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公开(公告)号：KR1020140143291A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020130064987
申请日：2013-06-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 프린팅롤 미세패턴 형성장치 및 미세패턴 형성방법에 관한 것으로, 프린팅롤 표면에 레이저 어블레이션 방법으로 미세 홈을 형성함에 있어서 에프-세타 렌즈를 이용하여 레이저 빔의 초점이 프린팅롤의 표면에 위치하고 상기 레이저 빔의 방향이 프린팅롤 표면에 수직한 방향이 되도록 하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成印刷辊的微小图案的装置和方法。 当通过激光烧蚀方法在印刷辊的表面上形成微小的凹槽时，使用F-theta透镜将激光束的焦点位于印刷辊的表面上，并且激光束的方向垂直于 印刷辊的表面。
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公开(公告)号：KR101453855B1
公开(公告)日：2014-10-24
申请号：KR1020130099085
申请日：2013-08-21
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: Provided is a method for bonding multiple members having no adhesive or laser absorbing layer. The method for bonding the multiple members comprises the steps of providing the multiple members, which includes a plurality of members stacked on each other and having surfaces contacting each other, on a stage; oscillating an ultra short pulse laser beam from a laser beam source; dividing the laser beam into a plurality of beam components; forming a plurality of laser focuses by concentrating the beam components in line with each other in directions of thicknesses of the multiple members from peripheral portions of the interfacial surfaces of the multiple members; and forming a welding portion by a non-linear absorption phenomenon in the multiple members.
Abstract translation: 提供一种用于粘结多个不具有粘合剂或激光吸收层的构件的方法。 用于接合多个构件的方法包括以下步骤：在平台上设置多个构件，其包括彼此堆叠并具有彼此接触的表面的多个构件; 从激光束源振荡超短脉冲激光束; 将激光束分成多个光束分量; 通过在所述多个构件的界面的周边部分中使所述多个构件的厚度方向彼此一致地将所述梁构件彼此对准地形成多个激光焦点; 以及在多个构件中通过非线性吸收现象形成焊接部分。
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公开(公告)号：KR1020090062890A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070130366
申请日：2007-12-13
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H05K3/04
Abstract: A flexible printed circuit board for forming a conductive circuit pattern by using a laser direct writing method, a manufacturing system thereof, and a manufacturing method thereof are provided to reduce a processing cost and to prevent environmental contamination by removing an etch process and stopping generation of metallic effluent. A base film is prepared to manufacture a polymer into which conductive particles are dispersed uniformly(P1). A laser is directly irradiated in a circuit pattern on the prepared base film(P2). The conductive particles are expressed by removing the epidermal polymer of the base film in a constant thickness through the laser irradiation process(P3). The base film including a seed is dipped into a plating bath. A conductive material is grown by using the seed as a base material. A pattern is formed by growing the conductive material(P4).
Abstract translation: 提供一种用于通过使用激光直写方式形成导电电路图案的柔性印刷电路板及其制造方法及其制造方法，以减少处理成本并通过去除蚀刻工艺并停止生成来防止环境污染 金属流出物。 制备基膜以制造导电颗粒均匀分散的聚合物（P1）。 以制备的基膜（P2）上的电路图案直接照射激光。 通过激光照射处理（P3）将基膜的表皮聚合物以恒定的厚度除去来表现导电性粒子。 将含有种子的基膜浸入电镀浴中。 通过使用种子作为基材来生长导电材料。 通过生长导电材料（P4）形成图案。
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14.发明授权ＵＶ 나노임프린트 리소그래피 공정 및 이 공정을수행하는 장치 失效UV NANOIMPRINT LITHOGRAPHY PROCESS AND APPARATUS FOR PERFORMING THE SAME
公开(公告)号：KR100558754B1
公开(公告)日：2006-03-10
申请号：KR1020040012191
申请日：2004-02-24
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C35/0888 , B29C59/022 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , Y10S977/887
Abstract: 본 발명은 나노구조물이 각인된 스탬프를 이용하여 웨이퍼 또는 스탬프용 판재 위에 반복적으로 나노구조물을 제작할 수 있는 UV 나노임프린트 리소그래피 공정 및 이 공정을 수행하는 장치에 관한 것으로, 본 발명의 장치는, 작업 대상물을 장착하는 작업 대상물용 척; 자외선이 투과되는 투명한 재질로 이루어지며, 나노구조물이 표면에 형성된 요소 스탬프를 2개 이상 구비하는 스탬프; 상기 스탬프를 장착하는 스탬프 척; 상기 스탬프를 투과하도록 자외선을 조사하여 요소 스탬프와 작업 대상물 사이에 도포되어 있는 레지스트를 경화시키는 자외선 램프 유닛; 상기 작업 대상물용 척 또는 스탬프 척을 이동시켜 상기 레지스트를 요소 스탬프들과 작업 대상물 표면에 접촉시키는 이동 유닛; 및 상기 요소 스탬프들과 대향하는 작업 대상물의 일부 영역에 선택적으로 가스 압력을 작용시킴으로써 상기 요소 스탬프들의 나노구조물들에 상기 레지스트를 충전(充塡)시키는 압력 부가 유닛;을 포함한다.
