根据生物分子的附着使多个纳米结构的电特性多样化。 纳米结构包括碳纳米管。 金属板包括金。

    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법
    6.
    发明授权
    마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법 有权
    微悬臂梁及其制造方法,硅薄膜及其制造方法

    公开(公告)号:KR101049702B1

    公开(公告)日:2011-07-15

    申请号:KR1020080084827

    申请日:2008-08-29

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: 응력 구배 완화 및 표면 저항 감소를 위한 마이크로메카니컬 구조체의 실리콘 박막 제조 방법이 개시된다. 실리콘 박막 위에 Cu-박막을 증착하고, 노열처리를 수행하여, 실리콘 박막 표면에서 Cu-실리사이드화를 일으킨다. 실리콘 박막은 상부 표면에 Cu-실리사이드를 포함한다.
    Cu-실리사이드, 캔틸레버

    Abstract translation: 公开了一种用于缓解应力梯度和降低表面电阻的微机械结构的硅薄膜的制造方法。 在硅薄膜上沉积Cu薄膜并进行炉退火以在硅薄膜表面上引起Cu硅化。 硅薄膜在上表面包含Cu硅化物。

    금속산화물층을 갖는 나노구조물 가스센서, 나노구조물 가스센서 어레이 및 그 제조 방법
    8.
    发明公开
    금속산화물층을 갖는 나노구조물 가스센서, 나노구조물 가스센서 어레이 및 그 제조 방법 有权
    具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器和纳米结构气体传感器阵列及其生产方法

    公开(公告)号:KR1020100044944A

    公开(公告)日:2010-05-03

    申请号:KR1020080103943

    申请日:2008-10-23

    Abstract: PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.

    Abstract translation: 目的:提供具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器,其纳米结构气体传感器阵列及其制造方法,以使用物理气相沉积方法容易地控制金属氧化物层的尺寸和厚度。 构造:具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器(300)包括基底(110),第一和第二电极(120,130),多个纳米结构(140)和金属氧化物层(150)。 纳米结构布置在基板上,并连接第一和第二电极。 金属氧化物层改变了纳米结构的电特性。

    캡을 갖는 나노 구조물
    9.
    发明公开
    캡을 갖는 나노 구조물 无效
    纳米结构与CAPS

    公开(公告)号:KR1020100024878A

    公开(公告)日:2010-03-08

    申请号:KR1020080122021

    申请日:2008-12-03

    Inventor: 김용협 강태준

    Abstract: PURPOSE: A nano structure with a cap is provided to offer an assembling method for the nano structure and an electrode similar to a carbon nano tube. CONSTITUTION: A nano structure comprises a nano tube(100) with a first end and a second end, a first and a second nano caps(104), and a nano particle. The first nano cap is located in the first end of the nano tube, and the second nano cap is located in the second end of the nano tube. The nano tube comprises a carbon nano tube. The first nano cap contains metal. The nano particle is located in the inside of the nano tube.

    Abstract translation: 目的:提供具有帽的纳米结构,以提供纳米结构的组装方法和类似于碳纳米管的电极。 构成:纳米结构包括具有第一端和第二端的纳米管(100),第一和第二纳米帽(104)和纳米颗粒。 第一纳米帽位于纳米管的第一端,第二纳米帽位于纳米管的第二端。 纳米管包括碳纳米管。 第一个纳米帽包含金属。 纳米颗粒位于纳米管的内部。

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