플라즈마 건식 식각에 기인한 태양전지 표면 손상의 제거방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법

    公开(公告)号:KR101047326B1

    公开(公告)日:2011-07-07

    申请号:KR1020090086598

    申请日:2009-09-14

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 본 발명은 플라즈마 건식 식각으로 인해 태양전지에 생긴 표면 손상을 제거하는 방법에 관한 것이다.
    본 발명의 태양전지 표면손상 제거방법은, 플라즈마 건식 식각 공정으로 인한 태양전지의 표면손상을 제거하는 방법으로서, 플라즈마 건식 식각 공정을 마친 태양전지 기판의 표면에 산화막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 산화막을 형성하는 방법은 질산용액에 상기 태양전지 기판을 침지하여 이루어지는 것이 바람직하며, 질산용액이 50%농도의 질산용액이고 침지하는 시간이 10~20분일 수 있다.
    본 발명에 따르면, 태양전지의 표면에 얇은 두께의 산화막을 형성하는 것만으로도 플라즈마 건식 식각으로 인한 표면 손상을 해소함으로써, 태양전지의 표면을 추가적으로 식각하여 발생하는 여러 가지 문제점들을 미연에 방지할 수 있다.
    또한 본 발명은 질산용액에 태양전지 기판을 침지하는 간단한 공정으로 태양전지의 표면 손상을 해소함으로써, 공정효율이 크게 향상되는 효과가 있다.
    태양전지, 플라즈마, 건식 식각, 건식에칭, 표면 손상, 표면 손상

    플라즈마 건식 식각에 기인한 태양전지 표면 손상의 제거방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법
    13.
    发明公开
    플라즈마 건식 식각에 기인한 태양전지 표면 손상의 제거방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법 失效
    利用等离子体干蚀刻除去太阳能电池表面损伤的方法及其使用太阳能电池的制造方法

    公开(公告)号:KR1020110028947A

    公开(公告)日:2011-03-22

    申请号:KR1020090086598

    申请日:2009-09-14

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521 H01L31/04 H01L31/18

    Abstract: PURPOSE: A solar cell surface damage removing method and a solar cell manufacturing method using the same are provided to improve the process efficiency remarkably by preventing the surface damage of the solar cell with simple method of dipping a solar cell substrate in the nitride solution. CONSTITUTION: An emitter layer(110) is formed by injecting the impurity material of second conductive type into a substrate(100). A front side reflection barrier layer(120) is formed on the emitter layer in order to lower the reflectivity of sunlight. A front electrode is formed to pass through the front side reflection barrier layer and contact the emitter layer.

    Abstract translation: 目的:提供太阳能电池表面损伤去除方法和使用其的太阳能电池制造方法,以通过以太阳能电池基板浸渍在氮化物溶液中的简单方法防止太阳能电池的表面损伤来显着提高工艺效率。 构成:通过将第二导电类型的杂质材料注入衬底(100)而形成发射极层(110)。 为了降低太阳光的反射率,在发射极层上形成前侧反射阻挡层(120)。 前电极形成为穿过前侧反射阻挡层并接触发射极层。

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