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公开(公告)号：KR100611174B1
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：KR1020050046226
申请日：2005-05-31
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B25J15/08
Abstract: 본 발명은 마이크로 그립퍼(Gripper) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 지지부와; 상기 지지부에 연장되어 있고, 구동력을 전달받아 대상물을 잡을 수 있으며, 상호 이격되어 있는 한 쌍의 그립(Grip)부와; 상기 대상물을 잡을 때 접촉되는 상기 한 쌍의 그립부 각각의 면에 형성되어 있고, 저항값을 갖는 한 쌍의 편들을 포함하여 구성된다.
따라서, 본 발명은 대상물의 그립력(Gripping force)을 감지할 수 있는 힘센서를 그립부에 구비시켜 대상물을 보다 정밀하게 잡을 수 있는 효과가 있다.
그립퍼, 금속편, 힘센서, 저항Abstract translation: 微夹钳及其制造方法技术领域本发明涉及一种微夹钳及其制造方法，并且设置有支撑部分; 一对把手部分，其从所述支撑部分延伸并且能够通过接收驱动力而彼此间隔地保持物体; 并且，一对片具有电阻值，该一对片形成在被保持物体接触的一对握持部的各个握持部的表面上。
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公开(公告)号：KR1020040103056A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：KR1020030034940
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B25J13/02
Abstract: PURPOSE: A force reflection device is provided to control a simulation program of a computer or an operation of a departed place by moving a handle in a x, a y and a z directions. CONSTITUTION: A force reflection device comprises a first motor, a body, a second motor, a first transfer device, a first rod type link, a second rod type link, a third rod type link, a second transfer device, a fourth rod type link, a first connecting potion, a second connecting portion and a fifth rod type link, a third motor(61) and a third transfer device(71). An axis of the first motor is inserted in the body. The body rotates the motor axis freely. An axis of the second motor in the co-axis of the first motor axis is inserted in the body. The first transfer device is moved through the semicircular trace by the rotating force of the first motor. The first rod type link is formed by penetrating the body through an axis in perpendicular to the axes of the first and the second motors. The second rod type link is vertically connected with the first rod type link and connected with the first transfer device. The third rod type link is connected with a first link axis in the end of the second rod type link. The second transfer device is moved through the semicircular trace by the rotating force of the second motor. The fourth rod type link is connected with the second transfer device and vertically connected with the first rod type link. The first connecting portion is vertically connected with the third rod type link in a second link axis in the end of the third rod type link. The second connecting portion is vertically connected with the fourth rod type link in a third link axis in the end of the fourth rod type link. The fifth rod type link is vertically connected with the first and the second connecting portions and contained a handle. The third motor is located horizontally by separating from the first motor. The third transfer device is moved by the rotation of the third motor and connected with the third and the fourth rod type links.
Abstract translation: 目的：通过在x，y和z方向上移动手柄，提供强力反射装置来控制计算机的仿真程序或离开的操作。 构成：力反射装置包括第一电动机，主体，第二电动机，第一转移装置，第一杆型连杆，第二杆型连杆，第三杆型连杆，第二转动装置，第四杆型 连杆，第一连接部，第二连接部和第五杆型连杆，第三马达61和第三输送装置71。 第一马达的轴线插入主体。 机体自由旋转电机轴。 第一马达轴线的共轴中的第二马达的轴线被插入到主体中。 第一传送装置通过第一电动机的旋转力移动通过半圆形迹线。 第一杆式连杆通过穿过主体穿过垂直于第一和第二马达的轴的轴线而形成。 第二杆式连杆与第一杆式连杆垂直连接并与第一传送装置连接。 第三杆式连杆在第二杆式连杆的端部与第一连杆轴线连接。 第二传送装置通过第二电动机的旋转力移动通过半圆形迹线。 第四杆式连杆与第二传送装置连接，并与第一杆式连杆垂直连接。 第一连接部分在第三杆式连杆的端部处的第二连杆轴线上与第三杆式连杆垂直连接。 第二连接部分在第四杆式连杆的端部处的第三连杆轴线上与第四杆式连杆垂直连接。 第五杆式连杆与第一连接部分和第二连接部分垂直连接，并包含手柄。 第三马达通过与第一马达分离而水平定位。 第三传送装置通过第三电动机的旋转而移动，并与第三和第四杆式连杆相连接。
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公开(公告)号：KR100756223B1
公开(公告)日：2007-09-06
申请号：KR1020060056381
申请日：2006-06-22
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H02N2/10
CPC classification number: H02N2/123 , H01L41/0536 , H02N2/006 , H02N2/0065
Abstract: A rotor actuating device for controlling a micro displacement is provided to obtain a strong rotation force by using a compressive piezoelectric element as an actuator. A rotor actuating device for controlling a micro displacement includes a base plate(100), a rotor(110), a friction element(120), an actuator(140), a compressing unit(150), and a fixing block(130). The base plate(100) includes a lower part of the rotor(110) actuating device and supports other components. The rotor(110) has a disk shape and is rotatably installed on the base plate(100). The refractor has a bar shape. An end(120a) of the friction element(120) has a predetermined gap from an exterior of the rotor(110). An other gap(120b) of the friction element(120) is rotatably installed on the base plate(100). The actuator(140) actuates the friction element(120). The compressing unit(150) is installed on the fixing block(130) for elastically compressing the friction element(120) to the actuator(140). The fixing block(130) supports the friction element(120), the actuator(140), and the compressing unit(150), and is fixed on the base plate(100).
