公开(公告)号：KR1020140127591A

公开(公告)日：2014-11-04

申请号：KR1020130046127

申请日：2013-04-25

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 권성원 ,  김문석 ,  김규태

IPC: H02N11/00 ,  H01L35/28

CPC classification number: H02N11/002 ,  H01L35/28 ,  H01L35/34

Abstract: 본 발명은 교류전압을 정밀하게 측정하기 위한 단일접합 열전변환기(Single-Junction Thermal Converter)에 관한 발명으로서, 입력전압과 출력전압을 증가시킬 수 있고, 정격입력전압을 사용자가 원하는 값으로 손쉽게 설계할 수 있는 열전변환기 및 그 작동방법에 관한 것이다. 본 발명의 일례와 관련된 단일접합 열전변환기는, 측정하고자 하는 교류전압을 입력받는 신호입력부, 상기 교류전압에 의해 생성된 전류를 입력받아 열을 발생시키는 히터, 상기 히터와 전기적으로 절연되어 있으며, 상기 히터에 의해 발생된 열을 외부로 전달시키는 유리구슬, 상기 유리구슬에 의해 전달된 열을 전압으로 변환시켜 출력하는 열전대 및 상기 히터와 직렬로 연결되어 정격입력전압을 증가시키는 배율저항을 포함하되, 상기 정격입력전압은 상기 히터와 상기 배율저항에 걸리는 전압일 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于精确测量交流电流的单结热转换器。 本发明涉及增加输入电压和输出电压并具有设计成具有用户想要的值的额定输入电压的多结热转换器及其操作方法。 与本发明实施例相关的单结热转换器包括用于输入要测量的AC电压的信号输入部分; 接收由交流电压产生的电流并产生热量的加热器; 与加热器电绝缘的玻璃珠，将由加热器产生的热量传递到外部; 热电偶，其转换由玻璃珠传输的热量并输出; 以及与加热器串联连接并增加额定输入电压的放大率电阻。 额定输入电压可以是施加到加热器的电压和放大电阻。

公开(公告)号：KR101241282B1

公开(公告)日：2013-03-15

申请号：KR1020110142114

申请日：2011-12-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김규태 ,  박포규 ,  김완섭 ,  김문석

IPC: G01R19/252 ,  G01R35/00

Abstract: PURPOSE: A current frequency transforming device, a device for assessing a device to be corrected, a method thereof, and a recording medium are provided to implement in a room temperature, not using a refrigerant. CONSTITUTION: A current input unit(100) receives the input of a current from a current source(10) providing a source current. A motor(200) includes a permanent magnet and a coil is rotated by the source current. An attenuator(300) generates a rotary friction coefficient proportional to the magnetic flux density of the motor. A frequency output unit(400) outputs the frequency which corresponds to the source current depending on the rotation of the motor. [Reference numerals] (100) Current input unit; (200) Motor; (300) Attenuator; (400) Frequency output unit

Abstract translation: 目的：提供一种当前的变频装置，用于评估待校正装置的装置，其方法和记录介质，以在不使用制冷剂的情况下在室温下实现。 构成：当前输入单元（100）从提供源电流的电流源（10）接收电流的输入。 电动机（200）包括永磁体，并且线圈由源电流旋转。 衰减器（300）产生与电机的磁通密度成比例的旋转摩擦系数。 频率输出单元（400）根据电动机的旋转输出与源极电流对应的频率。 （附图标记）（100）电流输入单元; （200）电机; （300）衰减器; （400）频率输出单元

公开(公告)号：KR101052209B1

公开(公告)日：2011-08-01

申请号：KR1020080115507

申请日：2008-11-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김규태 ,  김문석 ,  정연욱

IPC: G01R19/155

Abstract: 본 발명은 음의 가변 바이어스 저항을 갖는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스 및 그 바이어스를 이용한 프로그레머블 조셉슨 어레이 전압측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 프로그레머블 조셉슨 어레이의 전압파형을 얻기 위해 작동점을 결정하는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스에 있어서, 조절 가능한 바이어스 전압과 프로그레머블 조셉슨 어레이에서 형성된 전압전류 특성의 전압을 공급받아 음의 가변 바이어스 저항을 통하여 바이어스 전류를 발생시켜 프로그레머블 조셉슨 어레이에 공급하는 전압전류변환기; 및 전압전류 특성의 전압을 전압전류변환기에 공급하는 OP앰프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 음의 가변 출력저항을 갖는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스이다.
프로그레머블 조셉슨 어레이, 전압전류 변환기, 바이어스, 음의 가변 바이어스 저항, PJA 전압전류 특성, 바이어스 전류의 로드라인, 작동점, PJA 전압파형

