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公开(公告)号：KR1019980044519A
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR1019960062612
申请日：1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B01D53/26
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
반도체 장치.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
인체에 유해하지 않으면서 제습효과가 뛰어남은 물론 재생이 가능하여 반영구적으로 사용할 수 있는 제습장치를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
분위기 제어를 위해 습기를 제거하기 위한 충전물 및 상기 충전물의 양단에 형성되어 상기 충전물이 외부의 기기나 장치를 오염시키는 것을 방지하기 위한 분리수단을 구비하는 제습장치에 있어서, 상기 충전물은 제오라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 제습장치를 제공하고자 함.
4. 발명의 중요한 용도
분위기 제어를 위해 제습을 필요로 하는 기기 또는 실험장치에 설치되는 제습장치에 이용됨.-
公开(公告)号：KR1019980034541A
公开(公告)日：1998-08-05
申请号：KR1019960052624
申请日：1996-11-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M10/38
Abstract: 본 발명은 리튬 고분자 2차전지의 양전극 물질 및 음전극 물질의 밸런싱에 관한 것으로, 특히 리튬 전지의 제작시 종래의 방법인 양전극 물질과 리튬 금속과의 밸런싱과, 음전극 물질과 리튬 금속과의 밸런싱을 각각 수행한 후, 이로부터 얻은 최적화된 양전극과 음전극의 양을 결정하는 방법과는 달리 리튬 고분자 전지의 양전극 물질과 음전극 물질을 동시에 밸런싱 할 수 있도록 한 리튬 폴리머 2차전지 밸런싱 셀의 구조 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019970054753A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950051461
申请日：1995-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M10/04
Abstract: 본 발명은 리튬 고분자 2차전지의 제조방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 고체 고분자 전해질을 이용하여 새로운 구조를 지닌 리튬 고분자 2차전지를 간단한 공정에 의해 경제적으로 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 리튬 고분자 2차전지 제조방법은, 전극 지지체의 양단을 제외한 부분 상에 양전극 슬러리(slurry)를 도포하고 건조 및 프레싱하여 일단의 금속망을 절개하는 공정; 전기한 공정에 의해 얻어진 전극 지지체의 타단에 존재하는 전극 지지체의 일측에 탭(tap)를 부착하고 나머지 전극 지지체 부분을 절개하여 양전극을 제조하는 공정; 전기한 공정에 의해 얻어진 전극상에 고분자 지지체와 고체 고분자 전해질로 이루어진 고분자 전해막을 부착하고 라미네이팅(Laminating)하는 공정; 및, 상기한 양전극의 제조공정과 동일한 공정을 거쳐 제조된 음전극을 상기한 공정에서 얻어진 고분자 전해막 상에 라미네이팅하여 3층의 단위셀을 제조하는 공정을 포함한다.-
公开(公告)号：KR1019960019638A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019940031730
申请日：1994-11-29
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 뒷면에 두 파장의 적외선을 조사할 때, 웨이퍼의 온도 변화에 따라 수반되는 두께 및 굴절율 변화로 인하여 발생하는 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 감지하여 웨이퍼 온도를 측정하는 장치에 관한 것이다.
본 발명은 광원으로서 서로 다른 파장을 갖는 적외선을 각각 방출하는 제1 및 제2적외선 레이저와, 상기 적외선 레이저에서 방출된 적외선들을 웨이퍼가 장착된 진공챔버내로 입사시키기 위해 챔버벽에 형성된 광학창과, 이 광학창을 투과한 레이저빔이 웨이퍼 후면에 입사되도록 레이저 빔의 광경로를 조정하기 위한 프리즘과, 상기 광학창을 통하여 웨이퍼에서 반사된 빔을 반사시키기 위한 플라라이저(polarizer)와, 상기 플라라이저에서 반사된 빔을 파장별로 분리하기 위한 2색(dichroic) 빔 분리경과, 상기 2색빔 분리경을 통하여 분리된 적외선들을 각각 감지하기 위한 적외선 센서, 및 상기 적외선 센서들에서 감지된 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 비교하는 위상 비교기(phase comparator)를 구비하여 웨이퍼 전면의 상태와 관계없이 공정중에 in-situ, 비 접촉으로 웨이퍼 온도와 아울러 온도의 중,감소 방향을 측정할 수 있다.-
Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019930008525A
公开(公告)日：1993-05-21
申请号：KR1019910018987
申请日：1991-10-28
IPC: G03F7/26
Abstract: 본 발명은 반도체장치를 제조하는 방법으로 실리콘산화막의 경사진 식각단면을 간단하게 형성하는 습식식각방법에 관한 것이다.
