公开(公告)号：KR102084085B1

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：KR1020180120918

申请日：2018-10-11

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김성준 ,  신훈규 ,  김홍기 ,  강민재 ,  성민제 ,  이남석

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/324 ,  H01L21/82 ,  H01L21/02 ,  H01L29/66

公开(公告)号：KR102013515B1

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：KR1020180006177

申请日：2018-01-17

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김성준 ,  강민재 ,  강민식 ,  이남석 ,  김홍기 ,  신훈규

IPC: H01L29/45 ,  H01L21/04 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027