公开(公告)号：KR100968896B1

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：KR1020080013787

申请日：2008-02-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김규태 ,  송운 ,  김문석 ,  정연욱 ,  김완섭

IPC: G01R27/26

Abstract: 본 발명은 복소 전기용량 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 크기 및 위상이 다른 두 개의 독립적인 가변전압원과 저항을 이용하여 브릿지 법에 의해 복소 전기용량을 측정하는 복소 전기용량 측정 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은 브릿지 법에 의한 복소 전기용량 측정 장치에 있어서, 전압이 인가되는 제 1 가변전압수단 및 제 2 가변전압수단, 저항, 및 전기용량이 측정되는 커패시터의 순으로 직렬 연결되어 폐루프를 형성하며 상기 제 1 가변전압수단 및 제 2 가변전압수단의 사이와 상기 저항 및 커패시터 사이에 병렬 연결되는 탐지수단을 포함하여 구성되는 특징이 있다.
커패시턴스, 전기용량, 위상, 브릿지

公开(公告)号：KR1020100011062A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：KR1020080072110

申请日：2008-07-24

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김완섭 ,  김문석 ,  김영균 ,  박포규 ,  김규태

IPC: B01L7/00 ,  F25B21/02 ,  A47J27/21

Abstract: PURPOSE: A fluid thermostat without electro-magnetic interference is provided to exclude the electro-magnetic interference by separating a power part and a temperature control part generating an electromagnetic field with a chamber part. CONSTITUTION: A fluid thermostat without electro-magnetic interference comprises the following: a chamber part(10) with a temperature sensor measuring temperature of fluid and discharging the fluid; a fluid circulation connection pipe(20) connected to a chamber part and circulating the fluid; a temperature adjusting part(30) controlling a thermostat state of the fluid; a power part(50) supplying power to the temperature adjusting part; and a control part(40) controlling the temperature adjusting part and the power part.

Abstract translation: 目的：提供无电磁干扰的流体恒温器，通过分离功率部件和产生电磁场的温度控制部件与腔室部件来排除电磁干扰。 构成：没有电磁干扰的流体恒温器包括：具有测量流体温度并排出流体的温度传感器的室部分（10） 流体循环连接管（20），连接到腔室部分并使流体循环; 控制流体的恒温状态的温度调节部（30） 功率部件（50），其向所述温度调节部供电; 以及控制温度调节部和功率部的控制部（40）。

公开(公告)号：KR100820312B1

公开(公告)日：2008-04-07

申请号：KR1020060136399

申请日：2006-12-28

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 유광민 ,  한권수 ,  강전홍 ,  김한준 ,  김규태 ,  김완섭 ,  류제천

IPC: G01R27/02

CPC classification number: G01R27/02

Abstract: A method for calculating a variable value from a ratio value obtained by comparing variables of plural resistors, using trigonometry, or comparing variables of two resistors is provided to exclude the cost for movement and correction and to compute the desirable variable value directly in the site. A method for calculating a variable value from a ratio value obtained by comparing variables of plural resistors is composed of: an object selection step for choosing plural objects having stability and decomposition rate over accuracy of a variable value of the resistor to be measured(S10); a variable value calculating step for repeating a process for measuring the ratio value by choosing variable values X and S from plural objects and determining each final variable value by substituting the obtained ratio value for the ratio measuring formula(S20); a first repeated calculation step for designating a preceding number of the ratio values of two final places as alpha, a following number as beta, and the number of cases corresponding to alpha of plural measured ratio values, as [alpha/alpha'], selecting the number of cases satisfying the following inequality, alpha>alpha' or alpha beta' or beta

Abstract translation: 提供了从通过比较多个电阻器的变量，使用三角法或比较两个电阻器的变量获得的比值来计算变量值的方法，以排除运动和校正的成本，并直接在现场计算所需的变量值。 用于从通过比较多个电阻器的变量获得的比值中计算可变值的方法包括：对象选择步骤，用于选择具有稳定性和分解速率超过待测电阻器的可变值精度的多个对象（S10） ; 变量值计算步骤，用于通过从多个对象中选择可变值X和S来重复测量所述比值的处理，并通过将所获得的比值代入所述比率测量公式来确定每个最终变量值（S20）; 第一重复计算步骤，用于将两个最终位置的前一数量的比例值指定为α，以下数字为β，以及对应于多个测量的比值的α的情况的数量为αα，选择 满足以下不等式的情况的数量，α>α'或α<α'，并且重复计算，直到剩下的α个数之一为止（S30）; 以及第二重复计算步骤，通过相同的α计算方法（S40）计算以下数量β以满足以下不等式β>β'或β<β'。

