公开(公告)号：DE69306687D1

公开(公告)日：1997-01-30

申请号：DE69306687

申请日：1993-06-01

Applicant: MOTOROLA INC

Inventor： BENNET PAUL T ,  MIETUS DAVID F ,  GUTTERIDGE RONALD J ,  RISTIC LJUBISA ,  KOURY DANIEL N

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

公开(公告)号：DE69206770T2

公开(公告)日：1996-07-11

申请号：DE69206770

申请日：1992-09-28

Applicant: MOTOROLA INC

Inventor： RISTIC LJUBISA ,  CALAWAY MICHAEL F ,  GUTTERIDGE RONALD J ,  DUNN WILLIAM C ,  KOUCHENG WU

IPC: B81B3/00 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18