UV 나노임프린트 리소그래피, 나노구조물, 다중 양각 요소 스탬프, 선택적 부가 압력-
公开(公告)号：KR101794279B1
公开(公告)日：2017-11-20
申请号：KR1020150124879
申请日：2015-09-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은 3차원구조물의조형속도를향상시키는 3차원구조물조형방법을구현하는라인스캔조형이가능한선형노즐을구비한 3차원구조물조형장치를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른라인스캔조형이가능한선형노즐을구비한 3차원구조물조형장치는, 광빔을전달하는광 딜리버리모듈, 상기광 딜리버리모듈로부터전달되는광 빔의각도를변경하여반사시키는스캐너, 및쉴드가스를공급하는가스통로, 상기가스통로의내측에배치되어조형파우더를공급하는파우더통로, 및상기파우더통로의내측에배치되어상기스캐너로부터반사되는광 빔을기판의복수의위치에통과시키고상기기판에공급되는상기조형파우더를멜팅하여상기기판에 3차원구조물을조형하도록일 방향으로설정된길이를가지는광 통로를포함하는선형노즐을포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170000385A
公开(公告)日：2017-01-02
申请号：KR1020160176858
申请日：2016-12-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/00 , B23K26/70 , B23K103/00
Abstract: 본발명의목적은패턴의양측에서열영향부를최소화하면서미세선폭의패턴을형성하는미세패턴금형가공시스템을제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른미세패턴금형가공시스템은, 설정된펄스폭의레이저빔을생산하는레이저발진부, 상기레이저빔을베이스에설치되는타겟에조사하여설정된선폭의패턴을가공하는폴리곤스캐너, 상기폴리곤스캐너를장착하고상기베이스에설치되어상기타겟에대한상기폴리곤스캐너의위치를조절하는스테이지, 상기레이저발진부와상기폴리곤스캐너사이에서레이저빔의경로에설치되어, 검출된레이저빔에따라조사되는레이저빔을안정시키는빔 안정기, 상기레이저발진부를제어하는레이저컨트롤러, 상기타겟에패턴을가공하며, 상기타겟에서단위패턴을가공하고가공된단위패턴에 x축방향으로중첩되어레이저빔을단위패턴으로조사하여단위패턴간의경계선을없애도록상기폴리곤스캐너를제어하는폴리곤스캐너컨트롤러, 및상기폴리곤스캐너컨트롤러에상기타겟에가공하고자하는이미지를비트맵파일로전달하는메인컨트롤러를포함하며, 상기레이저컨트롤러는상기레이저발진부의마스터오실레이터에서발진되는레이저신호를상기폴리곤스캐너컨트롤러에전달하여, 상기폴리곤스캐너, 상기스테이지및 상기레이저빔을동기화시키도록구성되고, 상기폴리곤스캐너컨트롤러는상기레이저컨트롤러에동기신호를전달하여, 상기폴리곤스캐너와상기레이저빔을동기화시키도록구성된다.