公开(公告)号：KR100815604B1

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：KR1020060031075

申请日：2006-04-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박승남 ,  정재갑 ,  김규태

IPC: G06Q50/04

Abstract: 본 발명은 직류-저주파 교정기의 원격 교정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 클라이언트 컴퓨터(50)가 네트워크(10)를 통해 웹서버(22)에 접속하여 설치 프로그램을 다운로드하여 교정 프로그램을 설치하는 단계(S100); 상기 교정 프로그램을 실행하는 단계(S110); 상기 클라이언트 컴퓨터(50)가 GPIB를 스캔하여 연결상태 및 연결주소를 판독하는 단계(S120); 상기 클라이언트 컴퓨터(50)가 DB 서버(30)에 GPIB 명령어를 요청하는 단계(S130); 수신된 GPIB 명령어를 MTS(60)로 전송하고, 교정기(70)를 대상으로 한 상기 MTS(60)의 응답을 상기 DB 서버(30)로 회신하는 단계(S140); 및 상기 DB 서버(30)가 회신된 응답을 테이블(32)에 저장하고, 응답의 편차로부터 불확도를 평가하는 단계(S150);로 구성되고, 상기 클라이언트 컴퓨터(50)에는 상기 MTS(60) 및 상기 교정기(70)와 통신하기 위하여 IEEE 488.2 통신 프로토콜 수단(56)을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.
직류, 저주파, 원격, 교정, 네트워크, 인터넷, GPIB, 통신, 불확도

公开(公告)号：KR1020080017127A

公开(公告)日：2008-02-26

申请号：KR1020060078541

申请日：2006-08-21

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정재갑 ,  김규태 ,  강전홍 ,  이상화 ,  김명수

IPC: G01R33/02

CPC classification number: G01R33/02 ,  G01R13/02 ,  G01R29/12 ,  G01R35/005

Abstract: An apparatus for correcting a high voltage generating device by using a plate electrode and a method for using the same are provided easily to measure a high voltage with a sensor detecting an electric field. An apparatus for correcting a high voltage generating device by using a plate electrode includes an upper metal plate electrode(40) formed with predetermined area and thickness. A lower metal plate electrode(30) is installed for the lower metal plate electrode to be in parallel to the metal plate electrode. The upper metal plate electrode and the lower metal plate electrode are fixed by a movable supporting plate. An electric field measuring sensor(10) is installed at an upper end of the lower metal plate electrode. An outer power source(20) is connected to the upper metal plate electrode and the lower metal plate electrode. The outer power source applies power source to the upper metal plate electrode and the lower metal plate electrode. A digital oscilloscope(60) is connected to the electric field sensor to measure an output voltage between the upper metal plate electrode and the lower metal plate electrode.

Abstract translation: 通过使用平板电极校正高电压产生装置的装置及其使用方法容易地利用检测电场的传感器来测量高电压。 通过使用平板电极校正高电压产生装置的装置包括形成有预定面积和厚度的上金属板电极（40）。 下金属板电极（30）安装成与金属板电极平行。 上金属板电极和下金属板电极由可动支撑板固定。 电场测量传感器（10）安装在下金属板电极的上端。 外部电源（20）连接到上部金属板电极和下部金属板电极。 外部电源将电源施加到上部金属板电极和下部金属板电极。 数字示波器（60）连接到电场传感器以测量上金属板电极和下金属板电极之间的输出电压。

公开(公告)号：KR1020070099821A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：KR1020060031075

申请日：2006-04-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박승남 ,  정재갑 ,  김규태

IPC: G06Q50/04

CPC classification number: G06Q50/04 ,  G08C2201/42

Abstract: A system for remotely calibrating a DC-low frequency calibrator is provided to enable a central part to calibrate the remote DC-low frequency calibrator without an expert or an experienced person through the network by downloading and installing a calibration program to a client computer, and keep a national standard and retroactive property by determining an inaccurate level from a calibration result. An installer installs the calibration program by downloading an installation program from a web server(22) through the network(10). A reader reads a connection state and address by scanning a GPIB(General Purpose Interface Bus) in the client computer(50). A database server(30) includes/transmits GPIB commands according to a request of the client computer. An MTS(Multifunction Transfer Standard)(60) calibrates the calibrator(70) based on the received GPIB commands and outputs the calibration result as a response signal. An evaluator evaluates the inaccurate level of the calibrator based on the response signal. The client computer includes a display part sequentially displaying the GPIB commands and the corresponding response signal of the MTS.

