펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법
    11.
    发明授权
    펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법 有权
    使用飞秒脉冲激光器的非线性焦点偏移的基板切割方法

    公开(公告)号:KR101164418B1

    公开(公告)日:2012-07-12

    申请号:KR1020100057009

    申请日:2010-06-16

    Abstract: 본 발명은 토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법에 관한 것으로, 펨토초 펄스 레이저를 이용한 절단방법에 있어서, 펨토초 펄스 레이저를 가공물에 조사하여 다중광자이온화(Multi-Photon Ionization)를 기반으로 플라즈마 디포커싱(Plasma Defocusing)에 의해 개질영역을 형성시키고, 여기서 형성된 상기 개질영역과 플라즈마 디포커싱 현상에 의한 레이저의 공간적 집속을 방해시켜 상기 펨토초 펄스 레이저의 초점을 가공물 깊이 방향으로 이동시키면서 개질영역을 길어지게 형성하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 비선형 초점이동을 통해 기존 필라멘트 기반에서는 가공이 불가능한 얇은 투명재료에 효율적인 절단 및 가공이 가능한 이점이 있다.

    펨토초 레이저에 의해 나노 보이드 어레이 형성을 통한 절단방법
    12.
    发明公开
    펨토초 레이저에 의해 나노 보이드 어레이 형성을 통한 절단방법 有权
    使用FEMTOSECOND脉冲激光器的纳米无线阵列形成的衬底定位方法

    公开(公告)号:KR1020110139007A

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:KR1020100059233

    申请日:2010-06-22

    Abstract: PURPOSE: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser is provided to improve the cutting and processing efficiency of a transparent material by forming nano-void array using femtosecond laser. CONSTITUTION: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser comprises next steps. A pole first grade femtosecond laser is condensed to a condensing lens(120) and radiates laser beam to a transparent material or substrate. The plasma defocusing is performed by multi-photon ionization. Self focusing is performed due by Kerr Lens. Nano-Void Array(210) is formed on a substrate and cut. The energy per pulse has the energy value on the substrate in order to become over the threshold energy 0.2uJ for the void formation.

    Abstract translation: 目的:提供一种通过飞秒激光切割纳米空心阵列形成的方法,通过使用飞秒激光形成纳米空穴阵列来提高透明材料的切割和加工效率。 构成:通过飞秒激光切割纳米空穴阵列形成的方法包括以下步骤。 极点一级飞秒激光被聚光到聚光透镜(120),并将激光束辐射到透明材料或基底。 等离子体散焦通过多光子电离进行。 由柯尔镜头进行自动对焦。 将纳米空心阵列(210)形成在基板上并切割。 每个脉冲的能量在衬底上具有能量值,以便对于空隙形成而超过阈值能量0.2uJ。

    비선형 편광 회전과 포화흡수체의 결합 모드잠금에 의해 생성되는 고출력 광섬유 펨토초 레이저 공진기
    13.
    发明公开
    비선형 편광 회전과 포화흡수체의 결합 모드잠금에 의해 생성되는 고출력 광섬유 펨토초 레이저 공진기 无效
    通过组合非线性极化旋转和可饱和吸收来生成高功率微波脉冲的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020140049994A

    公开(公告)日:2014-04-28

    申请号:KR1020140019281

    申请日:2014-02-19

    CPC classification number: H01S3/1121 G02B27/286 H01S3/06712

    Abstract: The present invention relates to a method and apparatus for generating high power femtosecond light pulses by combining nonlinear polarization rotation and saturable absorption. An apparatus for generating optical fiber femtosecond light pulses is an apparatus based on the optical fiber of a ring-type structure including a laser source. A nonlinear polarization rotation mode locking part generates ultrahigh frequency pulses with pulse shaping and is formed on the apparatus. A saturable absorption mode locking part performs the nonlinear filtering of the pulse amplitude, prevents the excessive nonlinear phenomenon of the apparatus, generates an initial pulse, and removes a dispersive wave generated from a soliton pulse.