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公开(公告)号：KR101688613B1
公开(公告)日：2017-01-02
申请号：KR1020150018147
申请日：2015-02-05
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B42D25/435 , B42D25/29
Abstract: 본발명의한 실시예에따른위조방지패턴생성장치는레이저빔을방출하는레이저발진기, 레이저빔이지나가는경로상에위치하며레이저빔을복수의가공빔으로분기시키기위한복수의개구부를가지는빔 마스크, 레이저빔이지나가는경로상에위치하는바이프리즘, 바이프리즘을회전시키는회전구동부, 복수의가공빔이동시에조사되도록대상가공물을지지하면서이동가능하도록구성된스테이지를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，一种用于制造防伪图案的装置包括：激光振荡器，其发射激光束; 位于激光束通过的路径上的光束掩模，并且具有多个开口部分，使得激光束分支成多个经处理的光束; 位于激光束通过的路径上的双棱镜; 旋转所述双棱镜的旋转单元; 以及形成为在支撑目标处理物品的同时移动的台阶，使得多个处理的光束同时辐射到目标处理物品上。
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公开(公告)号：KR101682087B1
公开(公告)日：2016-12-02
申请号：KR1020150167079
申请日：2015-11-27
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B22F3/105 , B29C67/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02 , Y02P10/295
Abstract: 본발명은레이저와분말을이용한 3차원형상제조장치에관한것으로서, 챔버와, 분말공급부와, 가공테이블과, 코터부와, 제1레이저헤드부와, 제1스테이지와, 제2레이저헤드부와, 제2스테이지를포함한다. 분말공급부는내부공간이마련된챔버의내부로일정량의분말을공급한다. 가공테이블은분말공급부에서공급된분말이일정두께를가지는다수의분말층으로순차적으로적층되면서제조하고자하는제품이용착된다. 코터부는분말공급부와가공테이블사이를왕복이동하면서분말공급부에서공급된분말을일정두께의분말층으로형성한다. 제1레이저헤드부는제1스캐너와제1에프세타렌즈를구비하며, 용착하고자하는패턴형상의외형선을따라분말층에제1레이저빔을조사한다. 제2레이저헤드부는제1스캐너보다레이저빔을고속으로이동시키는제2스캐너와제1에프세타렌즈보다큰 작업영역을가지는제2에프세타렌즈를구비하며, 용착하고자하는패턴형상의내부해칭선을따라분말층에제2레이저빔을조사한다. 제1스테이지는제1레이저헤드부를평면상에서이송하고, 제2스테이지는제2레이저헤드부를이송한다.
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公开(公告)号：KR101628947B1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：KR1020140097628
申请日：2014-07-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/06 , B23K26/064
Abstract: 본발명은레이저광원과, 레이저광원에서방출된레이저빔 중축 빔을통과시키고비축빔을회절시키는회절소자와, 회절소자에서방출된축 빔및 비축빔을각각반사빔과투과빔으로분리시키는빔 스플리터와, 투과빔을가공대상물로집속시키는광 집속부및 가공대상물에서반사되어광 집속부와빔 스플리터를거친레이저빔을수광하고, 가공대상물의위치변화에따른레이저빔의프로파일변화를측정하는빔 프로파일러를포함하는레이저가공장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020160064880A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020140169132
申请日：2014-11-28
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/36 , B23K26/067 , B42D25/30 , B42D25/40
CPC classification number: B23K26/36 , B23K26/067 , B42D25/30 , B42D25/40 , Y02E10/50
Abstract: 본발명의한 실시예에따른위조방지패턴생성장치는레이저빔을방출하는레이저발진기, 레이저발진기로부터발생된레이저빔을복수의가공빔으로분기시키는회절광학소자, 회절광학소자를회전시키는회전구동부, 가공빔을각각반사하여가공대상물에상기가공빔을함께조사시켜상기가공대상물을가공하는한 쌍의반사거울을포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例，一种产生防伪图案的装置包括：发射激光束的激光振荡器; 将从激光振荡器产生的激光束分支到多个处理光束的衍射光学元件; 旋转衍射光学元件的旋转驱动单元; 以及一对反射镜，通过单独反映处理光束来处理待处理的对象，以将处理光束一起辐射到待处理的对象中。
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