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公开(公告)号：KR101094165B1
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020090099798
申请日：2009-10-20
Abstract: 본 발명은 터치 패널에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 압저항 방식의 터치 패널에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 터치 패널을 제조하는 방법에 있어서, 압력에 따라서 저항값이 변화하는 압저항(Piezoresistive) 필름 패턴이 매립되어 있는 폴리머 막을 제조하는 단계; 스페이서(spacer) 층을 제조하여, 상기 폴리머 막의 일면에 부착하는 단계; 상기 스페이서 층의 일면에 하판(bottom substrate)을 부착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압저항 방식의 터치 패널의 제조방법이 제공된다.
압저항, 터치 스크린, 터치 패드-
2.发明公开
公开(公告)号：KR1020110042924A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020090099798
申请日：2009-10-20
CPC classification number: G06F3/0414 , G06F3/0412 , G06F3/045 , G06F2203/04103
Abstract: PURPOSE: A pressure sensor for a piezoresistive-type touch panel and a method for manufacturing the same are provided to vary resistance value according to a pressure on the pressure sensor. CONSTITUTION: A piezoresistive film pattern senses the variation of a resistance value by the pressure variation. A polymer film(26) includes the piezoresistive film pattern. A spacer layer(31) is attached to a single-side of the polymer layer. A bottom substrate(30) is attached to a single-side of the spacer layer.
Abstract translation: 目的：提供一种用于压阻式触摸面板的压力传感器及其制造方法，以根据压力传感器上的压力改变电阻值。 构成：压阻薄膜图案通过压力变化来检测电阻值的变化。 聚合物膜（26）包括压阻膜图案。 间隔层（31）附着在聚合物层的单面上。 底部衬底（30）附接到间隔层的单侧。
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公开(公告)号：KR100943971B1
公开(公告)日：2010-02-26
申请号：KR1020080062548
申请日：2008-06-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2201/30415 , H01J2201/30453 , H01J2203/0228 , H01J2329/0418 , H01J2329/0444 , H01J2329/4626
Abstract: 본 발명에 의한 탄소 미세 구조물을 갖는 전계방출 어레이의 제조방법은 투명 기판의 표면에 패턴 홈을 갖는 포토 마스크를 부착하는 포토 마스크 부착단계와, 포토 마스크의 표면에 네가티브 포토레지스트를 부착하는 포토레지스트 부착단계와, 투명 기판의 포토 마스크가 부착된 부분의 반대쪽에서 빛을 조사하여 패턴 홈을 통해 네가티브 포토레지스트로 조사되는 빛으로 네가티브 포토레지스트의 일부를 경화시키는 노광 단계와, 네가티브 포토레지스트의 노광되지 않은 부분을 제거하여 네가티브 포토레지스트가 경화되어 이루어진 미세 구조물을 형성하는 현상 단계와, 미세 구조물을 가열하여 탄화시키는 열분해 단계와, 미세 구조물이 형성된 투명 기판의 표면에 전압 공급을 위한 캐소드를 부착하는 캐소드 부착단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 전자 방출소자로 사용되는 탄소 미세 구조물을 간편하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101065280B1
公开(公告)日：2011-09-19
申请号：KR1020080116767
申请日：2008-11-24
IPC: H01L29/84
Abstract: 본 발명에 의한 유연소자의 제조방법은 기판 위에 중간막을 형성하는 단계와, 중간막 위에 탄소나노튜브 막을 적층하는 단계와, 탄소나노튜브 막을 패터닝하여 중간막 위에 탄소나노튜브 패턴을 형성하는 단계와, 중간막 위에 폴리머 용액을 도포한 후 경화시켜 탄소나노튜브 패턴을 포함하는 폴리머 막을 형성하는 단계와, 탄소나노튜브 패턴을 갖는 폴리머 막을 중간막으로부터 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의한 유연소자는, 그 제조가 폴리머의 분해 및 녹는 온도 미만에서 수행되므로, 제조 비용을 줄일 수 있고, 대량생산이 가능하다.
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公开(公告)号：KR101016007B1
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：KR1020080062547
申请日：2008-06-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G03F7/00 , B81B2203/0361 , B81B2207/056 , B81C1/00111 , B81C2201/0159 , G03F7/2014
Abstract: 본 발명에 의한 고종횡비 미세 구조물의 제조방법은, 투명 기판의 표면에 패턴 홈을 갖는 포토 마스크를 부착하는 포토 마스크 부착단계와, 포토 마스크의 표면에 네가티브 포토레지스트를 부착하는 포토레지스트 부착단계와, 투명 기판의 포토 마스크가 부착된 부분의 반대쪽에서 빛을 조사하여 패턴 홈을 통해 네가티브 포토레지스트로 조사되는 빛으로 네가티브 포토레지스트의 일부를 경화시키는 노광 단계와, 네가티브 포토레지스트의 노광되지 않은 부분을 제거하여 네가티브 포토레지스트가 경화되어 이루어진 미세 구조물을 드러내는 현상 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 포토리소그라피 공정을 이용하여 미세 구조물을 저렴하고 간편하게 제조할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100927617B1
公开(公告)日：2009-11-23
申请号：KR1020070121048
申请日：2007-11-26
CPC classification number: B81C1/00142 , B81B2201/0214 , B82Y15/00 , G01N33/48707
Abstract: Provided is a method for manufacturing a sensor portion of a biosensor used in detecting biomolecules. The method includes the steps of: applying a photo- sensitive material on a substrate; lithographically etching the photo- sensitive material to form a nano-size sensor portion precursor; and pyrolyzing the sensor portion precursor to form a sensor portion composed of conductive carbon.
