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公开(公告)号：KR100943971B1
公开(公告)日：2010-02-26
申请号：KR1020080062548
申请日：2008-06-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2201/30415 , H01J2201/30453 , H01J2203/0228 , H01J2329/0418 , H01J2329/0444 , H01J2329/4626
Abstract: 본 발명에 의한 탄소 미세 구조물을 갖는 전계방출 어레이의 제조방법은 투명 기판의 표면에 패턴 홈을 갖는 포토 마스크를 부착하는 포토 마스크 부착단계와, 포토 마스크의 표면에 네가티브 포토레지스트를 부착하는 포토레지스트 부착단계와, 투명 기판의 포토 마스크가 부착된 부분의 반대쪽에서 빛을 조사하여 패턴 홈을 통해 네가티브 포토레지스트로 조사되는 빛으로 네가티브 포토레지스트의 일부를 경화시키는 노광 단계와, 네가티브 포토레지스트의 노광되지 않은 부분을 제거하여 네가티브 포토레지스트가 경화되어 이루어진 미세 구조물을 형성하는 현상 단계와, 미세 구조물을 가열하여 탄화시키는 열분해 단계와, 미세 구조물이 형성된 투명 기판의 표면에 전압 공급을 위한 캐소드를 부착하는 캐소드 부착단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 전자 방출소자로 사용되는 탄소 미세 구조물을 간편하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100914648B1
公开(公告)日：2009-08-28
申请号：KR1020070107743
申请日：2007-10-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 점자 출력 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저렴한 비용으로 소형으로 제작할 수 있으며 용이하게 점자를 인식할 수 있는 점자 출력 모듈 및 이를 구비하는 점자 출력 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 점자 출력 모듈과 점자 출력 장치는 MEMS 공정을 이용하여 제작함으로써, 점자 출력 모듈을 휴대하기 편리한 소형으로 저렴하게 제작할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 점자 출력 장치는 출력하고자 하는 문자가 입력되는 입력부와 입력된 문자를 점자로 변환하는 변환부를 구비함으로써, 다양한 디지털 기기로부터 입력되는 문자를 용이하게 점자로 변환하여 출력할 수 있다.
점자, 점자 출력, MEMS-
公开(公告)号：KR101776482B1
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：KR1020160040179
申请日：2016-04-01
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01M14/00 , H01M6/40 , H01M10/04 , H01L31/0224 , H02S40/38
CPC classification number: H01M14/00 , H01L31/022466 , H01M6/40 , H01M2010/0495 , H02S40/38 , Y02P70/54
Abstract: 본발명에따른경화층을이용한유연투명배터리제조방법은미세패턴(15)이형성된몰드(10) 상에상기미세패턴(15)을채우도록극성물질(20)을도포하는단계; 상기몰드(10)의표면상에서상기극성물질(20)을제거하여상기미세패턴(15) 내에만상기극성물질(20)을잔존하게하는단계; 상기극성물질(20)이충전된상태의상기미세패턴(15)을채우도록상기몰드(10) 상에전도성잉크(30)를도포하는단계; 상기몰드(10)의표면상에서상기전도성잉크(30)를제거하여상기미세패턴(15) 내의상기극성물질(20) 상부에상기전도성잉크(30)를잔존하게하는단계; 액체상태의경화성물질(40)을상기몰드(10)와상기미세패턴(15)의상부를덮도록코팅하는단계; 상기경화성물질(40) 상에기판(50)과접합시키고경화시키는단계; 및상기몰드(10)를제거하여상기기판(50)에상기몰드(10)의역상으로이루어진배터리전극구조체를전사하는단계;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160072869A
公开(公告)日：2016-06-24
申请号：KR1020140180260
申请日：2014-12-15
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H03J1/00
CPC classification number: H03J1/00 , C22C26/00 , G01Q80/00 , H03J1/0008 , H03J1/0016 , Y10S977/00 , Y10S977/70
Abstract: 본발명은나노라디오에관한것으로서, 더욱상세하게는, 다양한고유주파수를가진복수의나노필러의공진을이용하여특정방송주파수를선택할수 있는튜너나노라디오에관한것이다. 본발명에따른튜너나노라디오의일실시예는고정된일단과자유단을구비하며, 서로다른고유진동수를가진복수의나노필러(pillar)와, 상기복수의나노필러각각에전기적으로연결되는복수의제1전극과, 상기복수의나노필러의자유단각각으로부터이격된상태로배치되는복수의제2전극과, 상기복수의나노필러의자유단과상기제2전극사이에전기장이형성되도록, 상기제1전극과제2전극사이에바이어스전압을인가하는전원과, 상기복수의나노필러의자유단과상기제2전극사이에형성된전기장에의한각각의전계방출전류의변화를통해서상기복수의나노필러중에서외부의전자기파와공진을일으키는나노필러를확인하는검출기를포함한다. 본발명에따른튜너나노라디오는고유주파수가다른복수의탄소나노튜브를이용하여넓은주파수범위에서특정한방송주파수를자유롭게선택할수 있다.