    Abstract translation: 本发明涉及通过组合非线性偏振旋转和可饱和吸收来产生高功率飞秒光脉冲的方法和装置。 用于产生光纤飞秒光脉冲的装置是基于包括激光源的环型结构的光纤的装置。 非线性偏振旋转模式锁定部分产生具有脉冲整形的超高频脉冲并形成在该装置上。 可饱和吸收模式锁定部分执行脉冲幅度的非线性滤波,防止装置的过度非线性现象,产生初始脉冲,并去除由孤子脉冲产生的色散波。

    포화광 흡수체 거울과 광학 필터를 이용한 극초단 광섬유 레이저 공진기
    14.
    发明公开
    포화광 흡수체 거울과 광학 필터를 이용한 극초단 광섬유 레이저 공진기 有权
    基于可饱和吸收镜(SAM)和光学滤波器的超声波光纤激光共振器

    公开(公告)号:KR1020120138182A

    公开(公告)日:2012-12-24

    申请号:KR1020110057551

    申请日:2011-06-14

    CPC classification number: H01S3/06762 H01S3/0835 H01S3/1115

    Abstract: PURPOSE: A micro fiber laser resonator based on a saturable absorber mirror and an optical filter is provided to obtain a relatively high yield by providing a high repetition rate in comparison of a micro laser of a bulk type. CONSTITUTION: Output light from a pumping light source(301) comprising a laser diode is outputted through a light coupler from an oscillator. Pump light is absorbed in an ytterbium added optical fiber(303) while being entered in the oscillator through a wavelength splitter(300). Partial light is oscillated in output passing through a light coupler(302). The light oscillating the rest of the oscillator passes a wave plate(304) and a light shielding unit(305). A horizontal polarization component is clipped in both ends of a spectrum passing through an optical filter(306). The clipped horizontal polarization ingredient enters a lens(309) and a saturable absorber mirror(310) passing through a polarizing beam splitter(307) and a λ/4 wave plate(308).

    Abstract translation: 目的:提供一种基于可饱和吸收镜和光学滤波器的微光纤激光谐振器,通过提供大批量类型的微激光器提供高重复率来获得相对较高的产量。 构成:来自包括激光二极管的泵浦光源(301)的输出光从振荡器通过光耦合器输出。 在通过波长分离器(300)进入振荡器的同时,泵浦光被吸收在添加镱的光纤(303)中。 部分光在通过光耦合器(302)的输出中振荡。 振荡振荡器的光通过波片(304)和遮光单元(305)。 水平偏振分量在通过滤光器(306)的光谱的两端被限幅。 夹持的水平极化成分进入通过偏振分束器(307)和λ/ 4波片(308)的透镜(309)和可饱和吸收镜(310)。

    광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치
    15.
    发明授权
    광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치 有权
    光纤飞秒脉冲激光器的被动锁模过程自动化

    公开(公告)号:KR101155541B1

    公开(公告)日:2012-06-18

    申请号:KR1020100119979

    申请日:2010-11-29

    Abstract: 본 발명은 광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 소스를 구비한 링 캐비티(ring cavity) 구조를 갖는 공진기, 파장판과 편광판을 구비하고, 상기 공진기에 출력되는 펨토초 레이저를 입력받아 상기 파장판과 편광판의 회전각을 조절하여 모드잠금을 위한 편광을 조절하기 위한 자동편광조절부, 상기 공진기에서 출력되는 펨토초 레이저의 모드잠금 전/후의 스펙트럼 차이를 감지하여 모드잠금을 위한 신호를 감지하는 모드잠금감지부 및 상기 자동편광조절부와 모드잠금감지부를 프로그램에 의해 제어하여 모드잠금 신호를 감지하면 모드잠금하는 제어부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 광섬유 펨토초 레이저의 비선형 편광 횐전 방식의 모드잠금과정을 자동화하여 짧은 시간에 모드잠금시킬 수 있는 이점이 있다.

