公开(公告)号：KR1019990066141A

公开(公告)日：1999-08-16

申请号：KR1019980001800

申请日：1998-01-22

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  이재덕 ,  한철희 ,  김충기 ,  서두원

IPC: B41J2/01

Abstract: 단일의 금속 도금을 이용하여 바람직한 형상 및 균일한 크기로 형성된 다수의 잉크 분사구를 구비함으로써 생산성이 우수하고 제조 비용이 저렴한 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법이 개시되어 있다. 본 발명의 제 1 실시 예에 따르면, 기존의 금속 배리어 층과 노즐판이 통합된 개선된 금속 배리어 층을 형성함에 있어서, 전해 도금법 또는 무전해 도금법을 이용하여 바탕 금속층 상에 니켈(Ni) 도금을 계속적으로 실시하여 제 1 포토레지스트 몰드의 상부는 니켈(Ni) 도금 층에 의해서 완전하게 덮혀지고 제 2 포토레지스트 몰드의 상부는 넘쳐 흐른 니켈(Ni) 도금층에 의해서 완전히 덮히지 않고 소정의 크기와 모양으로 열려서 잉크 분사구를 형성한다. 본 발명의 제 2 실시 예에 따르면, 분사구가 형성될 위치에 제 3 포토레지스트 몰드를 돌출 형성함으로써, 넘쳐 흐른 니켈(Ni) 도금 층이 제 3 포토레지스트 몰드 주위로 수렴되어 분사구를 형성한다. 잉크 분사구는 잉크의 최적 분사에 맞게 고안된 모양, 균일한 크기 및 높은 단면 수직비를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020010096919A

公开(公告)日：2001-11-08

申请号：KR1020000020596

申请日：2000-04-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01P15/121 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0891

Abstract: 본 발명은 측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 기존의 전계 방출을 이용한 가속도 센서는 수직형 전계 방출을 이용하기 때문에 1-축에 대한 가속도 밖에 측정 할 수 없었다. 그렇지만 본 발명에서는 측면 전계 방출을 이용하기 때문에 2-축에 대한 가속도를 동시에 측정할 수 있다. 화학 기계적 연마방식을 이용하여 탐침 간격이 매우 좁은 탐침 전극을 제조하기 때문에 낮은 전압에서 동작을 하게 되고 또한 기존의 높은 전압에 의한 정전기력을 이용하여 탐침을 가까이 가져오는 단계가 필요하지 않게 된다. 전계 방출을 이용하면 다른 방식의 가속의 감지 방법에 비해서 높은 감지도와 민감도를 가진다.

公开(公告)号：KR100374204B1

公开(公告)日：2003-03-04

申请号：KR1020000023620

申请日：2000-05-03

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이재덕 ,  한철희 ,  이춘섭 ,  천기철

IPC: B41J2/145

CPC classification number: B41J2/1607 ,  B41J2/14072 ,  B41J2/15 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/2128 ,  B41J2202/13

Abstract: A high-speed, high-resolution inkjet printhead. At least two ink-supply paths used to supply ink to the ink chamber are arranged on the substrate in a two-dimensional array. The present invention overcomes the disadvantages of conventional inkjet printheads, i.e., low degree of integration arising from nozzles aligned in a line around a single ink-supply path. Thus, according to the present invention, a large number of nozzles can be integrated on the substrate, thus resulting in high-speed, high-resolution printing.

Abstract translation: 高速，高分辨率的喷墨打印头。 用于将墨供应到墨室的至少两个墨供应路径以二维阵列布置在基板上。 本发明克服了常规喷墨打印头的缺点，即，由围绕单个墨水供应路径排成一行的喷嘴产生的低集成度。 因此，根据本发明，可以在基底上集成大量的喷嘴，从而导致高速，高分辨率的印刷。

公开(公告)号：KR1020010107232A

公开(公告)日：2001-12-07

申请号：KR1020000028569

申请日：2000-05-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: H01J9/24

Abstract: 본 발명은 화학적 기계적 연마(Chemical-Mechanical-Polishing: CMP) 방법을 이용한 측면형 전계 방출 소자의 제조방법에 관한 것이다. 기존의 측면형 전계 방출 소자는 열적 스트레스 방법이나 전기적 스트레스를 이용하여 제조하기 때문에 전계 방출을 위한 간격의 재현성에 문제가 있는데 반하여, 본 발명에서는 전계 방출 소자 탐침의 간격이 산화막 두께에 의해 결정되기 때문에 초 미세 간격의 형성이 가능하다. 즉, 초 미세 간격이므로 전계 방출 소자의 구동 전압이 매우 낮고, 구동 전류가 커지게 된다. 또한, 제조 공정이 매우 간단하며, 넓은 면적도 제조가 가능해서 디스플레이로도 응용 가능한 장점을 가진다.