Abstract translation: 提供一种用于制造用于检测生物分子的生物传感器的传感器部分的方法。 该方法包括以下步骤：在衬底上施加光敏材料; 光刻蚀刻所述光敏材料以形成纳米尺寸传感器部分前体; 并且热解传感器部分前体以形成由导电碳构成的传感器部分。
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公开(公告)号：KR1020090054267A
公开(公告)日：2009-05-29
申请号：KR1020070121047
申请日：2007-11-26
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , B82Y35/00
CPC classification number: G01N27/3278 , B82Y15/00
Abstract: 본 발명은 생체 분자를 검출하는 바이오 센서에 관한 것으로, 보다 구체적으로 나노 크기로 제조된 열분해 탄소 성분의 감지부를 구비하는 바이오 센서에 관한 것이다.
본 발명에 따른 바이오 센서는 사진식각 공정을 통해 나노 크기의 감지부 패턴을 형성하고 형성한 감지부 패턴을 열분해하여 탄소 성분의 감지부를 형성함으로써, 나노 크기의 감지부를 구비하는 바이오 센서를 간단한 공정으로 저렴하게 제조할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 바이오 센서는 감지부와 생체 분자의 접촉을 용이하도록 하기 위한 노출창을 구비하고 있으며 감지부와 기판 사이에 빈 공간층을 형성함으로써, 생체 분자를 정확하게 검출할 수 있다.
바이오 센서, MEMS, Bio-MEMS, 열분해 탄소, 사진식각-
公开(公告)号：KR1020100058083A
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：KR1020080116767
申请日：2008-11-24
IPC: H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A flexible device using a carbon nanotube and a method for manufacturing the same are provided to progress a mass production by sufficiently utilizing the flexibility, transparency, and electric insulating properties of a polymer. CONSTITUTION: An intermediate layer is formed on a substrate. A carbon nanotube film is formed on the intermediate layer. A carbon nanotube pattern(25) is formed on the intermediate layer. A polymer layer(26) which includes the carbon nanotube pattern is formed by spreading and solidifying a polymer solution on the intermediate layer. The polymer layer with the carbon nanotube pattern is separated from the intermediate layer.
Abstract translation: 目的：提供使用碳纳米管的柔性装置及其制造方法，通过充分利用聚合物的柔软性，透明性和电绝缘性来进行批量生产。 构成：在基板上形成中间层。 在中间层上形成碳纳米管膜。 在中间层上形成碳纳米管图案（25）。 通过在中间层上铺展固化聚合物溶液而形成包含碳纳米管图案的聚合物层（26）。 具有碳纳米管图案的聚合物层与中间层分离。
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公开(公告)号：KR1020100002598A
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：KR1020080062548
申请日：2008-06-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J31/127 , H01J63/02 , H01J2201/30415 , H01J2201/30453 , H01J2203/0228 , H01J2329/0418 , H01J2329/0444 , H01J2329/4626
Abstract: PURPOSE: A field emission array having carbon microstructure and method of manufacturing the same are provided to obtain high aspect ratio. CONSTITUTION: The photomask having the pattern groove in the surface of the transparent substrate(10) is attached. The negative photoresist is attached to the surface of photomask. In the opposite side of the part attaching to the photomask of the transparent substrate, the light is researched. A part of the negative photoresist hardens to the light researched through the pattern groove as the negative photoresist. The part which is not exposed to the negative photoresist is removed. The microstructure is heated and is carbonized. The cathode(33) for the voltage support is attached to the surface of the transparent substrate.
Abstract translation: 目的：提供具有碳微观结构的场致发射阵列及其制造方法以获得高纵横比。 构成：在透明基板（10）的表面具有图形槽的光掩模被安装。 负光致抗蚀剂附着在光掩模的表面。 在与透明基板的光掩模相连的部分的相对侧，研究光。 负光致抗蚀剂的一部分硬化到通过图案凹槽研究的光作为负光致抗蚀剂。 去除不暴露于负性光致抗蚀剂的部分。 微观结构被加热并被碳化。 用于电压支撑件的阴极（33）附接到透明基板的表面。
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公开(公告)号：KR100927616B1
公开(公告)日：2009-11-23
申请号：KR1020070121047
申请日：2007-11-26
IPC: G01N27/407 , G01N33/00 , B82Y35/00
CPC classification number: G01N27/3278 , B82Y15/00
Abstract: Provided is a biosensor for detecting biomolecules. The biosensor includes a sensor portion for making contact with biomolecules to be detected, an electrode for supplying an electric current to the sensor portion and a connector portion for electrically interconnecting the sensor portion and the electrode. The sensor portion is made from a pyrolyzed photo-sensitive sensor portion precursor obtained through a lithography process.
Abstract translation: 提供了用于检测生物分子的生物传感器。 生物传感器包括用于与待检测的生物分子接触的传感器部分，用于向传感器部分供应电流的电极以及用于将传感器部分与电极电互连的连接器部分。 传感器部分由通过光刻工艺获得的热解的光敏传感器部分前体制成。
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