    광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치
    16.
    发明公开
    광섬유 펨토초 레이저의 모드잠금 자동화 장치 有权
    光纤飞秒脉冲激光器的被动锁模过程自动化

    公开(公告)号:KR1020120058275A

    公开(公告)日:2012-06-07

    申请号:KR1020100119979

    申请日:2010-11-29

    CPC classification number: H01S3/094026 G02B6/29361 H01S3/09415 H01S3/10061

    Abstract: PURPOSE: An automation device of a passive mode-locking process of optical fiber femtosecond pulse lasers is provided to allow the mode lock of optical fiber femtosecond lasers for a short time by automating a manual mode locking process of a nonlinear polarization rotation manner. CONSTITUTION: A resonator(100) has a ring cavity structure including a femtosecond laser source. An automatic polarization control unit(107) includes a wave plate and a polarizing plate. The automatic polarization control unit controls a rotation angle of the polarizing plate and the wave plate by receiving femtosecond lasers outputted from the resonator. The automatic polarization control unit controls polarized light for mode lock. A mode lock sensing unit(114) senses a signal for the mode lock by sensing a spectrum difference after or before the mode lock of the femtosecond lasers outputted from the resonator. A control unit(200) controls the automatic polarization control unit and the mode lock sensing unit with a program.

    Abstract translation: 目的:提供光纤飞秒脉冲激光器的被动锁模过程的自动化设备,通过自动化非线性偏振旋转方式的手动模式锁定过程,实现短时间内光纤飞秒激光器的锁模。 构成:谐振器(100)具有包括飞秒激光源的环腔结构。 自动偏光控制单元(107)包括波片和偏振片。 自动偏光控制单元通过接收从谐振器输出的飞秒激光来控制偏振板和波片的旋转角度。 自动偏振控制单元控制模式锁定的偏振光。 模式锁定感测单元(114)通过感测在从谐振器输出的飞秒激光器的模式锁定之后或之前的频谱差来感测用于模式锁定的信号。 控制单元(200)通过程序控制自动偏振控制单元和模式锁定感测单元。

    편광 레이저 빔 간의 간섭을 이용한 레이저 가공장치 및 가공방법
    17.
    发明公开
    편광 레이저 빔 간의 간섭을 이용한 레이저 가공장치 및 가공방법 有权
    激光加工设备和使用偏振激光束干涉的方法

    公开(公告)号:KR1020120039221A

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:KR1020100100804

    申请日:2010-10-15

    Abstract: PURPOSE: Laser processing apparatus and method using the interference between polarized light laser beams are provided to facilitate the control of processing a product, and to improve the process accuracy. CONSTITUTION: A laser processing method using the interference between polarized light laser beams comprises the following steps: locating the focus of a lens(103) on the surface or the inside of a product(104); radiating first and second lasers(203, 204) interfering each other to the lens; and changing the property of the product in the constructive interference space.

    Abstract translation: 目的:提供使用偏振光激光束之间的干涉的激光加工设备和方法,以便于处理产品的控制,并提高加工精度。 构成:使用偏振光激光束之间的干涉的激光加工方法包括以下步骤:将透镜(103)的焦点定位在产品(104)的表面或内部上; 辐射第一和第二激光器(203,204)彼此相对于所述透镜; 并在建设性的干扰空间中改变产品的财产。

    플라즈몬 공명을 이용한 레이저 가공장치 및 가공방법
    18.
    发明公开
    플라즈몬 공명을 이용한 레이저 가공장치 및 가공방법 有权
    激光加工设备和使用PLASMON共振的方法

    公开(公告)号:KR1020120039220A

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:KR1020100100802

    申请日:2010-10-15

    Abstract: PURPOSE: Laser processing apparatus and method using the plasmon resonance are provided to minimize the heat affected zone, the residual stress, and the debris on a processed product. CONSTITUTION: A laser processing apparatus(1) using the plasmon resonance includes an conductive material(102) and a laser generating unit(100). The laser generating unit irradiates the conductive material with laser(104) for generating the electric field from the conductive material. Electrons(401) of a processed product(103) disposed near the conductive material are extracted by the electric field.

