公开(公告)号：KR1020200082616A

公开(公告)日：2020-07-08

申请号：KR1020180173363

申请日：2018-12-31

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김홍기 ,  신훈규 ,  이남석 ,  김성준 ,  강민재

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/423 ,  H01L29/66 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01L21/033

公开(公告)号：KR1020200076786A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：KR1020180165072

申请日：2018-12-19

Applicant: 포항공과대학교 산학협력단

Inventor： 김성준 ,  신훈규 ,  김홍기 ,  강민재 ,  이남석

IPC: H01L29/66 ,  H01L21/02 ,  H01L29/16 ,  H01L21/324 ,  H01L29/78 ,  H01L21/04