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公开(公告)号：KR101047326B1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：KR1020090086598
申请日：2009-09-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 플라즈마 건식 식각으로 인해 태양전지에 생긴 표면 손상을 제거하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 태양전지 표면손상 제거방법은, 플라즈마 건식 식각 공정으로 인한 태양전지의 표면손상을 제거하는 방법으로서, 플라즈마 건식 식각 공정을 마친 태양전지 기판의 표면에 산화막을 형성하는 것을 특징으로 한다. 산화막을 형성하는 방법은 질산용액에 상기 태양전지 기판을 침지하여 이루어지는 것이 바람직하며, 질산용액이 50%농도의 질산용액이고 침지하는 시간이 10~20분일 수 있다.
본 발명에 따르면, 태양전지의 표면에 얇은 두께의 산화막을 형성하는 것만으로도 플라즈마 건식 식각으로 인한 표면 손상을 해소함으로써, 태양전지의 표면을 추가적으로 식각하여 발생하는 여러 가지 문제점들을 미연에 방지할 수 있다.
또한 본 발명은 질산용액에 태양전지 기판을 침지하는 간단한 공정으로 태양전지의 표면 손상을 해소함으로써, 공정효율이 크게 향상되는 효과가 있다.
태양전지, 플라즈마, 건식 식각, 건식에칭, 표면 손상, 표면 손상-
公开(公告)号：KR1020110044413A
公开(公告)日：2011-04-29
申请号：KR1020090101064
申请日：2009-10-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A silicon substrate for a solar battery on which a selective pattern with a nano-porous structure is formed and manufacturing method thereof are provided to form a nano-porous structure on the silicon substrate to reduce reflectivity, thereby increasing the lifetime of a carrier. CONSTITUTION: A desired pattern is formed on a silicon substrate by a photolithographic method. Nitric acid and hydrofluoric acid are mixed so that an acid mixture solution is manufactured. The acid mixture solution is mixed with water whose amount is 1~5 times larger than the acid mixture solution so that a diluted acid mixture solution is manufactured. The silicon substrate is dipped in the diluted acid mixture solution so that a nano-porous structure is formed in the pattern.
Abstract translation: 目的：提供一种用于太阳能电池的硅衬底，其上形成了具有纳米多孔结构的选择性图案及其制造方法，以在硅衬底上形成纳米多孔结构以降低反射率，从而增加载体的寿命 。 构成：通过光刻法在硅衬底上形成期望的图案。 将硝酸和氢氟酸混合，制成酸混合溶液。 将酸混合溶液与酸混合溶液的1〜5倍的水混合，制成稀酸的混合溶液。 将硅衬底浸入稀酸混合溶液中，使得以该图案形成纳米多孔结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101090397B1
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020090101064
申请日：2009-10-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 나노 다공성 구조를 가진 선택적 패턴이 형성된 실리콘 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 실리콘 태양전지에 사용될 수 있는 실리콘 기판으로, 포토리소그래피 방법을 사용하여 선택적 패턴이 형성된 실리콘 기판 표면에 나노 다공성 구조를 형성함으로써 반사도를 감소시키며, 캐리어의 수명을 향상시킬 수 있고 개방 전압을 향상시켜 광전변환 효율을 향상시킬 수 있는, 나노 다공성 구조를 가진 선택적 패턴이 형성된 실리콘 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
태양전지, 실리콘 기판, 나노 다공성 구조, 선택적 패턴-
4.发明公开
公开(公告)号：KR1020110028947A
公开(公告)日：2011-03-22
申请号：KR1020090086598
申请日：2009-09-14
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A solar cell surface damage removing method and a solar cell manufacturing method using the same are provided to improve the process efficiency remarkably by preventing the surface damage of the solar cell with simple method of dipping a solar cell substrate in the nitride solution. CONSTITUTION: An emitter layer(110) is formed by injecting the impurity material of second conductive type into a substrate(100). A front side reflection barrier layer(120) is formed on the emitter layer in order to lower the reflectivity of sunlight. A front electrode is formed to pass through the front side reflection barrier layer and contact the emitter layer.
Abstract translation: 目的：提供太阳能电池表面损伤去除方法和使用其的太阳能电池制造方法，以通过以太阳能电池基板浸渍在氮化物溶液中的简单方法防止太阳能电池的表面损伤来显着提高工艺效率。 构成：通过将第二导电类型的杂质材料注入衬底（100）而形成发射极层（110）。 为了降低太阳光的反射率，在发射极层上形成前侧反射阻挡层（120）。 前电极形成为穿过前侧反射阻挡层并接触发射极层。
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公开(公告)号：KR101080344B1
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：KR1020090082943
申请日：2009-09-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명에따르면, 건식식각방법으로쉽게선택적에미터를형성할수 있으면서건식시각에의한표면데미지를제거함으로써효율이향상된태양전지의선택적에미터구조를쉽게형성할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020110032092A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：KR1020090089413
申请日：2009-09-22
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A silicon substrate containing a nano-porous structure for a solar cell and a method for manufacturing the same are provided to form the nano-porous structure on the surface of the silicon substrate without the shape transformation of the silicon substrate by immersing the silicon substrate into a diluted acidic mixture solution. CONSTITUTION: An acidic mixture solution is prepared by mixing nitric acid and hydrofluoric acid. A diluted acidic mixture solution is prepared by mixing the acidic mixture solution and water. A silicon substrate is immersed into the diluted acidic mixture solution to form a nano-porous structure on the surface of the silicon substrate. The silicon substrate is mono-crystalline silicon substrate, polycrystalline silicon substrate, or non-processed crystalline silicon substrate.
Abstract translation: 目的：提供一种含有用于太阳能电池的纳米多孔结构的硅基板及其制造方法，以在硅基板的表面上形成纳米多孔结构体，而不会通过将硅基板浸入硅基板而进行形状变换 将底物倒入稀酸性混合溶液中。 构成：通过混合硝酸和氢氟酸来制备酸性混合溶液。 通过混合酸性混合物溶液和水来制备稀释的酸性混合物溶液。 将硅衬底浸入稀酸性混合溶液中以在硅衬底的表面上形成纳米多孔结构。 硅衬底是单晶硅衬底，多晶硅衬底或非加工晶体硅衬底。
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公开(公告)号：KR1020110024799A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090082943
申请日：2009-09-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A method for selectively forming an emitter of a solar cell and a manufacturing method thereof are provided to use a doping paste as a blocking layer of an etch-back, thereby simplifying a selective emitter structure of a solar cell. CONSTITUTION: High doping(n++) for forming an emitter layer(20) is performed on a silicon substrate(10). A doping paste is coated on a location of the substrate where an electrode is formed. A surface on which the doping paste is partially coated is etched back. The doping paste is removed. The surface of the substrate removing the doping paste is oxidized.
Abstract translation: 目的：提供一种用于选择性地形成太阳能电池的发射极的方法及其制造方法，以使用掺杂膏作为回蚀的阻挡层，从而简化了太阳能电池的选择性发射极结构。 构成：在硅衬底（10）上执行用于形成发射极层（20）的高掺杂（n ++）。 掺杂浆料涂覆在形成电极的基板的位置上。 将掺杂浆料部分地涂覆在其上的表面被回蚀刻。 去除掺杂膏。 去除掺杂浆料的衬底的表面被氧化。
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