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公开(公告)号：WO2009151219A1
公开(公告)日：2009-12-17
申请号：PCT/KR2009/002728
申请日：2009-05-22
IPC: G01N27/26
CPC classification number: B82Y15/00 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , Y10S977/957
Abstract: 본 발명은 생체분자 센서(biomolecular sensor) 및 그 제조 방법에 관한 발명으로서 보다 구체적으로는 생체분자의 부착에 따라 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 이용한 높은 검출 민감도 및 검출 분해능을 갖는 생체분자 센서 및 그 제조 방법에 관한 발명이다. 본 발명의 일측면은 기판; 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 및 제2 전극; 상기 기판 위에 배치되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 연결하는 복수의 나노구조물들; 및 생체분자의 부착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 복수의 금속 판들(plates)을 포함하는 생체분자 센서를 제공하는 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生物分子传感器及其制造方法。 更具体地，生物分子传感器使用多个金属板具有高检测灵敏度和分辨率，其中金属板根据生物分子粘附来操纵多个纳米结构的电特性。 本发明的一个实施方案提供了一种生物分子传感器，包括：基板，在基板上彼此间隔一定距离的一次和二次电极，布置在基板上并将初级电极与次级电极连接的多个纳米结构 以及根据生物分子粘附而操作多个纳米结构的电特性的多个金属板。
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公开(公告)号：KR101052147B1
公开(公告)日：2011-07-26
申请号：KR1020080085539
申请日：2008-08-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 탄소 나노튜브(Carbon Nano Tube; CNT) 로프(rope)를 제조하기 위한 기술이 제공된다. 소정의 실시예에서, CNT 로프 제조 방법은 금속 팁의 준비, CNT 콜로이드 용액의 준비, CNT 콜로이드 용액으로의 금속 팁 담지, CNT 콜로이드 용액으로부터 금속 팁의 인출 동작을 선택적으로 포함한다.
탄소 나노 튜브(CNT), 로프, 담지 공정, 냉 전자 음극-
公开(公告)号：KR1020110036569A
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：KR1020110028948
申请日：2011-03-30
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01Q60/38
CPC classification number: G01Q60/42 , G01R1/06727 , H01L21/02532 , H01L21/28556
Abstract: PURPOSE: A micro cantilever, manufacturing method thereof, silicon thin film, and manufacturing method thereof are provided to reduce the surface resistivity of a thin film and to increase the stress gradient relax. CONSTITUTION: A Cu-thin film(30) is evaporated on a thin film. The furnace anneal operates on the Cu-thin film. The furnace anneal temperature is less than 200 degrees. A polysilicon cantileve(20) having the stress gradient of amount grows distant on a substrate(10).
Abstract translation: 目的：提供微悬臂，其制造方法，硅薄膜及其制造方法，以降低薄膜的表面电阻率并增加应力梯度放松。 构成：在薄膜上蒸发Cu薄膜（30）。 炉退火对Cu薄膜进行操作。 炉退火温度小于200度。 具有量的应力梯度的多晶硅悬臂（20）在衬底（10）上长得远。
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公开(公告)号：KR1020090128610A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：KR1020080054438
申请日：2008-06-11
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: B82Y15/00 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , Y10S977/957
Abstract: PURPOSE: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates and a manufacturing method thereof are provided to improve productivity and detection sensitivity. CONSTITUTION: A bio molecular sensor with a plurality of metal plates comprises a substrate(110), a first electrode(120), a second electrode(130), a nanostructure(140), and a metal plate(150). The first electrode and the second electrode are apart from each other and are arranged on the substrate. The nanostructure is arranged on the substrate. The nanostructure connects the first electrode and the second electrode. The metal plate diversifies the electrical characteristic of a plurality of nanostructures according to the attachment of the bio molecular. The nanostructure comprises a carbon nanotube. The metal plate comprises gold.
Abstract translation: 目的：提供具有多个金属板的生物分子传感器及其制造方法，以提高生产率和检测灵敏度。 构成：具有多个金属板的生物分子传感器包括基底（110），第一电极（120），第二电极（130），纳米结构（140）和金属板（150）。 第一电极和第二电极彼此分开并且布置在基板上。 纳米结构布置在基底上。 纳米结构连接第一电极和第二电极。 金属板根据生物分子的附着使多个纳米结构的电特性多样化。 纳米结构包括碳纳米管。 金属板包括金。
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公开(公告)号：KR101075622B1
公开(公告)日：2011-10-21
申请号：KR1020080101655
申请日：2008-10-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: B82Y30/00 , C08K3/04 , C08K3/08 , C08K9/02 , C09D1/00 , C09D7/62 , C09D7/70 , C23C18/1204 , C23C28/023 , C23C28/42 , C25D5/02 , C25D5/022 , C25D5/10 , Y10T428/265 , Y10T428/2918 , Y10T428/30
Abstract: 탄소나노튜브를포함하는복합체가제공된다. 일부실시예에서, 복합체는적어도두 개의금속층사이에위치하는적어도하나의금속/탄소나노튜브층을포함하고, 이금속/탄소나노튜브층은금속및 이금속의선택된영역에분포하는복수의탄소나노튜브를포함한다. 다른실시예에서, 복합체는탄소나노튜브로프및 이탄소나노튜브로프의외부표면에위치하는적어도하나의금속층을포함할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101049702B1
公开(公告)日：2011-07-15
申请号：KR1020080084827
申请日：2008-08-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/205
Abstract: 응력 구배 완화 및 표면 저항 감소를 위한 마이크로메카니컬 구조체의 실리콘 박막 제조 방법이 개시된다. 실리콘 박막 위에 Cu-박막을 증착하고, 노열처리를 수행하여, 실리콘 박막 표면에서 Cu-실리사이드화를 일으킨다. 실리콘 박막은 상부 표면에 Cu-실리사이드를 포함한다.
