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公开(公告)号:WO2021182839A1
公开(公告)日:2021-09-16
申请号:PCT/KR2021/002889
申请日:2021-03-09
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01S3/11 , H01S3/10 , H01S3/067 , B23K26/0622 , B23K26/38
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 펨토초 레이저 발생기는, 연속파 레이저를 광 펄스열로 변환하는 펄스 생성부, 상기 광 펄스열을 복수개의 버스트 펄스로 분리하는 버스트 생성부, 상기 복수개의 버스트 펄스를 증폭하여 스펙트럼을 확장하는 펄스 증폭 및 스펙트럼 확장부, 그리고 상기 증폭된 복수개의 버스트 펄스를 압축하여 1 피코초(10-12s) 이하의 펄스폭을 가지는 펨토초 레이저를 발생시키는 펄스 압축부를 포함한다.
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公开(公告)号:WO2020067809A1
公开(公告)日:2020-04-02
申请号:PCT/KR2019/012658
申请日:2019-09-27
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 제염 시스템은 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 배관 내부에 삽입되며 상기 레이저 빔을 상기 배관 내부의 오염 물질에 집광하여 레이저 어블레이션하는 광학 헤드, 상기 레이저 발생기와 상기 광학 헤드를 연결하며 상기 레이저 빔을 상기 광학 헤드로 전달하는 제1 광섬유, 상기 레이저 어블레이션에 의해 상기 배관에서 발생한 플라즈마 스펙트럼을 분석하는 분광기, 상기 분광기와 상기 광학 헤드를 연결하며 상기 플라즈마 스펙트럼을 상기 분광기로 전달하는 제2 광섬유, 상기 레이저 어블레이션에 의해 상기 배관에서 발생한 분진을 집진하는 집진기, 상기 집진기와 상기 배관 내부를 연결하며 상기 분진을 상기 집진기로 전달하는 집진관, 그리고 상기 광학 헤드와 상기 배관 사이에 위치하여 상기 분진을 차단하는 차단막을 포함한다.
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公开(公告)号:WO2018021695A1
公开(公告)日:2018-02-01
申请号:PCT/KR2017/006602
申请日:2017-06-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/70
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는, 레이저 빔을 생성하는 광발생기; 상기 레이저 빔에서 분기된 복수의 가공빔이 각각 입사되며 시간차가 존재하는 서로 다른 광경로를 제공하는 복수의 광경로부; 및 상기 복수의 광경로부를 통과한 복수의 가공빔을 가공 대상물에 조사하는 광병합부;를 포함하고, 상기 복수의 광경로부는 각각 서로 다른 길이의 광섬유를 포함하며, 상기 광병합부는 상기 복수의 가공빔을 동일 경로로 통과시킨다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的激光加工设备包括:用于产生激光束的光发生器; 多个光路部分,分别接收从激光束分出的多个处理光束并提供其中存在时间差的不同光路; 的,并且包括和包含光纤,用于每个不同的长度的多个光路部分,光合并单元处理所述多个;以及gwangbyeong它通过传递到所述多个光路的对象上照射多个处理光束的接合 将光束通过相同的路径。 P>
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公开(公告)号:WO2021149968A1
公开(公告)日:2021-07-29
申请号:PCT/KR2021/000502
申请日:2021-01-13
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 용접 시스템은, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생기, 상기 레이저 빔을 집광하여 용접 대상물을 용접하는 레이저 광학계, 상기 용접 대상물의 용접부에 유리봉을 공급하는 유리봉 공급기를 포함하고, 상기 유리봉 공급기는 복수개의 유리봉이 탑재되는 공급 본체, 상기 공급 본체의 후단부에 설치되며 상기 복수개의 유리봉을 상기 공급 본체에 공급하는 공급부, 상기 복수개의 유리봉 중 적어도 하나를 상기 공급 본체 내부에서 상기 용접부로 이송시키는 이송부를 포함한다.
