Patent search ap:("한국전자통신연구원") AND inv:"권광호" Page 2

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发明公开
O₂/He 플라즈마를 이용한 실리레이티드 포토레지스트(silylated photoresist)의 RIE 건식현상공정 失效

公开(公告)号：KR1019920001248A

公开(公告)日：1992-01-30

申请号：KR1019900008258

申请日：1990-06-05

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 권광호 , 윤선진 , 박병선 , 전영진 , 강상원

IPC: G03F7/26

Abstract: 내용 없음.

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