Abstract translation: 纳米无线电技术领域本发明涉及一种纳米无线电装置，更具体地，涉及一种通过使用具有各种固有频率的多个纳米支柱的谐振来选择特定广播频率的调谐器纳米无线电装置。 根据本发明的调谐器纳米无线电装置的一个实施例包括：多个纳米支柱具有固定的一端和自由端，并且具有不同的固有频率; 分别电连接到所述多个纳米柱的多个第一电极; 多个第二电极，其定位成与纳米柱的每个自由端分离; 电源，其在所述第一电极和所述第二电极之间施加偏置电压，使得在所述纳米柱和所述第二电极的自由端之间产生电场; 通过在多个纳米柱的自由端和第二电极之间产生的电场的每个电场发射电流的变化来确认在多个纳米柱之间引起与外部磁波共振的纳米柱的检测器 。 根据本发明的调谐器纳米无线电装置可以通过使用具有不同固有频率的多个碳纳米管，在宽的频率范围内自由选择特定的广播频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101422087B1
公开(公告)日：2014-07-28
申请号：KR1020070101956
申请日：2007-10-10
IPC: H03M1/12
Abstract: AD 컨버터 및 그 전압검출소자가 제공된다. 본 AD 컨버터는, 공진기의 공진 주파수를 이용하여 입력전압의 크기에 따라 결정된 공진 주파수의 신호를 출력하는 적어도 하나의 전압측정소자를 포함하고, 전압측정소자에서 출력된 출력신호에 따라 디지털 출력값을 결정한다. 이에 따라, 보다 낮은 전력을 소모하면서 고 분해능과 고 스피드를 구현할 수 있는 AD 컨버터를 제공할 수 있게 된다.
공진기, 공진 주파수, BPF, AD 컨버터-
公开(公告)号：KR101012617B1
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020080122365
申请日：2008-12-04
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 일실시예에 의한 음향변환소자는, 개구를 갖는 실리콘 기판과, 개구를 덮도록 실리콘 기판 위에 배치된 탄성중합체 박막과, 탄성중합체 박막에 결합된 도선패턴과, 도선패턴에 전류를 공급하기 위해 도선패턴에 연결된 연결패턴을 포함한다. 탄성중합체 박막은 개구에 탄성변형 가능하게 배치된 진동부를 갖고, 도선패턴은 외부 자기장과의 상호 전자기적 작용으로 진동부를 탄성 변형시켜 음파를 발생시킨다. 본 발명에 의하면, 변형량이 큰 탄성중합체 박막을 진동판으로 사용함으로써, 음향기기의 출력을 높일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020100002598A
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：KR1020080062548
申请日：2008-06-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2201/30415 , H01J2201/30453 , H01J2203/0228 , H01J2329/0418 , H01J2329/0444 , H01J2329/4626
Abstract: PURPOSE: A field emission array having carbon microstructure and method of manufacturing the same are provided to obtain high aspect ratio. CONSTITUTION: The photomask having the pattern groove in the surface of the transparent substrate(10) is attached. The negative photoresist is attached to the surface of photomask. In the opposite side of the part attaching to the photomask of the transparent substrate, the light is researched. A part of the negative photoresist hardens to the light researched through the pattern groove as the negative photoresist. The part which is not exposed to the negative photoresist is removed. The microstructure is heated and is carbonized. The cathode(33) for the voltage support is attached to the surface of the transparent substrate.
