公开(公告)号：KR1020090008778A

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：KR1020070072015

申请日：2007-07-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이정주 ,  허진석 ,  한철희

IPC: G01L1/24

CPC classification number: G01L1/242 ,  B25J13/08 ,  G01J1/02 ,  G01L1/247

Abstract: A tactile sensor utilizing the micro-bending property of optical fiber and a manufacturing method thereof, and a distributed load measuring apparatus using the same are provided to measure the distribution of external load by measuring change in the light intensity generated in the tactile sensor including intersecting optical fibers. A tactile sensor utilizing the micro-bending property of optical fiber comprises a first optical fiber(10a) consisting of core in which the light passes and cladding that surrounds the core, a second optical fiber(10b) arranged in the orthogonal direction on the first optical fiber, and silicon rubber(41) molding the first and the second optical fiber meeting at right angle.

Abstract translation: 使用利用光纤的微弯曲特性的触觉传感器及其制造方法以及使用其的分布式负载测量装置，通过测量包括相交的触觉传感器中产生的光强度的变化来测量外部负载的分布 光纤。 利用光纤的微弯曲特性的触觉传感器包括：由光穿过的芯构成的第一光纤（10a）和围绕芯的包层;第二光纤（10b），沿第一 光纤和硅橡胶（41）模制第一和第二光纤直角会合。

公开(公告)号：KR1020020076512A

公开(公告)日：2002-10-11

申请号：KR1020010016404

申请日：2001-03-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  윤의식 ,  김충기 ,  한철희

IPC: H01L29/00

CPC classification number: H01L27/08 ,  H01L23/5227 ,  H01L23/66 ,  H01L2223/6622 ,  H01L2223/6627 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1903 ,  H05K3/4092 ,  H01L2924/00

Abstract: PURPOSE: A floating 3-D metal device on a semiconductor substrate, a circuit of the same, and a method for fabricating the same are provided to improve capacity of a semiconductor device by reducing a loss of a signal. CONSTITUTION: A substrate(11) is prepared. A 3-D sacrificial mold is formed on the substrate. The 3-D mold has the first space extended from a bottom metal layer(13) of the 3-D sacrificial mold to an upper portion and the second space separated from the bottom metal layer(13) of the 3-D sacrificial mold. The first space and the second space are filled by the third metal layer(21). The 3-D sacrificial mold is removed. The third metal layer(21) of a spiral shape is supported by the first support plates(22). A 3-D spiral inductor(104) is fabricated by installing a bottom ground metal layer(29) on a lower portion.

Abstract translation: 目的：提供半导体衬底上的浮置3-D金属器件及其电路及其制造方法，以通过减少信号的损失来提高半导体器件的容量。 构成：制备基材（11）。 在基板上形成3-D牺牲模具。 3-D模具具有从3-D牺牲模具的底部金属层（13）延伸到上部的第一空间和与3-D牺牲模具的底部金属层（13）分离的第二空间。 第一空间和第二空间由第三金属层（21）填充。 去除3-D牺牲模具。 螺旋形的第三金属层（21）由第一支撑板（22）支撑。 通过在下部安装底部接地金属层（29）来制造3-D螺旋电感器（104）。

公开(公告)号：KR1020010096919A

公开(公告)日：2001-11-08

申请号：KR1020000020596

申请日：2000-04-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01P15/121 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0891

Abstract: 본 발명은 측면 전계 방출을 이용한 2-축 가속도 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 기존의 전계 방출을 이용한 가속도 센서는 수직형 전계 방출을 이용하기 때문에 1-축에 대한 가속도 밖에 측정 할 수 없었다. 그렇지만 본 발명에서는 측면 전계 방출을 이용하기 때문에 2-축에 대한 가속도를 동시에 측정할 수 있다. 화학 기계적 연마방식을 이용하여 탐침 간격이 매우 좁은 탐침 전극을 제조하기 때문에 낮은 전압에서 동작을 하게 되고 또한 기존의 높은 전압에 의한 정전기력을 이용하여 탐침을 가까이 가져오는 단계가 필요하지 않게 된다. 전계 방출을 이용하면 다른 방식의 가속의 감지 방법에 비해서 높은 감지도와 민감도를 가진다.