Abstract translation: 提供用于控制微位移的转子致动装置，以通过使用压电压电元件作为致动器来获得强的旋转力。 用于控制微位移的转子致动装置包括基板（100），转子（110），摩擦元件（120），致动器（140），压缩单元（150）和固定块（130） 。 基板（100）包括转子（110）致动装置的下部并支撑其它部件。 转子（110）具有圆盘形状并可旋转地安装在基板（100）上。 折射器具有条形。 摩擦元件（120）的端部（120a）与转子（110）的外部具有预定的间隙。 摩擦元件（120）的另一间隙（120b）可旋转地安装在基板（100）上。 致动器（140）致动摩擦元件（120）。 压缩单元（150）安装在用于将摩擦元件（120）弹性压缩到致动器（140）的固定块（130）上。 固定块（130）支撑摩擦元件（120），致动器（140）和压缩单元（150），并且固定在基板（100）上。
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公开(公告)号：KR100705797B1
公开(公告)日：2007-04-13
申请号：KR1020060048802
申请日：2006-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 흡착형 마이크로 그리퍼 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 층과 제 2 층이 순차적으로 형성되어 있고; 상기 제 1 층을 관통하는 제 1 관통홀이 형성되어 있고; 상기 제 2 층에 상기 제 1 관통홀과 연통되어 있는 제 2 관통홀이 형성되어 이루어진다.
따라서, 본 발명은 그립면에 공기를 흡입할 수 있는 관통홀을 구비하여, 세포와 같은 미세 대상물을 그립할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 관통홀 주위의 그립면에 트랜치(Trench)를 형성하여, 트랜치 주위의 돌출부위로 대상물을 가이드하여 보다 정확히 대상물을 그리핑할 수 있는 효과가 있다.
게다가, 본 발명은 SOI 기판을 이용하여, 흡착으로 대상물을 그립할 수 있는 그리퍼를 쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.
흡착, 그리퍼, 관통홀, 공기, 흡입, 배출Abstract translation: 本发明涉及一种吸附微夹钳及其制造方法，其中依次形成第一层和第二层; 形成穿过第一层的第一通孔; 与第一通孔连通的第二通孔形成在第二层中。
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公开(公告)号：KR1020060104574A
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020050026857
申请日：2005-03-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입하여 마이크로 그리퍼에 발생하는 스틱션을 해결할 수 있는 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 그리퍼는 정전기력을 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼에 에어가 입력되는 에어 흡입구 및 상기 에어 흡입구에 입력되는 에어를 마이크로 그리퍼의 조에 전달하는 에어 플로우 채널부를 더 포함하여 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법은 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입함으로써, 그리퍼에 대상물체가 붙어 있는 스틱션 문제를 해결하고, 미소 부품이나 바이오 셀 등을 쉽게 조립, 이동, 고정, 조합할 수 있는 효과가 있다.
