Abstract:
본 발명은 생체분자 센서(biomolecular sensor) 및 그 제조 방법에 관한 발명으로서 보다 구체적으로는 생체분자의 부착에 따라 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 이용한 높은 검출 민감도 및 검출 분해능을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법에 관한 발명이다. 본 발명의 일측면은 기판; 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 및 제2 전극; 상기 기판 위에 배치되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 복수의 나노구조물들; 및 생체분자의 부착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 포함하는 생체분자 센서를 제공하는 것이다.
Abstract:
탄소 나노튜브(Carbon Nano Tube; CNT) 로프(rope)를 제조하기 위한 기술이 제공된다. 소정의 실시예에서, CNT 로프 제조 방법은 금속 팁의 준비, CNT 콜로이드 용액의 준비, CNT 콜로이드 용액으로의 금속 팁 담지, CNT 콜로이드 용액으로부터 금속 팁의 인출 동작을 선택적으로 포함한다. 탄소 나노 튜브(CNT), 로프, 담지 공정, 냉 전자 음극
Abstract:
PURPOSE: A micro cantilever, manufacturing method thereof, silicon thin film, and manufacturing method thereof are provided to reduce the surface resistivity of a thin film and to increase the stress gradient relax. CONSTITUTION: A Cu-thin film(30) is evaporated on a thin film. The furnace anneal operates on the Cu-thin film. The furnace anneal temperature is less than 200 degrees. A polysilicon cantileve(20) having the stress gradient of amount grows distant on a substrate(10).
Abstract:
PURPOSE: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity and detection sensitivity. CONSTITUTION: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates comprises a substrate(110), a first electrode(120), a second electrode(130), a nanostructure(140), and a metal plate(150). The first electrode and the second electrode are apart from each other and are arranged on the substrate. The nanostructure is arranged on the substrate. The nanostructure connects the first electrode and the second electrode. The metal plate diversifies the electrical characteristic of a plurality of nanostructures according to the attachment of the bio molecular. The nanostructure comprises a carbon nanotube. The metal plate comprises gold.
Abstract:
응력 구배 완화 및 표면 저항 감소를 위한 마이크로메카니컬 구조체의 실리콘 박막 제조 방법이 개시된다. 실리콘 박막 위에 Cu-박막을 증착하고, 노열처리를 수행하여, 실리콘 박막 표면에서 Cu-실리사이드화를 일으킨다. 실리콘 박막은 상부 표면에 Cu-실리사이드를 포함한다. Cu-실리사이드, 캔틸레버
Abstract:
나노구조물 가스센서는 기판, 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극과 제2 전극, 복수의 나노구조물들 및 가스의 흡착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 금속산화물층을 포함한다. 상기 복수의 나노구조물들은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결한다.
Abstract:
PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.
Abstract:
PURPOSE: A nano structure with a cap is provided to offer an assembling method for the nano structure and an electrode similar to a carbon nano tube. CONSTITUTION: A nano structure comprises a nano tube(100) with a first end and a second end, a first and a second nano caps(104), and a nano particle. The first nano cap is located in the first end of the nano tube, and the second nano cap is located in the second end of the nano tube. The nano tube comprises a carbon nano tube. The first nano cap contains metal. The nano particle is located in the inside of the nano tube.
Abstract:
Provided are a method and an apparatus for manufacturing carbon nanotube ropes using excellent mechanical properties of CNTs. A method for manufacturing carbon nanotube ropes comprises the following steps of: preparing metal tips(720); preparing a CNT colloidal solution(740); dipping the metal tips in the CNT colloidal solution(760); and withdrawing the metal tips from the CNT colloidal solution(780). The metal tips contain tungsten. The metal tips show high wettability in the CNT colloidal solution.