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11.发明授权통신용 고온초전도(HTS : High Temperature Superconducting) 고리형 공진기(Ring Resonator)의 제조방법 失效制造用于通信的高温超导（HTS）环谐振器的方法
公开(公告)号：KR1019950002070B1
公开(公告)日：1995-03-10
申请号：KR1019920025028
申请日：1992-12-22
IPC: H03H3/00
Abstract: The method reduces the signal/noise ratio by integration of filter, and improves the development of oscillator. The method includes the 1st process which deposes the high temperature superconducting layer (20) by pulsed laser deposition method, the 2nd process which forms the metal layer (30) for protection of field leakage, the 3rd process which forms the resonator pattern and deposes the insulating protection layer (40), and the 4th process which forms the communcation high temperature superconducting ring resonator by etching of high temperature superconducting layer (20).
Abstract translation: 该方法通过滤波器的集成降低了信噪比，改善了振荡器的发展。 该方法包括通过脉冲激光沉积方法代替高温超导层（20）的第一工艺，形成用于保护漏电的金属层（30）的第二工艺，形成谐振器图案的第三工艺， 绝缘保护层（40），以及通过蚀刻高温超导层（20）形成通信高温超导环形谐振器的第四工艺。
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公开(公告)号：KR1019940001295B1
公开(公告)日：1994-02-18
申请号：KR1019900017926
申请日：1990-11-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L39/00
Abstract: The forming method of a micro pattern comprises (a) forming an oxidn. silicon film (2) on the silicon substrate (1), (b) heat-treating the film (2) to form a photoresist (3), (c) forming a photoresist pattern (3a) on the photoresist (3), (d) etching the substrate (1) except the pattern (3a), and removing the film (2) and the pattern (3a) with an organic solvent, (e) forming a lanthanum aluminate crystalline thin film (5) of 0.4-0.5 m on the substrate (1), and (f) depositing a high temp. superconductive thin film of 0.5-1 m on the film (5) by the sputter, and heat-treating it. The micro pattern is used in mfr. of semiconductor-superconductor hybrid devices.
Abstract translation: 微图案的形成方法包括（a）形成氧化物。 在硅衬底（1）上的硅膜（2），（b）热处理膜（2）以形成光致抗蚀剂（3），（c）在光致抗蚀剂（3）上形成光致抗蚀剂图案（3a） d）蚀刻除图案（3a）以外的基板（1），用有机溶剂除去膜（2）和图案（3a），（e）形成0.4-0.5的铝酸镧结晶薄膜（5） m，并且（f）沉积高温 通过溅射在膜（5）上0.5-1μm的超导薄膜，并进行热处理。 微图案以制造商使用。 的半导体 - 超导体混合器件。
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公开(公告)号：KR101352648B1
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020100081774
申请日：2010-08-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0216
CPC classification number: C03C17/001 , C03C17/36 , C03C17/3605 , C03C17/3628 , C03C17/3631 , C03C17/3649 , C03C17/3678 , C03C2218/111 , H01L31/0322 , Y02E10/541
Abstract: 본 발명은 기판 상에 구리(Cu); 인듐(In); 및 갈륨(Ga), 황(S) 및 셀레늄(Se)으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상을 포함하는 구리인듐화합물 씨드입자를 포함하는 씨드입자층을 형성하는 단계; 상기 씨드입자층 상에 구리(Cu) 수용성 전구체; 인듐(In) 수용성 전구체; 및 갈륨(Ga), 황(S) 및 셀레늄(Se)로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 원료의 수용성 전구체를 포함하는 용액을 도포하는 단계; 및 고온에서 박막을 형성하는 단계를 포함하는 CIS 또는 CIGS 박막의 제조방법에 관한 것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120018855A
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020100081774
申请日：2010-08-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/0216
CPC classification number: C03C17/001 , C03C17/36 , C03C17/3605 , C03C17/3628 , C03C17/3631 , C03C17/3649 , C03C17/3678 , C03C2218/111 , H01L31/0322 , Y02E10/541
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a uniform CIS or CIGS thin film is provided to obtain a thin film with various shapes and phases by easily controlling the composition of solutions, the density of impurities, reaction time, and temperature. CONSTITUTION: A first electrode layer(110) is formed on a substrate(100). A seed particle layer(120) including a copper indium compound seed particle is formed on the first electrode layer. Solutions(130) with water soluble precursors are spread on the seed particle layer. The solutions with the water soluble precursors include organic solvents and/or inorganic solvents. The spread solutions are changed into a thin film(140) at a high temperature.
Abstract translation: 目的：提供制造均匀的CIS或CIGS薄膜的方法，通过容易地控制溶液的组成，杂质的密度，反应时间和温度来获得具有各种形状和相的薄膜。 构成：在基板（100）上形成第一电极层（110）。 在第一电极层上形成包含铜铟化合物种子颗粒的种子颗粒层（120）。 具有水溶性前体的溶液（130）扩散在种子颗粒层上。 具有水溶性前体的溶液包括有机溶剂和/或无机溶剂。 扩散溶液在高温下变成薄膜（140）。
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公开(公告)号：KR1020100072998A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131572
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: C40B60/12 , B01J2219/005 , B01J2219/00655 , B01J2219/00702 , G01N33/54373 , G01N27/3275 , G01N27/745 , G01N33/54326
Abstract: PURPOSE: A magnetic bead sensing array device of cross form which is useful as a magnetic biosensor is provided to measure output voltage of vertical direction and to manufacture magnetic biosensor of high density and high sensitivity. CONSTITUTION: A magnetic bead sensing array device of cross form comprises: a substrate(1); plural magnetic resistance devices(20) of cross form which is formed using thin film for detecting bio molecules; an electrode pad(26a, 26b, 26c) which is connected with plural magnetic devices and is formed on the substrate; a bio molecule fixing layer(33) for fixing bio molecules; a protection layer(30) formed on the upper portion of the magnetic resistance device and electrode pad; and a magnetic bead container layer(34) which surrounds the bio molecule fixing layer. The magnetic bead container layer is formed using photosensitive thin film.
