-
公开(公告)号：KR1019960032815A
公开(公告)日：1996-09-17
申请号：KR1019950003777
申请日：1995-02-25
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01S3/11
Abstract: 본 발명은 이중공진기구조를 지닌 수동 Q-스위치 레이저에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 이중공진기구조를 지녀 별도의 부대장비가 필요없이도 펄스폭의 변조가 가능하며, 짧고 대칭적인 레이저펄스를 방출할 수 있도록 구성된 수동 Q-스위치 레이저에 관한 것이다. 본 발명의 이중공진기구조를 지닌 수동 Q-스위치 레이저는 레이저매질 및 수동 Q-스위치매질을 지닌 수동 Q-스위치 레이저에 있어서, 전기한 레이저매질 및 수동 Q-스위치매질에서 방출되는 각각의 방출파장을 전반사하기 위한 공진반사경; 전기한 수동 Q-스위치매질에서 방출되는 방출광에 대해 무반사특성을 지니며 전기한 레이저매질에서 방출되는 방출광에 대해 10% 이상의 반사율을 지닌 이색반사경으로 구성된 주공진반사경; 및, 전기한 레이저매질에서 방출되는 방출광에 대해 무반사특성을 지니고 전기한 수동 Q-스위치매질에서 방출되는 방출광에 대해 10% 이상의 반사율을 지닌 이색반사경으로 구성되며 레이저빔의 횡방향으로 이동가능하도록 구성된 부공진반사경을 포함한다.
-
公开(公告)号：KR101340386B1
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：KR1020120043290
申请日：2012-04-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 선이광자흡수영역의 형광을 이용한 이광자 광중합 나노제작 시스템용 자동 초점 방법에 관한 것으로, 선이광자흡수영역의 형광을 이용한 이광자 광중합 나노제작 시스템용 자동 초점 시스템에 있어서, 이광자 흡수 현상을 일으킬 수 있는 극초단 펄스 레이저광을 출력하는 레이저 소스, 상기 확장된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 갈바노셔터, 상기 레이저 소스에 의해 출력된 레이저광을 반사하여 경로를 변경하는 미러, 상기 미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하기 위한 대물렌즈, 상기 초점에 의해 제작 공정이 시작되는 기판과, 이광자 광중합을 일으켜 마이크로/나노 구조물을 형성하기 위한 기판 위의 이광자 광중합 레진을 포함하는 기판부, 상기 기판부를 X, Y, Z축으로 이동시키는 스테이지, 상기 기판부의 이광자 광중합 레진에서 발생하는 형광의 세기를 검출하는 CCD 카메라 및 상기 CCD 카메라에서 검출된 형광의 세기를 이용하여 초점의 위치를 자동으로 탐색하고, 상기 기판부의 기판을 탐색된 위치로 이동시키기 위하여 상기 3축 이동 스테이지의 위치를 자동 조절하는 제어컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR101286455B1
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020110042776
申请日：2011-05-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트, 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진, 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR101020149B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020080042989
申请日：2008-05-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 3차원 미세패턴 형성장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 컴퓨터 재생을 통한 홀로그래픽 리소그래피를 이용하는 공간광변조기와 이광자 흡수 폴리머화를 이용한 미세패턴 형성시 이광자 흡수를 일으킬수 있는 펨토초레이저를 발생하여 2차원의 미세패턴을 적층하여 3차원의 미세패턴을 형성한다. 따라서, 본 발명의 장치는 리소그래피를 이용한 미세패턴을 형성함에 있어 마스크제작 비용을 절감하고 마스크 오차에 따른 패턴형성 조정 피드백에 대한 공정 시간을 감소시켜 빠른 시간내에 정확한 3차원의 미세 패턴을 형성할 수 있는 효과를 제공한다.
펨토초레이저, 이광자, 홀로그램-
公开(公告)号：KR1020100120383A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：KR1020090039166
申请日：2009-05-06
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B23K26/048 , B23K26/032 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0861 , B29C64/135
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional ultrafine structure fabrication system and an auto-focusing control method thereof are provided to automatically adjust the focus of a laser beam by controlling the position of a moving stage in which a photocurable resin is placed. CONSTITUTION: A 3-dimensional ultrafine structure fabrication system(100) comprises a femtosecond laser(110), a laser beam processing unit(120), an objective lens(130), a glass substrate(140), a photocurable resin(150), a moving stage(160), a CCD camera(170), and a control computer(180). The laser beam processing unit processes the laser beam delivered from the femtosecond laser by changing the path. The objective lens focuses the laser beam processed by the laser beam processing unit. The glass substrate is located below the objective lens. The photocurable resin generates fluorescence with the laser beam irradiated through the objective lens. The moving stage transfers the glass substrate in one or more of X-, Y- and Z-axis directions. The CCD camera takes an image of the laser beam irradiated from the objective lens. The control computer sets the initial position of the moving stage and automatically controls the position of the moving state according to the fluorescence detected from the laser beam image obtained by the CCD camera.