마이크로 그리퍼, 조, 에어 블로우, 에어 플로우 채널부-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050112260A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020040037196
申请日：2004-05-25
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L41/314 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/332
Abstract: 본 발명은 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압전 구동 방식의 액츄에이터에 의한 그리핑 방식을 제안하여 저전압 구동과 그리핑의 힘을 크게 낼 수 있고, 그리핑 범위를 조절할 수 있는 그리퍼에 관한 것이다.
본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 있어서, 실리콘 하부면을 에칭하고 실리콘 산화막과 폴리 실리콘을 차례로 증착하는 단계; 상기 증착된 폴리 실리콘 상에 질화 실리콘을 증착 및 패터닝하고 그리핑 구동 변위 센싱 및 제어를 위한 변위센서를 만드는 단계; 상기 폴리 실리콘 상부에 하부전극을 형성하는 단계; 상기 하부전극 상부에 압전 물질을 증착 및 패터닝하여 압전 액츄에이터를 형성하는 단계; 상기 압전 액츄에이터 상부에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 폴리 실리콘과 실리콘 산화막의 일부를 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 압전 박막에 전압을 인가하여 길이 방향으로 수축시켜 압전 박막이 입힌 쪽으로 휘게 함으로써 물체를 잡거나 놓을 수 있고, 외팔 집게형과 양팔 집게형의 두 가지 형태로 제작이 가능한 장점이 있고, 그리핑 범위를 자유로이 조절할 수 있으며, 에너지 소비를 줄일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100518612B1
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：KR1020030034940
申请日：2003-05-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B25J13/02
Abstract: 본 발명은 힘 반향 장치에 관한 것으로, 제 1 모터(11)와; 상기 제 1 모터(11)의 축이 삽입되고, 모터축이 자유롭게 회전되도록 하는 몸체(21)와; 상기 제 1 모터(11)의 축과 동축상에 축이 상기 몸체(21)에 삽입되는 제 2 모터(12)와; 상기 제 1 모터(11) 축의 회전력으로 반원형상의 궤적을 따라 이동되는 제 1 전달장치(31)와; 상기 제 1과 2 모터(11,12)축과 수직한 방향의 축으로 상기 몸체(21)를 관통하여 형성된 제 1 막대형 링크(32)와; 상기 제 1 막대형 링크(32)에 수직하게 연결되고, 상기 제 1 전달장치(31)에 연결된 제 2 막대형 링크(33)와; 상기 제 2 막대형 링크(33)의 끝단에 형성된 제 1 링크축(34)에 연결되는 제 3 막대형 링크(35)와; 상기 제 2 모터(12)축의 회전력으로 반원형상의 궤적을 따라 이동되는 제 2 전달장치(36)와; 상기 제 2 전달장치(36)와 연결되며, 상기 제 1 막대형 링크(32)에 수직방향으로 연결된 제 4 막대형 링크(37)와; 상기 제 3 막대형 링크(35)의 끝단에 형성된 제 2 링크축(38)에 상기 제 3 막대형 링크(35)와 수직방향으로 연결된 제 1 연결부(41)와; 상기 제 4 막대형 링크(37)의 끝단에 형성된 제 3 링크축(42)에 상기 제 4 막대형 링크(37)와 수직방향으로 연결된 제 2 연결부(43)와; 상기 제 1과 2 연결부와 수직방향으로 연결되고, 끝단에 핸들(52)이 구비된 제 5 막대형 링크(51)로 구성된다.
따라서, 본 발명은 작업자가 핸들을 X,Y,Z방향으로 이동시켜 컴퓨터의 시뮬레이션 프로그램을 제어하거나 또는 원격지의 작업을 제어할 수 있고, 시뮬레이션 구동 또는 원격지 작업상 전달된 힘을 작업자가 현실감 있게 느낄 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100659043B1
公开(公告)日：2006-12-19
申请号：KR1020050026857
申请日：2005-03-31
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입하여 마이크로 그리퍼에 발생하는 스틱션을 해결할 수 있는 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 그리퍼는 정전기력을 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼에 있어서, 에어가 입력되는 에어 흡입구; 및 상기 에어 흡입구에 입력되는 에어를 전도성의 상기 마이크로 그리퍼의 조에 전달하는 에어 플로우 채널부를 더 포함하여 구성된 마이크로 그리퍼에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 마이크로 그리퍼 및 마이크로 그리퍼 조의 제작 방법은 에어 플로우 채널부에 에어 블로우를 주입함으로써, 그리퍼에 대상물체가 붙어 있는 스틱션 문제를 해결하고, 미소 부품이나 바이오 셀 등을 쉽게 조립, 이동, 고정, 조합할 수 있는 효과가 있다.
