公开(公告)号：KR1020100002597A

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：KR1020080062547

申请日：2008-06-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이승섭 ,  이석우 ,  이정아

IPC: B82B3/00 ,  G03F7/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/00 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/0159 ,  G03F7/2014

Abstract: PURPOSE: A method for producing high aspect ratio micro structure is provided to concentrate light intensity to the center of pattern groove formed at a photomask. CONSTITUTION: A method for producing high aspect ratio micro structure comprises: a step of attaching the photomask having a pattern groove(11a) on the surface of transparent substrate(10); a step of attaching negative photoresist on the surface of the photomask; a step of irradiating light at an opposite side of photomask-attached site to solidifying partial negative photoresist; and a step of removing a site where the negative photomask is not exprosed.

Abstract translation: 目的：提供一种制造高纵横比微结构的方法，用于将光强度集中在形成在光掩模上的图形凹槽的中心。 构成：用于制造高纵横比微结构的方法包括：在透明基板（10）的表面上附着具有图案槽（11a）的光掩模的步骤; 在光掩模的表面上附着负性光致抗蚀剂的步骤; 在光掩模附着部位的相对侧照射光以固化部分负性光致抗蚀剂的步骤; 以及去除负光掩模未被展开的部位的步骤。

公开(公告)号：KR1020090054268A

公开(公告)日：2009-05-29

申请号：KR1020070121048

申请日：2007-11-26

Applicant: 한국표준과학연구원 ,  한국과학기술원

Inventor： 이승섭 ,  이정아 ,  이광철 ,  박세일

IPC: G01N33/48 ,  G01N33/00 ,  B82Y15/00

CPC classification number: B81C1/00142 ,  B81B2201/0214 ,  B82Y15/00 ,  G01N33/48707

Abstract: 본 발명은 생체 분자를 검출하는 바이오 센서의 감지부를 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 열분해 탄소 성분의 소정 나노 크기의 패턴을 가지는 감지부를 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 감지부의 제작 방법은 사진식각 공정을 통해 나노 크기의 감지부 패턴을 형성하고 형성한 감지부 패턴을 열분해하여 탄소 성분의 감지부를 제조함으로써, 나노 크기의 임의 패턴을 가지는 감지부를 저렴한 비용과 간단한 공정으로 제작할 수 있다.
바이오 센서, MEMS, Bio-MEMS, 열분해 탄소, 사진식각