    Abstract translation: 目的:提供使用等离子体共振的激光加工设备和方法,以最小化热影响区域,残余应力和加工产品上的碎屑。 构成:使用等离子体共振的激光加工装置(1)包括导电材料(102)和激光发生单元(100)。 激光发生单元用导体材料照射具有用于从导电材料产生电场的激光(104)的导电材料。 通过电场提取设置在导电材料附近的加工产品(103)的电子(401)。

    펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법
    19.
    发明公开
    펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법 有权
    使用FEMTOSECOND脉冲激光器的非线性焦点移位的基板定位方法

    公开(公告)号:KR1020110137032A

    公开(公告)日:2011-12-22

    申请号:KR1020100057009

    申请日:2010-06-16

    CPC classification number: B26F3/06 B23K26/382 H01S3/10

    Abstract: PURPOSE: A cutting method through the nonlinear focal shift of a femtosecond pulse laser is provided to efficiently cut and process a thin transparent material using a femtosecond pulse laser and a lens. CONSTITUTION: A cutting method through the nonlinear focal shift of a femtosecond pulse laser is as follows. A modified section is formed by plasma defocusing based on the multi-photon ionization of a femtosecond pulse laser(100) irradiated to a workpiece(200). The modified section is lengthened by moving the focus of the femtosecond pulse laser in the depth direction of the workpiece.

    Abstract translation: 目的:提供通过飞秒脉冲激光器的非线性焦点偏移的切割方法,以使用飞秒脉冲激光器和透镜来有效地切割和处理薄透明材料。 构成:通过飞秒脉冲激光器的非线性焦点偏移的切割方法如下。 基于照射到工件(200)的飞秒脉冲激光(100)的多光子电离,通过等离子体散焦形成修改部分。 通过在工件的深度方向上移动飞秒脉冲激光器的焦点,延长了修改部分。

    펄스 레이저 반복률 주사 기반 고속 고정밀 표면형상 측정 간섭계
    20.
    发明授权
    펄스 레이저 반복률 주사 기반 고속 고정밀 표면형상 측정 간섭계 有权
    通过调整脉冲激光的重复率,实现高速高精度表面测量干涉测量

    公开(公告)号:KR101379043B1

    公开(公告)日:2014-03-28

    申请号:KR1020110078215

    申请日:2011-08-05

    Abstract: 본 발명은 펄스 레이저 반복률 주사 기반 고속 정밀 표면형상 측정 간섭계 장치에 관한 것으로, 고안정도 시간/주파수 표준에 소급하여 고속으로 펄스 레이저의 반복률을 주사함으로써, 고단차 대영역 복잡 형상을 고속으로 정밀하게 측정하는 간섭계 장치에 관한 것이다. 본 발명은 반복률 고속 주사를 위한 전기광학소자 및 음향광학소자, 또는 주사 범위를 늘리기 위한 압전소자 및 모터 스테이지와 같은 반복률 제어 장치, 반복률 제어장치를 포함한 펄스 레이저 공진기, 공진기에서 발진하는 펄스의 반복률을 시간/주파수 표준에 소급된 주파수 측정기로 정밀하게 측정하고 제어하는 제어부, 제어 정확도를 보정하기 위한 시간/주파수 표준, 펄스 레이저를 이용하여 형상을 측정할 수 있는 간섭계, 획득한 간섭신호를 저장 및 분석하는 처리장치를 포함한다. 본 발명은 종래의 광학 형상측정기술에서 기계적 주사방식 혹은 파장 주사를 분광방식 기반의 측정방법이 고단차 복잡형상 측정 및 측정 속도에 있어서 가지는 한계를 극복하기 위해, 펄스 레이저의 반복률을 주사속도 및 주사범위를 향상시킴으로써, 고단차 복잡형상을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는, 표면형상 측정용 간섭계를 제공하고자 한다.

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