마이크로 그리퍼, 조, 에어 블로우, 에어 플로우 채널부-
公开(公告)号：KR1020060121457A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：KR1020050043644
申请日：2005-05-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B81B5/00
Abstract: A rotary driving apparatus of micro displacement is provided to increase the accurate driving and precise rotary driving performances by mounting the plural micro transfer units rotating the rotary plate. A rotary driving apparatus(1) of micro displacement is composed of a base(2) comprising the lower part of the apparatus; a rotary plate(3) combined through the medium of the shaft and the bearing at the upper part of the base and rotatably installed; micro transfer units(4) fixed at the upper surface of the base and contacted at the lower surface of the rotary plate to rotate the rotary plate by forwardly and backwardly moving to the perpendicular direction with the shaft of the rotary plate according to the outer power; and a pressing member(5) vertically installed at the center of the upper part of the rotary plate to press the rotary plate to be contacted at the plural micro transfer units.
Abstract translation: 提供微位移的旋转驱动装置，通过安装旋转旋转板的多个微转印单元来提高精确的驱动和精确的旋转驱动性能。 微位移的旋转驱动装置（1）由包括装置的下部的基部（2）组成; 旋转板（3）通过轴的介质和轴承在基座的上部组合并可旋转地安装; 微型转印单元（4），固定在基座的上表面并在旋转板的下表面处接触，以使旋转板沿着与旋转板的轴垂直的方向向前和向后移动，根据外部功率 ; 以及垂直设置在所述旋转板的上部的中心的按压构件（5），以按压所述多个微转印单元接触的旋转板。
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公开(公告)号：KR100609884B1
公开(公告)日：2006-08-08
申请号：KR1020040114472
申请日：2004-12-28
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 3 자유도 미소변위 구동장치에 관한 것으로, 이 3 자유도 미소변위 구동장치(1)는 압전세라믹으로 이루어진 제1 미소이동수단(2)과 마그네트로 이루어진 제1 작동매체(3)와 팬 구동 회전판(4) 및 팬 구동 베이스(5)로 이루어진 팬 운동부(6)와, 압전세라믹으로 이루어진 제2 미소이동수단(7)과 마그네트로 이루어진 제2 작동매체(8)와 틸트 구동 회전판(9) 및 틸트 구동 베이스(10)로 이루어진 틸트 운동부(11)와, 직선 구동 지그(12)와 압전세라믹으로 이루어진 제3 미소이동수단(13)과 마그네트로 이루어진 제3 작동매체(14) 및 직선 구동 샤프트(15)로 이루어진 직선 운동부(16)를 포함하여 구성된 것으로, 상기 3 자유도 미소변위 구동장치는 일련의 구동장치들이 상호간에 연동되게 연결설치됨으로써 백래시를 감소시키고, 이에 따라 나노미터 정도로 정밀하게 3 자유도 구동을 수행할 수 있으며, 상기 구동원이 압전세라믹으로 이루어져 장치의 정밀한 구동이 가능하고, 압전세라믹을 통한 구동장치의 연속구동으로 보다 넓은 작업공간을 확보할 수 있는 것이다.
3 자유도, 미소, 변위, 팬, 틸트, 직선, 압전세라믹, 마그네트Abstract translation: 本发明公开了一种三自由度微位移驱动装置，其包括由压电陶瓷制成的第一微动装置（2），由磁体制成的第一工作介质（3） 由磁体制成的第二运动介质8和由压电陶瓷和倾斜驱动转盘制成的第二精细运动装置7 第三工作介质14由磁体和由压电陶瓷制成的第三微动装置13和由磁体和线性驱动夹具12制成的第三工作介质14制成， 以及由驱动轴15构成的直线运动部16.三自由度微位移驱动装置通过连接彼此互锁的一系列驱动装置来减小游隙， 至3 DOF它也可以执行该操作，并且驱动源可以由压电陶瓷的哪个，并且可以是该装置的一个精确的驱动器，确保比通过压电陶瓷的驱动装置的连续驱动一个合适的工作区。
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