본 발명은 열적산화막(2)을 식각하기 위한 식각용액으로서 NH
4 F와 HF의 혼합비가 6 : 1 혹은 7 : 1인 BHF(Buffered HF) 용액에 에탄올(C
2 H
5 OH : 99.8%)을 상기 BHF용액 용적의 1% 내지 7%로 혼합한 에탄올 첨가 BHF용액을 사용하여 습식식각함으로서 종래의 경사진식각단면을 얻기 위한 추가공정의 소요 및 재현성의 문제 등을 해결하고 고내압소자, 다층배선소자 등의 반도체장치 제작시 산화막 상층에 적층되는 각종 박막의 스텝커버리지(step coverage)를 향상시킨다.-
公开(公告)号：KR100237374B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019960064698
申请日：1996-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M10/08
Abstract: 본 발명은 한정된 용적에서 전지의 용량을 증가시키고 편극화와 단락의 위험을 줄임으로써 종래의 전지보다 우수한 특성을 지닌 리튬 폴리머 2차전지 멀티셀과, 그것의 개선된 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 리튬 폴리머 2차전지 멀티셀은, (음전극/고분자 전해막/양전극) 또는 (양전극/고분자 전해막/음전극)으로 구성된 복수개의 단위셀이 직렬로 적충되거나 또는 병렬로 연결되며, 상기한 양전극 및 음전극을 구성하는 집전체가 동일한 전극끼리 한 방향으로 모이도록 하여 일체로 구성된 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 따른, 리튬 폴리머 2차전지 멀티셀의 제조방법은, 음극 집전체(1,1')상에 음전극 물질(2)의 슬러리를 도포하고 건조시켜 음전극을 형성하는 단계와, 양극 집전체(4,4') 상에 양전극 물질(5)의 슬러리를 도포하고 건조시켜 양전극을 형성하는 단계와, 고분자 전해액을 박판 상에 캐스팅하고 박판으로부터 분리시켜 고분자 전해막(3)을 형성하는 단계와, 상기 단계에서 얻어진 양전극, 음전극 및 고분자 전해막(3)을 (음전극/고분자 전해막/양전극) 또는 (양전극/고분자 전해막/음전극)의 순서로 배열하고 접합하여 단위셀을 제조하는 단계와, 상기한 복수개의 단위셀을 직렬로 적층하거나 또는 병렬로 연결하고, 상기한 양전극 및 음전극을 구성하는 집전체(1,1' 또는 4,4')가 동일한 전극끼리 한 방향으로 모이도록 하여 인접한 전극을 일체로 구성� �는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019990052169A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970071618
申请日：1997-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M4/38
Abstract: 일반적으로 리튬 2차전지는 양극, 전해질, 음극으로 구성된다. 종래의 4V급 양극물질로 알려진 리튬-망간 산화물은 가격이 저렴하고 실제 용량이 110mAh/g 정도로 비교적 높으나, 화학량론적인 화합물의 제조가 어렵고, 사이클의 반복에 따른 결정구조 변형에 의해 용량 감소 등의 전극특성이 열화되는 단점이 있다.
본 발명에서는 상기의 단점을 개선하기 위해 망간 대신 철을 치환한 리튬-철-망간화합물(LiFe
x Mn
2-x O
4 )을 제안한다. 상기의 리튬-철-망간 화합물은 리튬-망간 화합물과 비슷하거나 큰 방전용량을 가지며 구조적으로도 안정하여 사이클 반복에 따른 용량 감소가 적을 뿐만 아니라 높은 전압영역(5V)에서의 용량도 높아 4V 이상의 고전압 전지에의 전극물질로서 적용이 가능하다.-
公开(公告)号：KR1019990047338A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970065695
申请日：1997-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M4/02
Abstract: 본 발명은 5 Ⅴ급 리튬 2차 전지 및 그 양극용 물질 리튬-크롬-망간 산화물 제조 방법에 관한 것으로, 특히 종래의 리튬 2차 전지 양극용 물질인 리튬-망간 산화물에 크롬을 치환하여, 구조적으로 안정하고 용량 감소가 적어 고전압 전극 물질로 유용한 양극용 물질을 제조하는 방법과 이를 이용한 5 V급 리튬 2차 전지에 관한 것이다.
종래의 4 V급 양극 물질로 알려진 리튬-망간 산화물은 가격이 저렴하고 실제 용량이 110 mAh/g 정도로 비교적 높으나, 화학량론적인 화합물의 제조가 어렵고, 사이클의 반복에 따른 결정 구조 변형에 의해 용량 감소 등의 전극 특성이 열화되는 단점이 있다.
본 발명에서는 망간 대신 크롬을 치환한 리튬-크롬-망간 화합물을 제조하여 구조적으로 안정하여 사이클 반복에 따른 용량 감소가 적으며, 높은 전압 영역에서 용량이 높아 고전압 전극 물질로 사용 가능하도록 하는 방법을 제시한다.
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