公开(公告)号：KR1019960032634A

公开(公告)日：1996-09-17

申请号：KR1019950002234

申请日：1995-02-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 허성회 ,  최강식 ,  한철희

IPC: H01L21/3065

Abstract: 본 발명은 자외선램프가 장착된 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발aud은 낮은 온도에서도 구리의 삭각율을 높일 수 있으며 대면적의 웨이퍼에도 효과적으로 사용할 수 있도록 유도 결합 플라즈마 장치에 자외선 방지수단을 장착한 구리식각장치 및 전기 장치를 이용하여 구리를 식각하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 구리삭각장치는 공정챔버 내에 유전체창, 안테나 및 라디오파 차단모가 형성되고 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도결합 플라즈마 구리식각장치에 있어서, 웨이퍼에 자외선을 방사하기위한 자외선램프; 전기한 유전체창을 자외선투과가 가능하도록 구성한 투사 유전체창; 및, 전기한 자외선램프에서 방사된 빛의 최대량을 웨이퍼에 입사시키기 위한 평행광용 자외선거울로 구성된 자외선 방사수단이 장착된 것을 특징으로 하며, 본 발명의 구리식각방법은 할로겐가스와 구리의 반응생성물을 탈착하여 웨이퍼의 구리를 식각하는 유도 결합 플라즈마에 의한 구리식각시, 전기 구리식각장치의 자외선 방사수단에 의해 자외선을 입사하여 반응생성물의 탈착에 필요한 에너지를 인가하는 과정을 포함한다.

公开(公告)号：KR100368929B1

公开(公告)日：2003-01-24

申请号：KR1020000004974

申请日：2000-02-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: B41J2/05

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a heating device and a method for manufacturing a heat spraying type ink jet print head are provided to obtain superior mechanical properties by utilizing a single crystal silicon island such as a single silicon pattern or an isolated substrate surface part as a heating resistance, thereby extending the lifespan of the heating resistance and reducing the number of protection layers surrounding the heating resistance. CONSTITUTION: A method for manufacturing a heat spraying type ink jet print head includes the steps of forming an impurity area(120a) on a surface of a heating part of a single crystal silicon substrate(110) with an impurity doping concentration higher than the substrate by the ion-injection method, forming a single crystal silicon film pattern on the impurity area with an impurity doping concentration lower than the impurity area, forming a porous silicon area in the impurity area only, forming a thermal oxidation film by oxidizing the whole surface and the porous silicon area, forming a thermal oxidation film pattern by patterning the thermal oxidation film to expose a predetermined area of the single crystal silicon film pattern and the substrate surface of a main ink supply part, forming heating electrodes(160a) and electro-plating electrodes(162a), forming an insulation pattern(165a) covering the heating electrodes, forming a plating seed layer(170) on the whole surface, forming a photosensitive film pattern(175a) having an opening part for exposing the plating seed layer, forming a plating layer pattern(180a) for exposing a predetermined area of the photosensitive film pattern, removing the substrate located in the main ink supply part and the electro-plating electrodes, and removing the plating seed layer and the photosensitive film pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造加热装置的方法和用于制造热喷涂型喷墨打印头的方法，以通过利用诸如单个硅图案或隔离衬底表面部分的单晶硅岛作为 从而延长了加热电阻的寿命并减少了围绕加热电阻的保护层的数量。 用于制造热喷涂型喷墨打印头的方法包括以下步骤：在掺杂浓度高于衬底（110）的单晶硅衬底（110）的加热部分的表面上形成杂质区域（120a） 通过离子注入法在掺杂浓度低于杂质区域的杂质区域上形成单晶硅膜图案，仅在杂质区域中形成多孔硅区域，通过氧化整个表面来形成热氧化膜 通过对热氧化膜进行图案化而形成热氧化膜图案，以暴露单晶硅膜图案的预定区域和主墨水供应部分的基板表面;形成加热电极（160a） 电镀电极（162a），形成覆盖加热电极的绝缘图案（165a），在整个表面上形成电镀籽晶层（170），形成 具有用于暴露电镀籽晶层的开口部分的感光膜图案（175a），形成用于曝光感光膜图案的预定区域的电镀层图案（180a），去除位于主墨水供应部分中的基板和电 - 电镀电极，以及去除电镀种子层和光敏膜图案。

