Abstract:
본 발명은 처프 광섬유 브래그 격자 쌍을 이용한 광대역 고속 반복률 주사 광섬유 펨토초 레이저 공진기에 관한 것으로, 광섬유 펨토초 레이저 공진기이며, 상기 펨토초 레이저 공진기는 광섬유 기반의 부품으로 구성된 레이저 공진기로 구성되고, 모드 잠금을 구현하는 광섬유 기반의 포호흡수체 모드잠금부, 비선형 편광 회전 모드잠금부 및 상기 펨토초 레이저 공진기의 반복률을 조절하기 위한 반복률 주사부를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 광섬유 펨토초 레이저 공진기는, 링타입(Ring-type)의 광섬유 공진기이며 링캐비티(Ring cavity) 구조를 가지며, 공진기의 이득 매질을 구현하는 희토류 첨가 광섬유, 이득 매질의 흡수 광 파장에 해당하는 광을 출력하는 다이오드 레이저, 상기 다이오드 레이저에서 발진된 광을 희토류 첨가 광섬유로 입사시켜주는 파장 분할 다중화기, 비선형 편광 회전에서 커 미디움(Kerr medium)을 담당하는 단일모드광섬유, 상기 공진기 내 생성된 펄스를 단방향으로 진행시키는 광잡음을 줄여주는 광섬유 아이솔레이터, 공진기 반복률의 안정화를 위한 피에조 소자(PZT) 및 출력단을 구성하는 광커플러를 포함하여 구성된다.
Abstract:
본 발명은 펨토초 레이저의 광빗을 이용한 대기 중의 위상 노이즈의 자동 보상을 통한 자유공간 가간섭 광통신 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 펨토초 레이저 광빗으로부터 생성된 송신광의 반사광으로부터 대기외란에 의한 위상 천이값을 획득하고 송신광을 위상 천이값에 따라 전치왜곡(pre-distortion)함으로써, 대기외란에 의한 위상 노이즈를 송신단에서 미리 보상하는 펨토초 레이저의 광빗을 이용한 대기 중의 위상 노이즈의 자동 보상을 통한 자유공간 가간섭 광통신 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 펨토초 레이저의 광빗을 이용한 대기 중의 위상 노이즈의 자동 보상을 통한 자유공간 가간섭 광통신 장치는 제1광원부, 제2광원부, 변조부, 보상부, 광송신부 및 광수신부를 포함할 수 있다. 제1광원부는 자유공간의 대기외란을 측정하는 제1 레이저광을 출력하고, 제2광원부는 데이터를 전송하는 제2 레이저광을 출력한다. 그리고, 변조부는 기 설정된 변조방식으로 제2 레이저광을 변조하여, 변조광을 생성하며, 보상부는 변조광과 제1 레이저광이 입력되고, 변조광과 제1 레이저광을 중첩한 중첩광을 전치왜곡(pre-distortion)하여 송신광을 생성한다. 마지막으로 광송신부는 송신광을 자유공간을 경유하여 수신기에 송신하고, 광수신부는 송신광이 수신기에 반사되어 입사되는 반사광을 수신한다. 여기서, 보상부는 제1 레이저광과 반사광이 더 입력되고, 반사광과 기준광을 비교하여 상기 자유공간의 대기외란을 측정하고, 측정된 상기 대기외란에 근거하여 중첩광을 전치왜곡한다.
Abstract:
본 발명은 광빗에서 직접적으로 추출된 광모드를 이용하여 펨토초레이저의 광빗이 갖는 전체적 주파수의 안정화를 구현하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 광빗에서 직접적으로 추출된 광모드를 이용하여 펨토초 레이저(femtosecond laser)의 광빗(optical comb)의 전체적인 주파수를 안정화하고 안정화된 광빗으로부터 우수한 주파수 안정도와 선폭을 갖는 단색광 레이저 및 펄스를 생성하는 광빗에서 직접적으로 추출된 광모드를 이용하여 펨토초레이저의 광빗이 갖는 전체적 주파수의 안정화를 구현하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광빗에서 직접적으로 추출된 광모드를 이용하여 펨토초레이저의 광빗이 갖는 전체적 주파수의 안정화를 구현하는 장치는 펨토초레이저 광원, 광모드추출부, 주입잠금부 및 제어부를 포함할 수 있다. 펨토초레이저 광원은 펌핑레이저 또는 음향광학변조기 가운데 선택된 하나와 길이조절소자가 구비되며 펨토초레이저 광빗을 출력한다. 광모드추출부는 펨토초레이저 광빗으로부터 서로 다른 주파수를 가지는 제1-광모드와 제2-광모드를 추출하고, 주입잠금부는 제1-광모드를 제1-종속레이저에 주입잠금하여 제1-단색광을 생성하고, 제2-광모드를 제2-종속레이저에 주입잠금하여 제2-단색광을 생성한다. 마지막으로 고예리도-공동이 구비된 제어부는 제1-단색광과 고예리도-공동의 공진주파수에 근거한 제1-광빗 제어신호를 생성하여 길이조절소자를 제어하고, 제2-단색광과 고예리도-공동의 공진주파수에 근거한 제2-광빗 제어신호를 생성하여 펨토초레이저 광원에 구비된 펌핑레이저 또는 상기 음향광학변조기를 제어한다.