Abstract translation: 目的：提供一种用作磁性生物传感器的十字形磁珠检测阵列器件，用于测量垂直方向的输出电压，并制造高密度和高灵敏度的磁性生物传感器。 构成：交叉形式的磁珠感测阵列器件包括：衬底（1）; 使用用于检测生物分子的薄膜形成的多个磁性电阻器件（20）; 形成在所述基板上的与多个磁性装置连接的电极焊盘（26a，26b，26c） 用于固定生物分子的生物分子固定层（33）; 保护层（30），其形成在所述磁阻装置的上部和电极焊盘上; 和围绕生物分子固定层的磁珠容器层（34）。 使用光敏薄膜形成磁珠容器层。
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公开(公告)号：KR1020020022162A
公开(公告)日：2002-03-27
申请号：KR1020000054801
申请日：2000-09-19
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/136
Abstract: PURPOSE: A super high frequency modulation laser beam generator having a double annular resonator structure is provided to widen a range of modulation frequency of laser ray source by changing a polarization and a wavelength of specific modes of laser ray. CONSTITUTION: A first annular optic fiber laser(50) resonator has a length different from a second annular optic fiber laser resonator(60). An optic fiber coupler(70) couples the first annular optic fiber laser resonator with the second annular optic fiber laser resonator to oscillate double laser modes, so that a beat phenomenon between double laser modes is induced. Each of the first and second annular optic fiber laser resonators has a polarization regulator for modulating a frequency of output rays. The first annular optic fiber laser resonator comprises an optic fiber(51) for amplifying rays, a dispersal compensating fiber(52) for a non-linear polarization effect, an optic direction regulator(53) and a polarization regulator(54). The second annular optic fiber laser resonator comprises a dispersal compensating fiber(62) and a polarization regulator(61).
Abstract translation: 目的：提供一种具有双环形谐振器结构的超高频调制激光束发生器，通过改变激光的特定模式的偏振和波长来扩大激光光源的调制频率范围。 构成：第一环形光纤激光器（50）谐振器具有与第二环形光纤激光谐振器（60）不同的长度。 光纤耦合器（70）将第一环形光纤激光谐振器与第二环形光纤激光谐振器耦合以振荡双激光模式，从而引起双激光模式之间的跳动现象。 第一和第二环形光纤激光谐振器中的每一个具有用于调制输出光线的频率的偏振调节器。 第一环形光纤激光谐振器包括用于放大光线的光纤（51），用于非线性偏振效应的分散补偿光纤（52），光学方向调节器（53）和偏振调节器（54）。 第二环形光纤激光谐振器包括分散补偿光纤（62）和偏振调节器（61）。
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公开(公告)号：KR100301110B1
公开(公告)日：2001-09-06
申请号：KR1019980050207
申请日：1998-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L39/24
Abstract: 본 발명은 스퍼터링 증착 장비에 관한 것으로, 증착실 분리대에 의해 증착영역과 가열영역으로 분리된 박막 증착실과, 증착실 분리대의 중앙부를 관통하도록 설치되며, 증착 분리대를 중심으로 기판을 회전시키기 위한 기판지지대와, 증착영역의 상하부에 각각 설치된 소결체 타겟과, 가열영역의 상하부에 각각 설치된 기판 가열기를 포함하여 이루어지며, 소결체 타겟과 기판간에 인가되는 고주파전력에 의해 발생된 플라즈마에 의해 회전하는 지름이 2 내지 3인치 크기의 MgO, SrTiO
3 , LaAlO
3 , Al
2 O
3 , LaSrGaO
4 대면적 산화물 단결정 기판의 양쪽면에 타겟물질이 증착되도록 구성된다.-
公开(公告)号：KR100194617B1
公开(公告)日：1999-07-01
申请号：KR1019950051468
申请日：1995-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/18
Abstract: 본 발명은 펄스레이저를 사용한 YBa
2 Cu
3 O
7-x 고온초전도 박막의 증착방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 펄스레이저를 사용한 YBCO 고온초전도 박막증착 방법은, 펄스레이저를 YBCO 고온초전도 소결체 타깃의 표면에 조사하여 기판에 고온초전도 박막을 증착하는 펄스레이저 박막증착 방법에 있어서, 상기한 YBCO판에 소결체 타깃을 연속회전시키면서, YBCO 소결체 타깃 표면에 조사되는 펄스레이저의 입사수, 입사율 및 입사 에너지밀도를 제어함으로써 YBCO 소결체 타깃표면의 평탄화를 유지하여 고온초전도 박막을 증착하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 YBCO 고온초전도 박막증착방법에 의하면, 표면입자밀도가 10
4 개/㎠이하로 대폭 감소되어, 초전도 특성이 보다 우수한 YBCO 고온초전도 박막을 형성할 수 있다는 것이 확인되었다.
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