Cu-실리사이드, 캔틸레버Abstract translation: 公开了一种用于缓解应力梯度和降低表面电阻的微机械结构的硅薄膜的制造方法。 在硅薄膜上沉积Cu薄膜并进行炉退火以在硅薄膜表面上引起Cu硅化。 硅薄膜在上表面包含Cu硅化物。
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公开(公告)号：KR101027074B1
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：KR1020080103943
申请日：2008-10-23
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 나노구조물 가스센서는 기판, 상기 기판 위에 서로 이격되어 배치된 제1 전극과 제2 전극, 복수의 나노구조물들 및 가스의 흡착에 따라 상기 복수의 나노구조물들의 전기적 특성을 변화시키는 금속산화물층을 포함한다. 상기 복수의 나노구조물들은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 연결한다.
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公开(公告)号：KR1020100044944A
公开(公告)日：2010-05-03
申请号：KR1020080103943
申请日：2008-10-23
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A nanostructure gas sensor with a metallic oxide layer, a nanostructure gas sensor array thereof, and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size and thickness of a metallic oxide layer using a physical vapor deposition method. CONSTITUTION: A nanostructure gas sensor(300) with a metallic oxide layer comprises a substrate(110), first and second electrodes(120,130), multiple nanostructures(140), and a metallic oxide layer(150). The nanostructures are arranged on the substrate, and connect the first and second electrodes. The metallic oxide layer changes the electrical characteristics of the nanostructures.
Abstract translation: 目的：提供具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器，其纳米结构气体传感器阵列及其制造方法，以使用物理气相沉积方法容易地控制金属氧化物层的尺寸和厚度。 构造：具有金属氧化物层的纳米结构气体传感器（300）包括基底（110），第一和第二电极（120,130），多个纳米结构（140）和金属氧化物层（150）。 纳米结构布置在基板上，并连接第一和第二电极。 金属氧化物层改变了纳米结构的电特性。
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公开(公告)号：KR1020100024878A
公开(公告)日：2010-03-08
申请号：KR1020080122021
申请日：2008-12-03
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , G01N27/4146 , H01L51/0048 , H01L51/0545 , H01L51/0558 , Y10T428/2982
Abstract: PURPOSE: A nano structure with a cap is provided to offer an assembling method for the nano structure and an electrode similar to a carbon nano tube. CONSTITUTION: A nano structure comprises a nano tube(100) with a first end and a second end, a first and a second nano caps(104), and a nano particle. The first nano cap is located in the first end of the nano tube, and the second nano cap is located in the second end of the nano tube. The nano tube comprises a carbon nano tube. The first nano cap contains metal. The nano particle is located in the inside of the nano tube.
Abstract translation: 目的：提供具有帽的纳米结构，以提供纳米结构的组装方法和类似于碳纳米管的电极。 构成：纳米结构包括具有第一端和第二端的纳米管（100），第一和第二纳米帽（104）和纳米颗粒。 第一纳米帽位于纳米管的第一端，第二纳米帽位于纳米管的第二端。 纳米管包括碳纳米管。 第一个纳米帽包含金属。 纳米颗粒位于纳米管的内部。
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10.发明公开탄소나노튜브 로프 제조방법 및 장치, 탄소나노튜브 로프를 포함하는 냉전자 음극 제조방법, 및 탄소나노튜브 로프 제조방법을 위한 프로세서 판독 가능 저장 매체 有权用于制造碳纳米管的方法和装置，制造包含碳纳米管的冷阴极的方法和用于碳纳米管制造方法的处理器可读介质
公开(公告)号：KR1020090095442A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：KR1020080085539
申请日：2008-08-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: B82B3/0095 , B01J19/10 , B82Y40/00 , C01B32/168 , C01B32/17 , C01B2202/02 , C01B2202/06 , C01B2202/28 , C01B2202/30 , H01J1/30
Abstract: Provided are a method and an apparatus for manufacturing carbon nanotube ropes using excellent mechanical properties of CNTs. A method for manufacturing carbon nanotube ropes comprises the following steps of: preparing metal tips(720); preparing a CNT colloidal solution(740); dipping the metal tips in the CNT colloidal solution(760); and withdrawing the metal tips from the CNT colloidal solution(780). The metal tips contain tungsten. The metal tips show high wettability in the CNT colloidal solution.
Abstract translation: 提供了使用CNT的优异机械性能来制造碳纳米管绳的方法和装置。 制造碳纳米管绳的方法包括以下步骤：制备金属尖端（720）; 制备CNT胶体溶液（740）; 将金属尖端浸入CNT胶体溶液（760）中; 并从CNT胶体溶液（780）中取出金属尖端。 金属尖端包含钨。 金属尖端在CNT胶体溶液中显示出高的润湿性。
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