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Patent Agency Ranking1.发明公开
公开(公告)号：KR1020110028947A
公开(公告)日：2011-03-22
申请号：KR1020090086598
申请日：2009-09-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A solar cell surface damage removing method and a solar cell manufacturing method using the same are provided to improve the process efficiency remarkably by preventing the surface damage of the solar cell with simple method of dipping a solar cell substrate in the nitride solution. CONSTITUTION: An emitter layer(110) is formed by injecting the impurity material of second conductive type into a substrate(100). A front side reflection barrier layer(120) is formed on the emitter layer in order to lower the reflectivity of sunlight. A front electrode is formed to pass through the front side reflection barrier layer and contact the emitter layer.
Abstract translation: 目的：提供太阳能电池表面损伤去除方法和使用其的太阳能电池制造方法，以通过以太阳能电池基板浸渍在氮化物溶液中的简单方法防止太阳能电池的表面损伤来显着提高工艺效率。 构成：通过将第二导电类型的杂质材料注入衬底（100）而形成发射极层（110）。 为了降低太阳光的反射率，在发射极层上形成前侧反射阻挡层（120）。 前电极形成为穿过前侧反射阻挡层并接触发射极层。
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公开(公告)号：KR101047326B1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：KR1020090086598
申请日：2009-09-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 플라즈마 건식 식각으로 인해 태양전지에 생긴 표면 손상을 제거하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 태양전지 표면손상 제거방법은, 플라즈마 건식 식각 공정으로 인한 태양전지의 표면손상을 제거하는 방법으로서, 플라즈마 건식 식각 공정을 마친 태양전지 기판의 표면에 산화막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 산화막을 형성하는 방법은 질산용액에 상기 태양전지 기판을 침지하여 이루어지는 것이 바람직하며, 질산용액이 50%농도의 질산용액이고 침지하는 시간이 10~20분일 수 있다.
본 발명에 따르면, 태양전지의 표면에 얇은 두께의 산화막을 형성하는 것만으로도 플라즈마 건식 식각으로 인한 표면 손상을 해소함으로써, 태양전지의 표면을 추가적으로 식각하여 발생하는 여러 가지 문제점들을 미연에 방지할 수 있다.
또한 본 발명은 질산용액에 태양전지 기판을 침지하는 간단한 공정으로 태양전지의 표면 손상을 해소함으로써, 공정효율이 크게 향상되는 효과가 있다.
태양전지, 플라즈마, 건식 식각, 건식에칭, 표면 손상, 표면 손상-
公开(公告)号：KR101080344B1
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：KR1020090082943
申请日：2009-09-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명에따르면, 건식식각방법으로쉽게선택적에미터를형성할수 있으면서건식시각에의한표면데미지를제거함으로써효율이향상된태양전지의선택적에미터구조를쉽게형성할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020110024799A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090082943
申请日：2009-09-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A method for selectively forming an emitter of a solar cell and a manufacturing method thereof are provided to use a doping paste as a blocking layer of an etch-back, thereby simplifying a selective emitter structure of a solar cell. CONSTITUTION: High doping(n++) for forming an emitter layer(20) is performed on a silicon substrate(10). A doping paste is coated on a location of the substrate where an electrode is formed. A surface on which the doping paste is partially coated is etched back. The doping paste is removed. The surface of the substrate removing the doping paste is oxidized.
Abstract translation: 目的：提供一种用于选择性地形成太阳能电池的发射极的方法及其制造方法，以使用掺杂膏作为回蚀的阻挡层，从而简化了太阳能电池的选择性发射极结构。 构成：在硅衬底（10）上执行用于形成发射极层（20）的高掺杂（n ++）。 掺杂浆料涂覆在形成电极的基板的位置上。 将掺杂浆料部分地涂覆在其上的表面被回蚀刻。 去除掺杂膏。 去除掺杂浆料的衬底的表面被氧化。
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公开(公告)号：KR1020100110164A
公开(公告)日：2010-10-12
申请号：KR1020090028603
申请日：2009-04-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A screen printing plate for forming the electrode of a solar cell and a method for forming the electrode of the solar cell using the same are provided to narrow the width of the electrode by preventing the overflow of electrode-paste. CONSTITUTION: A discharging part(210), a shielding part(220), and a partitioning part(230) are prepared. The discharging part corresponds to the shape of a surface electrode, and electrode-paste passes through the discharging part. The shielding part defines the discharging part. The partitioning part is adjacent to the shielding part. Through holes corresponding to the shape of the discharging part are formed inside the partitioning part.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成太阳能电池的电极的丝网印刷板和使用其形成太阳能电池的电极的方法，以通过防止电极浆料的溢出来减小电极的宽度。 构成：制备排出部分（210），屏蔽部分（220）和分隔部分（230）。 放电部分对应于表面电极的形状，电极浆料通过放电部分。 屏蔽部分限定放电部分。 分隔部分与屏蔽部分相邻。 在分隔部内形成有与排出部的形状对应的通孔。
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