Abstract translation: 提供用于远程校准DC-low频率校准器的系统，以使得中心部分能够通过下载并将校准程序安装到客户端计算机而通过网络无需专家或有经验的人来校准远程DC-低频校准器，以及 通过确定校准结果的不准确水平，保持国家标准和追溯性。 安装程序通过从Web服务器（22）通过网络（10）下载安装程序来安装校准程序。 读取器通过扫描客户端计算机（50）中的GPIB（通用接口总线）来读取连接状态和地址。 数据库服务器（30）根据客户端计算机的请求包括/发送GPIB命令。 MTS（多功能传输标准）（60）根据接收的GPIB命令对校准器（70）进行校准，并输出校准结果作为响应信号。 评估者根据响应信号评估校准器的不准确水平。 客户端计算机包括依次显示GPIB命令的显示部分和MTS的对应响应信号。

公开(公告)号：KR100631822B1

公开(公告)日：2006-10-09

申请号：KR1020040073234

申请日：2004-09-14

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김규태 ,  김문석

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 스퍼터링 챔버와 같은 고온 플라즈마 공정챔버의 초전도 금속막의 물리적 특성의 저하와 포토레지스터층의 열손상을 방지하도록 더 양호한 열적접촉 및 효율적인 열전달을 위한 기판냉각 장치 및 냉각방법에 관한 것으로서, 플라즈마 공정챔버의의 기판냉각장치에 있어서, 일측에 게이트 밸브를 통해 로드락 챔버가 장착된 메인챔버; 메인챔버의 내측 소정 높이에 가로방향으로 고정설치된 냉각판; 메인챔버의 저면 소정위치에 형성된 밀봉대를 통해 수직이동되는 승강장치; 메인챔버 내측에 위치하고 승강장치의 상부에 고정연결된 기판 탑재판; 및 기판 탑재판 상부에 구비된 기판홀더;를 포함하며, 기판 탑재판의 상부면에는 기판홀더와 반도체 웨이퍼가 순차적으로 탑재되고, 메인챔버의 내측 상단 소정위치에 스퍼터링 타겟이 설치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 기판은 부드러운 동판으로 제조된 기판홀더위에 고정되며, 기판홀더는 막증착을 위해 챔버내에 로드되고, 로드된 후에 기판홀더는 챔버내에 설치된 냉매가 순환되는 냉각판의 바닥면에 밀착접촉되도록 상승된다. 기판냉각장치는 단일기판을 가진 챔버 뿐만 아니라 다중기판이 포함되고 제어회전부가 기판의 선택에 사용되는 챔버에도 적용될 수 있다.
메인챔버, 게이트 밸브, 로드락 챔버, 밀봉대, 냉각판, 승강장치, 벨로우즈, 기판 탑재판, 제어회전부, 기판홀더, 기판커버, 반도체 웨이퍼, 스퍼터링 타겟

Abstract translation: 本发明涉及一种用于高温等离子体处理室中，有效的热传递超导金属膜的更好的热接触和衬底冷却装置和冷却方法，例如溅射室，以便防止对降解的热损伤和物理性质的光致抗蚀剂层，等离子体处理 1。一种腔室用基板冷却装置，其特征在于，包括：主腔室，其具有通过闸阀安装在其一侧的负载锁定腔室; 横向固定于主室的预定内部高度的冷却板; 提升装置垂直移动通过​​形成在主腔室的底表面上的预定位置处的密封条; 基板安装板，其位于所述主室内并固定连接至所述升降装置的上部; 和具有安装板部的基板支架上的基板;其中，所述基板安装板的上表面上设置有衬底保持器，并放置在序列中的半导体晶片，其特征在于，设置在所述主腔室的上部预定位置内的溅射靶。 根据本发明，将基板固定由软铜板的衬底保持器上，所述衬底保持器被装载到室中的膜沉积，之后装入的衬底保持器是在与在所述制冷剂被安装在室内循环的冷板的底表面紧密接触 以便接触。 该基板冷却装置不仅可应用于具有单一基板的腔室，而且还可应用于其中容纳多个基板的腔室，并且控制旋转单元用于选择基板。