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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100736231B1
公开(公告)日：2007-07-06
申请号：KR1020060035645
申请日：2006-04-20
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: A system for compensating laser interferometer and a method thereof are provided to estimate an optimal correction parameter using position information of a static capacity sensor and position information of a heterodyne laser interferometer. A system for compensating laser interferometer includes a measuring unit(10) to measure a displacement of a target, a preprocessing unit(20) to pre-process an output signal of the measuring unit, a correcting unit(30) to set a correction parameter to correct the measurement of the target processed by the preprocessing unit, and a mapper(40) to correct and output the measurement pre-processed by the preprocessing unit using the correction parameter set by the correcting unit. The correction value outputted by the mapper is outputted through an output unit(50). The measuring unit includes a heterodyne laser system(11) having two different frequencies and using two light sources orthogonally polarized with each other and a static sensor(12) to precisely measure a position with few nanometer unit precision. The heterodyne laser system has a performance of representing the position information of the target as an intensity of a signal.
Abstract translation: 提供了一种用于补偿激光干涉仪的系统及其方法，以使用静态电容传感器的位置信息和外差激光干涉仪的位置信息来估计最佳校正参数。 用于补偿激光干涉仪的系统包括：测量单元（10），用于测量目标的位移;预处理单元（20），用于预处理测量单元的输出信号;校正单元（30），用于设置校正参数 以校正由预处理单元处理的目标的测量;以及映射器（40），使用由校正单元设置的校正参数校正并输出由预处理单元预处理的测量。 由映射器输出的校正值通过输出单元（50）输出。 测量单元包括具有两个不同频率并使用彼此正交偏振的两个光源的外差激光系统（11）和静态传感器（12）以精确测量具有几纳米单位精度的位置。 外差激光系统具有将目标的位置信息表示为信号强度的性能。
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公开(公告)号：KR1020160137844A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：KR1020150071980
申请日：2015-05-22
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명의실시예들에따른레이저간섭계에기반한지진계장치는하나의이동물체의이동거리를서로상보적으로측정하도록배치된제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들로부터기준신호강도및 측정신호강도를각각입력받고, 측정신호강도의 AC 성분과기준신호강도로부터, 위상차만의삼각함수로표현되는강도신호들을각각도출하는전처리부, 제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들의상보적인관계를이용하여, 제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들각각의강도신호들의오차를보정하고, 보정된강도신호들을생성하는오차보정부, 보정된강도신호들의주파수값의시간에따른변동을분석하여, 주파수값의시간에따른단기평균과장기평균의비율의변동을산출하는지진파주파수분석부및 시간에따른단기평균과장기평균의비율(STA/LTA)이소정임계값을상향돌파하는상향돌파시점들을결정하고, 상향돌파시점들의시간차이에따라진앙거리를산출하는진앙거리산출부를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020100077861A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080135928
申请日：2008-12-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: Error correction device and method of a heterodyne laser interferometer are provided to correct errors to adapt to the environment change by performing an error correction operation suitable for a new environment. CONSTITUTION: An error correction device of a heterodyne laser interferometer comprises a capacitance sensor(270), a pre-processing unit(240), a WLS processing unit(250), an error correction unit(280) and a CD data processing unit(260). The capacitance sensor measures the distance to an object. The pre-processing unit receives a reference signal and a measurement signal from the heterodyne laser interferometer(100) to measure the intensity. The WLS processing unit applies the measured intensity of the measurement signal and the reference signal to a WLS technique to obtain a WLS compensation parameter. The error correction unit applies the measured intensity of the measurement signal and the reference signal to the WLS compensation parameter to correct errors. Using the distance to the object output from the capacitance sensor, the CD data processing unit computes and outputs the intensity of a corresponding basic signal. The pre-processing unit comprises a phase retarder and a multiplier and a filter.
Abstract translation: 目的：通过执行适合新环境的纠错操作，提供外差激光干涉仪的纠错装置和方法，以纠正错误以适应环境变化。 构成：外差激光干涉仪的纠错装置包括电容传感器（270），预处理单元（240），WLS处理单元（250），纠错单元（280）和CD数据处理单元 260）。 电容传感器测量到物体的距离。 预处理单元接收来自外差激光干涉仪（100）的参考信号和测量信号以测量强度。 WLS处理单元将测量信号和参考信号的测量强度应用于WLS技术以获得WLS补偿参数。 误差校正单元将测量信号和参考信号的测量强度应用于WLS补偿参数以校正误差。 使用从电容传感器输出的对象的距离，CD数据处理单元计算并输出对应的基本信号的强度。 预处理单元包括相位延迟器和乘法器和滤波器。
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公开(公告)号：KR100938108B1
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：KR1020070085933
申请日：2007-08-27
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템 및 출력보정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보정시스템은 측정 대상물에 대한 위치를 측정하여 측정값을 출력하는 헤테로다인 레이저 간섭계와; 상기 측정 대상물의 위치를 측정하여 제2 측정값을 출력하는 정전용량센서와; 상기 측정값 및 상기 제2 측정값을 이용하여 반복 최소 자승법을 통해 상기 측정값을 제1 보정값으로 보정하는 제1 보정부와; 상기 제1 보정값 및 상기 제2 측정값을 각각 입력값 및 목표값으로 하여 신경망 회로를 생성하고, 상기 제1 보정값을 상기 신경망 회로의 입력으로 하여 제2 보정값을 생성하는 제2 보정부와; 상기 제2 보정부로부터 출력되는 상기 제2 보정값에 기초하여 상기 측정값에 대한 보정 측정값을 생성하는 보정값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 정전용량센서로부터의 출력을 기본신호로 하여 반복 최소 자승법을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력이 갖는 비선형성을 보정하고, 소음, 외란, 진동 등과 같은 불특정 요소에서 오는 환경적 오차를 신경망 회로를 이용하여 보정함으로써, 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력의 정밀도를 향상시켜 선형성 및 환경적 요소에 적응적인 시스템의 구현이 가능하게 된다.
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公开(公告)号：KR1020090019598A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：KR1020070084148
申请日：2007-08-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G05D3/12
Abstract: An optimal control method based on the sliding mode control applied to the ultra-precision positioning system is provided to minimized the rising time, to remarkably reduce the phenomenon at the target position and to be strong in non-linearity by the external noise. The system model about the ultra-precision positioning system is determined by reflecting The LQ control algorithm and the state observation algorithm. The general solution of the state removing the noise element from the system model is produced. The sliding surface according to the sliding mode control algorithm about the system model based on the general solution is determined. The feedback gain applied to the sliding surface through the LQ control algorithm is produced. The sliding mode controller is set by applying the sliding surface and the feedback gain to the sliding mode control algorithm.
Abstract translation: 提供了基于应用于超精密定位系统的滑模控制的最优控制方法，以最小化上升时间，显着降低目标位置的现象，并通过外部噪声非线性强。 关于超精密定位系统的系统模型通过反映LQ控制算法和状态观测算法来确定。 产生从系统模型中去除噪声元件的状态的一般解决方案。 根据滑动模式控制算法，根据一般解决方案确定系统模型的滑动面。 产生通过LQ控制算法施加到滑动面的反馈增益。 滑动模式控制器通过将滑动面和反馈增益应用于滑动模式控制算法来设定。
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