公开(公告)号：KR102059087B1

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：KR1020170062423

申请日：2017-05-19

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  김상우 ,  정봉욱 ,  박재영 ,  김태윤

IPC: H01L41/18 ,  H01L31/032 ,  H01L35/12 ,  H01L41/193

公开(公告)号：KR1020090105350A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：KR1020080030754

申请日：2008-04-02

Applicant: 삼성전기주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  이은성 ,  양유성

IPC: H05K1/16 ,  C01B31/02

CPC classification number: H01G4/06 ,  B82Y10/00 ,  H01G4/30 ,  H05K1/162 ,  H05K2201/0195 ,  H05K2201/026 ,  H05K2201/0323 ,  Y10T29/435

Abstract: PURPOSE: A built-in type capacitor is provided to reduce a dielectric loss by including a dielectric layer of a double layer or triple layer structure. CONSTITUTION: A built-in type capacitor includes a dielectric layer(200) between a top electrode and a bottom electrode(300,100). The dielectric layer of the built-in type capacitor includes a high loss dielectric layer(210) and one or more insulation layers(220) contacted with the high loss dielectric layer. The high loss dielectric layer is included in a top part of the bottom electrode. The insulation layer is included in a top part of the high loss dielectric layer. The high loss dielectric layer contains a complex including a polymer resin and a conductive material.

Abstract translation: 目的：提供内置式电容器，以通过包括双层或三层结构的电介质层来减少介电损耗。 构成：内置型电容器包括在顶部电极和底部电极（300,100）之间的介电层（200）。 内置型电容器的电介质层包括高损耗介电层（210）和与高损耗介电层接触的一个或多个绝缘层（220）。 高损耗介电层包含在底部电极的顶部。 绝缘层包括在高损耗介电层的顶部。 高损耗介电层含有包含聚合物树脂和导电材料的复合物。

公开(公告)号：KR100845717B1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：KR1020050136244

申请日：2005-12-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈

IPC: G01N27/64

Abstract: 본 발명은 인체의 신진대사 과정에서 배출되며 다양한 질병들을 간접적으로 진단하는데 유용한 인체 바이오마커들을 감지할 수 있는 초소형 마이크로 브리지 질량 센서를 이용한 인체 바이오마커 센서 및 모듈에 관한 것이다.
본 발명에서의 압전 마이크로 브리지는 하나의 브리지 구조 지지판 위에 두 개의 압전 구동을 위한 압전 캐패시터가 대칭적으로 분리되어 집적되기 때문에 소자의 총 질량을 줄여 감도를 향상시킬 수 있으며, 다층 박막 구조의 공진자의 제작 시 층간 잔류 응력을 분산하여 외형적 변형을 최소화할 수 있고 따라서, 높은 기계적 품질 계수의 공진주파수를 나타내며 대기, 수질 등 여러 측정 환경에서도 물질 감지를 위한 공진주파수 분해능을 확보할 수 있다. 본 발명의 압전 마이크로 브리지 공진자 감지소자는 기존의 유사한 유효 감지 면적을 갖는 마이크로 칸티레버 구조의 공진자에 비해 매우 높은 공진주파수 값과 그에 따른 보다 우수한 감도 특성을 가지고 있다.

公开(公告)号：KR100681782B1

公开(公告)日：2007-02-12

申请号：KR1020040021186

申请日：2004-03-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이재찬 ,  신상훈 ,  백준규

IPC: G01N27/00

Abstract: 본 발명은 압전 박막을 이용한 마이크로 압전 구동소자의 제작 및 이를 이용한 초소형 화학 센서에 필요한 감지소자의 제작방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 압전 구동소자를 이용한 화학센서에 있어서, 상기 압전 구동소자에 사용된 압전 재료의 역 압전효과를 이용해 소자를 공진주파수로 구동시키고, 상기 소자위에 형성된 감지층에 감지 대상물질이 흡착되게 되어 소자 표면에 질량이 증가하게 되면, 상기 소자의 공진주파수가 변화하며 이러한 공진주파수 변화를 센서의 감지 신호로 사용하는 것을 특징으로 한다.
압전 구동소자, 화학센서, 상부 전극, 하부 전극, 지지층, 절연층