Abstract translation: 目的：提供三维超细结构制造系统及其自动聚焦控制方法，通过控制放置光固化树脂的移动台的位置来自动调节激光束的焦点。 构造：三维超细结构制造系统（100）包括飞秒激光（110），激光束处理单元（120），物镜（130），玻璃基板（140），光固化树脂（150） ，移动台（160），CCD相机（170）和控制计算机（180）。 激光束处理单元通过改变路径来处理从飞秒激光器传送的激光束。 物镜聚焦由激光束处理单元处理的激光束。 玻璃基板位于物镜的下方。 光固化树脂通过物镜照射的激光束产生荧光。 移动台在X，Y和Z轴方向中的一个或多个中转移玻璃基板。 CCD相机拍摄从物镜照射的激光束的图像。 控制计算机设置移动台的初始位置，并根据由CCD照相机获得的激光束图像检测到的荧光自动控制移动状态的位置。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080109130A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：KR1020070057058
申请日：2007-06-12
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B5/3025 , G02B5/3075 , G02B27/286 , G03F7/70566
Abstract: A three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens is provided to increase yield of a lithography process by controlling the polarized light of incident light and has light power distribution of the circular shape on the focal plane. In a three-fold polarization modulator for modulating input light of a high numerical aperture lens, three-fold polarization modulator(32) passes incident light and modulates it to be the other polarization state in three areas respectively. A high numerical aperture lens(31) passes modulated incident light and generates a focusing light having light power distribution of the circular shape on the focal plane.
Abstract translation: 提供用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器，以通过控制入射光的偏振光来增加光刻处理的产量，并且在焦平面上具有圆形形状的光功率分布。 在用于调制高数值孔径透镜的输入光的三重偏振调制器中，三重偏振调制器（32）分别通过入射光并将其调制成三个区域中的另一个极化状态。 高数值孔径透镜（31）通过调制的入射光，并产生在焦平面上具有圆形形状的光功率分布的聚焦光。
-
公开(公告)号：KR100749341B1
公开(公告)日：2007-08-14
申请号：KR1020060049221
申请日：2006-06-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01S3/10
Abstract: A temporal multiplexing laser apparatus adjusting energy and repetition rate of an output light pulse is provided to control the energy of an output pulse by positive integer times by grouping a plurality of lasers in the temporal multiplexing laser apparatus. A temporal multiplexing laser apparatus adjusting energy and repetition rate of an output light pulse includes a frequency oscillator(11), a plurality of delay generators(12-16), a plurality of laser oscillators(17-21), a plurality of half-wavelength plates(32-36,38), a plurality of polarization beam splitters(37,39,41,43,45), and a plurality of pockels cells(40,42,44). The plurality of delay generators(12-16) are positioned between the frequency oscillator(11) and the laser oscillators(17-21). The plurality of half-wavelength plates(32-36,38) rotates the inputted S polarization by 90 degrees. The plurality of polarization beam splitters(37,39,41,43,45) is installed on rear ends of a plurality of linear polarizers(27-31) to reflect an S polarization and transmit a P polarization. The plurality of pockels cells(40,42,44) is formed between the second polarization beam splitter(39) to the n-th polarization beam splitter(45) to rotate the inputted S polarization.
Abstract translation: 提供调整输出光脉冲的能量和重复率的时间复用激光装置，以通过在时间复用激光装置中对多个激光进行分组来对输出脉冲的能量进行正整数倍的控制。 一种调整输出光脉冲的能量和重复率的时间复用激光装置，包括：频率振荡器（11），多个延迟发生器（12-16），多个激光振荡器（17-21） 波长板（32-36,38），多个偏振分束器（37,39,41,43,45）和多个普克尔盒（40,42,44）。 多个延迟发生器（12-16）位于频率振荡器（11）和激光振荡器（17-21）之间。 多个半波片（32-36,38）使输入的S偏振旋转90度。 多个偏振分束器（37,39,41,43,45）安装在多个线偏振器（27-31）的后端以反射S偏振并透射P偏振。 多个普克尔盒单元（40,42,44）形成在第二偏振分束器（39）与第n偏振分束器（45）之间以旋转输入的S偏振。
-
公开(公告)号：KR100710439B1
公开(公告)日：2007-04-24
申请号：KR1020050104162
申请日：2005-11-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 전단펄스를 이용한 유도브릴루앙 산란파의 파형보존장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 입사펄스를 두 개의 펄스로 분리하는 광분리기와, 유도 브릴루앙 산란파를 발생하는 하나이상의 SBS-PCM, 및 SBS-PCM으로의 상기 두 개의 펄스간의 입사시간을 조절하기 위한 미러를 포함하며, 분리된 하나의 펄스가 전단펄스로 상기 SBS-PCM으로 먼저 입사하여 반사된 후, 상기 미러에 의한 시간차에 의해 상기 나머지 하나의 펄스가 주펄스로 상기 SBS-PCM으로 입사하여 반사되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명의 전단펄스 입사 방법에 의한 파형보존은 시스템의 구성이 간단하고 여러개의 유도브릴루앙 산란 공액거울을 사용하는 시스템에서 연속적인 반사가 가능하도록 하여 손쉽게 적용이 가능하도록 하는 효과를 제공한다.