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본 발명은 프리러닝하는 펨토초 레이저에서 주파수 모드간의 간섭으로 생성된 긴 파장의 합성파의 파장과 위상을 실시간으로 측정함으로써 고분해능으로 긴 거리를 측정하는 프리러닝 펨토초 레이저 기반의 실시간 합성파 결정을 이용한 거리측정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 거리측정 장치에서, 프리러닝 펨토초 레이저 광원은 레이저 광을 방사하고, 광분할기는 프리러닝 펨토초 레이저 광원으로부터 방사되는 레이저 광을 기준광과 측정표적으로부터 반사되는 측정광으로 분리하며, 기준용 광검출기와 측정용 광검출기는 기준광과 측정광을 각각 검출하여 전기적 신호로 변환한다. 그리고 주파수 측정부는 프리러닝 펨토초 레이저의 반복률을 측정함과 동시에 추출하고자 하는 합성파의 차수를 결정하고, 위상 측정부는 검출된 기준광 및 측정광을 상기 고주파 신호와 각각 합성하여 합성된 기준광과 합성된 측정광 간의 위상차를 측정하고, 거리 산출부는 반복률, 합성파의 차수 및 위상차을 이용하여 상기 광분할기와 상기 측정표적간의 거리정보를 산출한다.
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본 발명은 레이저 소스로부터 10 fs ~ 10 ps의 펄스폭을 가지며, 중심 파장이 하기 투명시편의 투과 대역에 해당하는 극초단 펄스 레이저 빔을 생성하여 포커싱함으로써 집속점을 형성하는 단계, 상기 집속점이 투명시편의 양쪽 표면의 안쪽 내부영역에 위치되도록 상기 펄스 레이저 빔의 집속점을 위치시킴으로써, 상기 포커싱된 펄스 레이저 빔에 의해 투명시편 내부로 에너지가 전달되도록 하는 단계 및 원하는 형태의 절단선을 따라 상기 집속점 또는 투명시편을 상대이동시킴으로써, 투명시편상에 크랙이 상기 집속점의 이동 라인과 간격을 두고 이격되어 전파되는 것을 포함하도록, 크랙이 생성되어 전파되는 단계;를 포함하는 투명시편의 가공 방법과 상기 투명시편을 가공하기 위한 다이싱 장치에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 펄스 레이저 반복률 주사 기반 고속 정밀 표면형상 측정 간섭계 장치에 관한 것으로, 고안정도 시간/주파수 표준에 소급하여 고속으로 펄스 레이저의 반복률을 주사함으로써, 고단차 대영역 복잡 형상을 고속으로 정밀하게 측정하는 간섭계 장치에 관한 것이다. 본 발명은 반복률 고속 주사를 위한 전기광학소자 및 음향광학소자, 또는 주사 범위를 늘리기 위한 압전소자 및 모터 스테이지와 같은 반복률 제어 장치, 반복률 제어장치를 포함한 펄스 레이저 공진기, 공진기에서 발진하는 펄스의 반복률을 시간/주파수 표준에 소급된 주파수 측정기로 정밀하게 측정하고 제어하는 제어부, 제어 정확도를 보정하기 위한 시간/주파수 표준, 펄스 레이저를 이용하여 형상을 측정할 수 있는 간섭계, 획득한 간섭신호를 저장 및 분석하는 처리장치를 포함한다. 본 발명은 종래의 광학 형상측정기술에서 기계적 주사방식 혹은 파장 주사를 분광방식 기반의 측정방법이 고단차 복잡형상 측정 및 측정 속도에 있어서 가지는 한계를 극복하기 위해, 펄스 레이저의 반복률을 주사속도 및 주사범위를 향상시킴으로써, 고단차 복잡형상을 고속으로 정밀하게 측정할 수 있는, 표면형상 측정용 간섭계를 제공하고자 한다.