公开(公告)号：KR100363298B1

公开(公告)日：2002-11-30

申请号：KR1020000028569

申请日：2000-05-26

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: H01J9/24

Abstract: 본 발명은 화학적 기계적 연마(Chemical-Mechanical-Polishing: CMP) 방법을 이용한 측면형 전계 방출 소자의 제조방법에 관한 것이다. 기존의 측면형 전계 방출 소자는 열적 스트레스 방법이나 전기적 스트레스를 이용하여 제조하기 때문에 전계 방출을 위한 간격의 재현성에 문제가 있는데 반하여, 본 발명에서는 전계 방출 소자 탐침의 간격이 산화막 두께에 의해 결정되기 때문에 초 미세 간격의 형성이 가능하다. 즉, 초 미세 간격이므로 전계 방출 소자의 구동 전압이 매우 낮고, 구동 전류가 커지게 된다. 또한, 제조 공정이 매우 간단하며, 넓은 면적도 제조가 가능해서 디스플레이로도 응용 가능한 장점을 가진다.

公开(公告)号：KR100337950B1

公开(公告)日：2002-10-04

申请号：KR1019980037894

申请日：1998-09-15

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김충기 ,  한철희 ,  윤의식 ,  윤준보

IPC: H01F41/00

Abstract: 120도 이하의 저온에서 단일의 3차원 구조의 포토레지스트 몰드 패터닝과 단일의 금속 도금을 이용한 간단한 공정에 의해서 높은 집적 회로 호환성과 우수한 생산성 및 저렴한 제조 비용으로 종래의 기술로는 제조가 어려웠던 3차원 구조의 쏠레노이드 인덕터를 모놀리식 방식으로 제조하는 방법이 개시되어 있다. 본 발명의 제 1 실시 예에 따르면, 다중 노광 및 단일 현상법에 의해서 3차원 브릿지 몰드를 형성하고 금속 도금을 실시하여, 도전 포스트를 형성한 도금 금속이 넘침에 의해 상부 도전선을 형성함으로써, 도전 포스트와 상부 도전선이 한 몸체인 금속 브릿지를 단일의 금속 도금 과정에서 얻는다. 본 발명의 제 2 실시 예에 따르면, 포토레지스트로 이루어진 희생층을 사용하여 자성 코어를 내포한 쏠레노이드 인덕터를 제작한다. 본 발명의 제 3 실시 예, 제 4 실시 예 및 제 5 실시 예에 따르면, 제 3 씨앗 금속층 또는 더미 포스트를 도입함으로써 길이의 제한이 없는 금속 브릿지를 형성하여, 결국에는 길이의 제한이 없으면서 공심 또는 자성 코어를 내포하는 쏠레노이드 인덕터를 제조한다.

公开(公告)号：KR1020010102636A

公开(公告)日：2001-11-16

申请号：KR1020000023620

申请日：2000-05-03

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이재덕 ,  한철희 ,  이춘섭 ,  천기철

IPC: B41J2/145

CPC classification number: B41J2/1607 ,  B41J2/14072 ,  B41J2/15 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/2128 ,  B41J2202/13

Abstract: 본 발명은 고해상도 고속 프린팅이 가능한 잉크젯 프린트헤드를 제작하는 데 있어서 잉크방에 잉크를 공급하는 통로로 사용되는 잉크 공급로를 기판에 2개 이상 2차원 배열로 배치하여 2차원 노즐 배치를 구현하는 것에 대한 것이다. 본 발명에 의하면 기존의 1개 잉크 공급로 주변에 노즐을 일렬로 배치하는 방식에서 나타나는 집적도의 저하 문제점이 해결되어 기판에 매우 많은 수의 노즐을 집적할 수 있고 이에 따라 고속 프린팅이 요구되는 고해상도 프린트헤드의 구현이 현실화될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010077293A