유도브릴루앙산란, 전단펄스, 파형보존Abstract translation: 本发明涉及一种使用前端脉冲来保存感应布里渊散射波的波形的设备和方法。 本发明的设备，用于控制的输入脉冲的两个脉冲之间的时间量入射到两个光学分离器，用于分离一个脉冲和一个或多个产生的布里渊散射波SBS-PCM的感应反射镜，和SBS-PCM 以包括，然后将分开的一个脉冲由入射的第一到SBS-PCM以剪切脉冲反射，通过的时间差，由于由该事件由SBS-PCM反射的另一方的脉冲主脉冲的反射镜 它表征。 因此，本发明的前端脉冲的接合方法的波形保留提供了一个效果，该系统的方便等，以使容易应用，以使从利用受激布里渊散射共轭反射镜的多个系统中的连续反射的结构 。
-
公开(公告)号：KR100593782B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：KR1020030061528
申请日：2003-09-03
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G02B26/06
CPC classification number: H01S3/1086 , H01S3/005 , H01S3/10076 , H01S3/105
Abstract: 본 발명은 유도 브릴루앙 산란 위상공액거울(Stimulated Brillouin Scattering-Phase Conjugate Mirror; SBS-PCM)을 이용한 광선분할 증폭 레이저에서 각 빔들의 위상을 제어하여 각 빔들의 상대위상을 "0"으로 만드는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에서 위상공액거울에서 일어나는 산란에 의해 반사되는 레이저빔들의 위상차이를 "0"으로 만드는 과정은
상기 위상공액거울에서 반사되는 반사 레이저빔(104', 114', ...)을 광경로 변경수단(131, 132)을 통해 광감지부(150)에 입사되도록 진행시키는 제1단계와;
하나의 반사 레이저빔(104')을 기준 레이저빔으로 하고, 상기 기준 레이저빔과 또 다른 반사 레이저빔(114')을 간섭시키는 제2단계와;
상기 간섭된 결과를 감지하여 두개의 레이저빔의 위상차이가 "0" 이 되도록 압전소자(109, 119)를 미세구동하여 반사수단(108, 118, ....)의 위치를 제어하는 제3단계와;
상기 기준 레이저빔과 간섭시키기 않은 또 다른 반사레이저빔(124')을 간섭시킨 후 중앙제어부(160)을 통해 압전소자(109, 129)를 미세 구동하면서 상기 두 개의 반사레이저빔(104', 124')의 위상차이가 "0" 이 되도록 반사오목거울(108, 128)의 위치를 제어하는 제4단계와;
상기 기준레이저빔과 간섭시키기 않은 나머지 반사레이저빔을 기준레이저빔 과 간섭시키면서 상기 간섭시킨 레이저빔들의 위상차이가 "0" 이 되도록 반사오목거울의 위치를 제어하는 제5단계와;
상기 제5단계를 되풀이하여 기준레이저빔과 나머지 반사레이저빔 모두를 차례로 간섭시켜, 상기 간섭시킨 반사레이저빔들의 위상차이가 "0"으로 만드는 제6단계; 로 구성된다.
유도 브릴루앙 산란, 위상공액거울, 반사수단, 미세구동수단, 위상제어Abstract translation: 设备制造本发明受激布里渊散射相位共轭镜（受激布里渊散射相位共轭反射镜; SBS-PCM），每个光束的通过使用控制从分束放大激光每个光束的相位的相对相位的＆QUOT; 0＆QUOT 和方法。
-
公开(公告)号：KR100511529B1
公开(公告)日：2005-09-01
申请号：KR1020030031580
申请日：2003-05-19
Applicant: 한국과학기술원
Inventor： 공홍진
IPC: A47J43/28
Abstract: 본 발명은 아이스크림 주걱에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동결된 아이스크림을 용이하게 퍼내는 아이스크림 주걱에 관한 것이다.
본 발명에서는 반구형 주걱의 내면 중앙에 설치되어 아이스크림을 분리하는 분리수단과 상기 분리수단의 작동레버가 손잡이에 형성된 아이스크림 주걱에 있어서, 상기 반구형 주걱이 손잡이와 연결대로 연결되고, 상기 손잡이에는 전원스위치와 배터리로 구성된 전원공급부가 내장되어 있으며, 상기 반구형 주걱의 원형단부는 세라믹으로 구성되고 상기 원형단부를 제외한 내측면은 스테인레스스틸로 구성되며, 상기 연결대에는 전원공급부와 세라믹 원형단부에 코팅된 열선을 연결한 전선이 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 아이스크림 주걱을 제안한다.
본 발명은 아이스크림을 용이하게 삽탈하기 위해 주걱의 원형단부에 열선을 설치함으로써, 주걱을 아이스크림의 표면에 보다 용이하게 삽입할 수 있고, 상기 원형단부 안쪽의 주걱은 열전도가 높은 기존의 스테인레스스틸 재질로 구성하여 상기 주걱에 담긴 아이스크림은 열선의 열에 의해 녹지 않도록 한다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
83
records
(took 0.028 seconds)