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公开(公告)号:KR101784461B1
公开(公告)日:2017-11-06
申请号:KR1020160031095
申请日:2016-03-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고오차를감소시킬수 있는레이저직접묘화장치및 레이저직접묘화방법을제공한다. 본발명의일 측면에따른레이저직접묘화장치는회전가능하게설치되며다각형상의단면을갖는폴리곤스캐너, 가공대상물이위치하는스테이지, 상기스테이지를이송시키는스테이지제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는제1오차측정부, 및레이저펄스를온(on) 또는오프(off)시키되, 상기제1오차측정부에서전달된신호를바탕으로상기레이저펄스의온(on) 또는오프(off)를제어하여오차를보상하는레이저변조기를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020170053345A
公开(公告)日:2017-05-16
申请号:KR1020150155727
申请日:2015-11-06
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/70
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고, 및오차를감소시킬수 있는 3차원레이저조사장치를제공한다. 본발명의일 측면에따른 3차원레이저조사장치는제1 지령주기로이동이제어되는스테이지, 상기제1 지령주기보다더 짧은제2 지령주기로제어되어레이저빔을이동시키는스캐너, 상기제1 지령주기로상기스테이지의이동을제어하는제1 제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는오차측정부, 상기제2 지령주기로상기스캐너를제어하는제2 제어부, 및상기스테이지의이동오차를보상하도록상기스캐너의레이저조사경로를수정하는보상제어부를포함한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种能够提高处理速度并减少误差的三维激光照射装置。 根据本发明的一个方面的三维激光照射装置包括:移动受第一命令周期控制的台,受第二命令周期控制的扫描器,该第二命令周期短于第一命令周期以移动激光束, 第二控制单元,用于在第二指令周期中控制扫描仪;以及第二控制单元,用于控制扫描仪的激光照射以补偿台的移动误差, 还有一个补偿控制部分,用于纠正路径。
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公开(公告)号:KR101735487B1
公开(公告)日:2017-05-16
申请号:KR1020160086409
申请日:2016-07-07
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: G01N13/02
CPC classification number: G01N13/02
Abstract: 본발명은분말형태로된 무기파우더와액상의레진간의젖음성을간접적으로알아볼수 있는젖음성측정장치및 이의제작방법에관한것으로서, 본발명의젖음성측정장치는모조플레이트와, 무기층을포함하고, 이의제작방법은패턴가공단계와, 모조플레이트제작단계와, 모조플레이트분리단계와, 무기층형성단계를포함한다. 본발명의젖음성측정장치에따른모조플레이트는상면에돌출형성되고, 서로이격되어종횡으로배열되며, 모방할무기파우더의크기와실질적으로동일한크기를갖는다수의범프를구비한다. 무기층은무기파우더의재질과동일한기상의무기물이모조플레이트의상면에일정두께로증착되어형성되고, 범프와대응되는형상으로돌출형성된다수의단위볼륨을구비한다. 액상의레진(lesin)이다수의단위볼륨상에서액적(droplet)으로맺혀지며, 액적의액면과무기층의평면이이루는접촉각을측정함으로써, 레진과무기파우더사이의젖음성을측정한다. 본발명의젖음성측정장치의제작방법에따른패턴가공단계는기저플레이트의상면에내측으로함몰되어종횡으로배열되고, 모방할무기파우더의크기와실질적으로동일한크기를갖는다수의홈을가공하는단계이다. 모조플레이트제작단계는기저플레이트의상면에유동물질을일정두께로채우고경화시켜, 일면이기저플레이트의상면과동일한패턴을갖는모조플레이트를제작하는단계이다. 모조플레이트분리단계는모조플레이트를기저플레이트로부터분리시키는단계이다. 무기층형성단계는기저플레이트의상면과동일한패턴으로모사된모조플레이트의일면에기상의무기물를일정두께로증착하여무기층를형성하는단계이다.
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公开(公告)号:KR101729686B1
公开(公告)日:2017-04-25
申请号:KR1020150088743
申请日:2015-06-22
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L51/00 , H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/20
Abstract: 본발명의한 실시예에따른양각패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의에너지밀도는레이저빔에의해서고분자막이삭마되는삭마임계점미만으로조사하여패턴을형성할수 있다.
Abstract translation: 的凸版形成方法是激光束的能量密度,并形成图案投影方法,包括:制备一个聚合物膜,通过根据本发明的一个实施方式从图案的聚合物膜的表面将激光束施加到聚合物薄膜,激光束 可以通过在聚合物膜被烧蚀的烧蚀阈值点照射聚合物膜来形成图案。
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公开(公告)号:KR101519920B1
公开(公告)日:2015-05-14
申请号:KR1020130064987
申请日:2013-06-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 프린팅롤 미세패턴 형성장치 및 미세패턴 형성방법에 관한 것으로, 프린팅롤 표면에 레이저 어블레이션 방법으로 미세 홈을 형성함에 있어서 에프-세타 렌즈를 이용하여 레이저 빔의 초점이 프린팅롤의 표면에 위치하고 상기 레이저 빔의 방향이 프린팅롤 표면에 수직한 방향이 되도록 하는 것을 특징으로 한다.
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