公开(公告)日：2001-08-17

申请号：KR1020000004974

申请日：2000-02-01

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이춘섭 ,  이재덕 ,  한철희

IPC: B41J2/05

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a heating device and a method for manufacturing a heat spraying type ink jet print head are provided to obtain superior mechanical properties by utilizing a single crystal silicon island such as a single silicon pattern or an isolated substrate surface part as a heating resistance, thereby extending the lifespan of the heating resistance and reducing the number of protection layers surrounding the heating resistance. CONSTITUTION: A method for manufacturing a heat spraying type ink jet print head includes the steps of forming an impurity area(120a) on a surface of a heating part of a single crystal silicon substrate(110) with an impurity doping concentration higher than the substrate by the ion-injection method, forming a single crystal silicon film pattern on the impurity area with an impurity doping concentration lower than the impurity area, forming a porous silicon area in the impurity area only, forming a thermal oxidation film by oxidizing the whole surface and the porous silicon area, forming a thermal oxidation film pattern by patterning the thermal oxidation film to expose a predetermined area of the single crystal silicon film pattern and the substrate surface of a main ink supply part, forming heating electrodes(160a) and electro-plating electrodes(162a), forming an insulation pattern(165a) covering the heating electrodes, forming a plating seed layer(170) on the whole surface, forming a photosensitive film pattern(175a) having an opening part for exposing the plating seed layer, forming a plating layer pattern(180a) for exposing a predetermined area of the photosensitive film pattern, removing the substrate located in the main ink supply part and the electro-plating electrodes, and removing the plating seed layer and the photosensitive film pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种制造加热装置的方法和制造喷射型喷墨打印头的方法，以通过利用诸如单一硅图案的单晶硅岛或隔离的基板表面部分来获得优异的机械性能，作为 耐热性，从而延长加热电阻的寿命并减少围绕加热电阻的保护层的数量。 构成：制造热喷射型喷墨打印头的方法包括以下步骤：在杂质掺杂浓度高于衬底的单晶硅衬底（110）的加热部分的表面上形成杂质区域（120a） 通过离子注入法，在杂质区域上形成杂质浓度低于杂质面积的单晶硅膜图案，仅在杂质区域形成多孔硅区域，通过氧化整个表面形成热氧化膜 和多孔硅区域，通过图案化热氧化膜形成热氧化膜图案以暴露单晶硅膜图案的预定区域和主供墨部分的基板表面，形成加热电极（160a）和电 - 电镀电极（162a），形成覆盖所述加热电极的绝缘图案（165a），在整个表面形成电镀种子层（170），形成 具有用于暴露电镀种子层的开口部的感光性膜图案（175a），形成用于使感光性膜图案的规定区域露出的镀层图案（180a），去除位于主供墨部中的基板， 电镀电极，去除电镀种子层和感光膜图案。

公开(公告)号：KR1020010017115A

公开(公告)日：2001-03-05

申请号：KR1019990032464

申请日：1999-08-07

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 한철희 ,  정훈주 ,  이승우

IPC: G09G3/36

CPC classification number: G09G3/3688 ,  G09G2310/027

Abstract: PURPOSE: A circuit of digital driving for a liquid crystal displayer is provided to reduce the number of data bus lines and data latches by managing the information about bits of the digital image information in order according to time. CONSTITUTION: The device includes the first data latch(31), a shift register(33), the second data latch(32) and a digital/analog converter(34). The first data latch(31) stores the data of the digital image information in order through a data bus. The shift register(33) locks the operation of the first data latch(31) to the location of the digital image information input from the outside. The second data latch(32) stores the digital information stored in the first data latch(31) before converting into analog. The digital/analog converter(34) inputs the data of the digital image information stored in the second data latch(32) in order each bit and converts them into the analog signal.

Abstract translation: 目的：提供一种用于液晶显示器的数字驱动电路，通过根据时间顺序管理数字图像信息的位的信息来减少数据总线和数据锁存器的数量。 构成：该装置包括第一数据锁存器（31），移位寄存器（33），第二数据锁存器（32）和数/模转换器（34）。 第一数据锁存器（31）通过数据总线顺序存储数字图像信息的数据。 移位寄存器（33）将第一数据锁存器（31）的操作锁定到从外部输入的数字图像信息的位置。 第二数据锁存器（32）在转换成模拟之前存储存储在第一数据锁存器（31）中的数字信息。 数字/模拟转换器（34）按照每个位的顺序输入存储在第二数据锁存器（32）中的数字图像信息的数据，并将其转换为模拟信号。