Abstract translation: 目的：提供具有碳微观结构的场致发射阵列及其制造方法以获得高纵横比。 构成：在透明基板（10）的表面具有图形槽的光掩模被安装。 负光致抗蚀剂附着在光掩模的表面。 在与透明基板的光掩模相连的部分的相对侧，研究光。 负光致抗蚀剂的一部分硬化到通过图案凹槽研究的光作为负光致抗蚀剂。 去除不暴露于负性光致抗蚀剂的部分。 微观结构被加热并被碳化。 用于电压支撑件的阴极（33）附接到透明基板的表面。
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公开(公告)号：KR1020090036742A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：KR1020070101956
申请日：2007-10-10
IPC: H03M1/12
Abstract: An A/D converter and a voltage measuring device thereof are provided to reduce voltage consumption and obtain high resolution by using a resonator of an MEMS(Micro Electro-Mechanical System) structure. An A/D converter includes at least one voltage measuring device and a digital signal generator. The voltage measuring device outputs the signal of the frequency determined according to the size of an input voltage. A digital signal generator determines the digital output value according to the output signal outputted from the voltage measuring device. The voltage measuring device includes a membrane(110), a resonator(130), and a detector(150). The input voltage is applied to the membrane. The resonant frequency of the resonator is changed according to the size of the input voltage applied to the membrane. The detector outputs the signal of the same frequency as the resonant frequency.
Abstract translation: 提供A / D转换器及其电压测量装置，以通过使用MEMS（微机电系统）结构的谐振器来降低电压消耗并获得高分辨率。 A / D转换器包括至少一个电压测量装置和数字信号发生器。 电压测量装置输出根据输入电压的大小确定的频率的信号。 数字信号发生器根据从电压测量装置输出的输出信号来确定数字输出值。 电压测量装置包括膜（110），谐振器（130）和检测器（150）。 输入电压施加到膜上。 谐振器的谐振频率根据施加到膜的输入电压的大小而改变。 检测器输出与谐振频率相同频率的信号。
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公开(公告)号：KR100619478B1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：KR1020050022564
申请日：2005-03-18
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , H04R7/04
Abstract: 본 발명은 원형 진동판을 갖는 마이크로 음향소자 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 원형 진동판을 갖는 마이크로 음향소자는 실리콘 웨이퍼 상면에서 원형의 주위에 도핑된 붕소 도핑층과, 붕소 도핑층을 경계로 하여 함몰홈이 형성된 실리콘 웨이퍼와, 실리콘 웨이퍼 상에 저압화학기상증착된 실리콘 질화막으로 구성되는 제1절연막과, 제1절연막 상에 형성된 하부 도넛형 전극, 및 하부 도넛형 전극과 전기적으로 연결되는 하부 단자 전극으로 구성되는 하부 전극과, 하부 전극 상에 적층된 제2절연막과, 제2절연막 상에 형성된 압전 박막과, 압전 박막 상에 형성된 상부 도넛형 전극, 및 상부 도넛형 전극과 전기적으로 연결되는 상부 단자 전극으로 구성되는 상부 전극으로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 오랜 기간동안의 사용에도 구조적으로 파괴 등이 발생하지 않도록 내구성이 우수하고, 내부응력이 낮은 실리콘 질화막을 원형의 진동판으로 제작함으로써 진동에 의한 신호특성을 다른 형태의 진동판에 비하여 높게 할 수 있으며, 식각정지층으로서 붕소 도핑층을 사용하함으로써 원형의 진동판을 용이하게 제작할 수 있다.
실리콘, 진동판, 음향소자, 붕소, 멤브레인, 전극, 단자, 절연막Abstract translation: 本发明公开了一种具有圆形隔膜的微型声学装置及其制造方法。 微具有圆形振动板根据所述声学设备是在硅晶片上的低压化学汽相淀积，硅晶片按压槽由所述掺硼的层的边界形成的本发明，和硼掺杂层在硅晶片的上表面上围绕圆掺杂 一个和由氮化硅膜，在形成于环形电极下方的第一绝缘膜，和由下端子电极的下环形下部电极连接到电极并且电和，堆叠在下部电极的第一绝缘膜，所述第二 由绝缘膜的，由上端电极的上电极是一压电薄膜和所述第二绝缘膜，形成在压电薄膜的上环形电极和上部电极电连接到形成环形。 因此，本发明提供一种具有高耐久性和低内应力的圆形振动板，从而即使在长时间使用时也不会在结构上受到破坏， 并且通过使用硼掺杂层作为蚀刻停止层可以容易地制造圆形隔膜。
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