열진공챔버의 시편 반입리프트용 처짐보정 치구
    11.
    发明授权
    열진공챔버의 시편 반입리프트용 처짐보정 치구 有权
    用于测试加载提升装置的防止变形

    公开(公告)号:KR101684360B1

    公开(公告)日:2016-12-08

    申请号:KR1020150140063

    申请日:2015-10-06

    Abstract: 본발명에따르면, 열진공챔버(10)와반입리프트(20) 사이에배치되어반입리프트(20)에적재된시료(30)가열진공챔버(10)의내부로슬라이딩반입되는중에발생하는반입리프트(20)의처짐현상을보정하기위한열진공챔버의시편반입리프트용처짐보정치구에있어서, 상단이개구된공간부(111)가내부에마련된함체부(110); 일정길이로연장형성되어상기공간부(111) 내에승강가능하게관통삽입되며상부가상향노출되게직립배치되는승강바(120); 상기승강바(120)의상부에위치하되, 상단에는상기시료(30)의반입축선(L)과직교되는방향으로길게연장배치되어상기반입리프트(20)의상부프레임(22) 하부를지지하기위한지지판(131)이배치되며, 하부는상기승강바(120)의상단에힌지결합되어전,후방으로회동가능하게체결되는지지부(130); 및상기공간부(111) 내에탄성압축된상태로배치되어상기승강바(120)를상향가압하면서상기상부프레임(22)에편중된하중을지탱하는제1탄성부재(140);를포함하는열진공챔버의시편반입리프트용처짐보정치구를개시한다.

    퍼지박스
    12.
    发明授权
    퍼지박스 有权
    冲洗箱

    公开(公告)号:KR101683563B1

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:KR1020150171475

    申请日:2015-12-03

    Abstract: 본발명은적외선온도센서교정에사용되는흑체표면에서의수분응결을방지하기위한퍼지박스에관한것이다. 본발명의일실시예에따른퍼지박스는흑체표면이밀착되는후면패널, 상기후면패널의상부와하부에각기연결된상,하부패널, 상기상,하부패널의측면에각기연결되며주입호스가연결되는주입구가형성된좌,우측패널, 상기좌,우측패널을관통하여수직방향으로배열설치된중심축및 상기중심축에회전가능하게축 연결되며일렬로나란히설치되어격자무늬의전면패널을구성하는육면체의격자패널을포함한다. 따라서흑체표면전체에대한온도균일도를용이하게유지하면서흑체표면전체를용이하게측정할수 있어교정이용이한측면이있다.

    포트플레이트 고정장치
    13.
    发明公开
    포트플레이트 고정장치 有权
    端板紧固件

    公开(公告)号:KR1020140015792A

    公开(公告)日:2014-02-07

    申请号:KR1020120080966

    申请日:2012-07-25

    CPC classification number: B64G7/00 B25B11/00 B64G2007/005

    Abstract: The present invention relates to an apparatus for fixing a port plate and more specifically, to an apparatus for fixing a port plate capable of simply connecting a cable to an inner part and an outer part of the port plate and performing a connecting work at the most appropriate position by making it possible to move in all directions or up and down. The present invention comprises: a flange fixed part fixed at a flange of a thermal vacuum chamber; a connecting part extending at the flange fixed part; a moving body forming guide holes to be movably coupled to a traverse bar extending at the connecting part; a rotary plate rotatably coupled to the moving body; and a port plate fixing part having one end coupled to the rotary plate and the other end fixated to the port plate.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于固定端口板的装置,更具体地说,涉及一种用于固定能够简单地将电缆连接到端口板的内部和外部的端口板的装置,并且最多执行连接工作 通过使其可以在所有方向或上下移动来适当的位置。 本发明包括:固定在热真空室的凸缘处的凸缘固定部分; 在凸缘固定部分延伸的连接部分; 移动体形成导向孔,以可移动地联接到在连接部分处延伸的横动杆; 旋转板,其可旋转地联接到所述移动体; 以及端板固定部,其端部与旋转板连结,另一端固定在端口板上。

    챔버 오염 측정 센서 용 히트 싱크

    公开(公告)号:KR102246339B1

    公开(公告)日:2021-04-29

    申请号:KR1020190170595

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 본발명은베이크아웃시험시 오염물질을흡착하고, 흡착된오염물질을정량적으로측정하는센서의온도제어를위해구비되는히트싱크에관한것으로, 본발명의목적은, 펠티어효과를이용하여베이크아웃시험시 발생하는이물질이흡착되는저온면의온도를유지하도록하기위해센서와결합하는히트싱크를제공함에있다. 또한, 히트싱크는높이조절이가능하도록설치되어시편의위치와관계없이베이크아웃시험을진행할수 있는히트싱크를제공할수 있으며, 표면에복사열을차단하는 MLI를설치하여챔버내부온도에의해히트싱크의온도가상승하는것을방지할수 있는히트싱크를제공하는것을목적으로한다.

    설정 기압을 제공하는 저압 챔버

    公开(公告)号:KR101719911B1

    公开(公告)日:2017-03-24

    申请号:KR1020150103501

    申请日:2015-07-22

    CPC classification number: B01J20/02 B01L1/02 F04B37/04

    Abstract: 저압챔버의설정기압을유지하는방법이제공된다. 상기방법은상기저압챔버의내부기압을측정하는단계, 상기내부기압과상기설정기압의차이가임계치이상인경우, 상기저압챔버의내부에배치되는열전도부를이용하여상기저압챔버의내부온도를조절하는단계및 게터를이용하여상기온도조절에따라상기저압챔버내부의분자를흡착하거나방출하여상기차이가임계치미만이되도록하는단계를포함할수 있다.

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