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公开(公告)号:KR101360997B1
公开(公告)日:2014-02-11
申请号:KR1020120024922
申请日:2012-03-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Inventor: 이창구 , 안종현 , 이진환 , 이영빈
IPC: C23C16/44 , C23C16/06
Abstract: 본원은 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법, 상기 제조 방법에 의하여 제조되는 금속 칼코게나이드 박막 및 금속 칼코게나이드 박막의 전사 방법에 관한 것이다.