公开(公告)号：FR3100082A1

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：FR1909284

申请日：2019-08-19

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： CREMER SEBASTIEN ,  BOEUF FREDERIC ,  MONFRAY STEPHANE

IPC: H01L21/70 ,  G02B6/00 ,  G02B26/06 ,  G02F1/01

Abstract: Modulateur de phase La présente description concerne un procédé comprenant les étapes suivantes : a) former un guide d'onde (100) en un premier matériau, le guide d'onde étant configuré pour guider un signal optique ; b) former une couche (106) en un deuxième matériau conducteur électriquement et transparent à une longueur d'onde du signal optique, les étapes a) et b) étant mises en oeuvre de manière que la couche (106) en le deuxième matériau soit en contact d'au moins une des faces du guide d'onde (100), ou soit séparée de ladite au moins une des faces par une distance inférieure à la moitié, de préférence au quart, de la longueur d'onde du signal optique. La demande concerne en outre un modulateur de phase, notamment obtenu par un tel procédé. Figure pour l'abrégé : Fig. 1

公开(公告)号：FR3051561B1

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：FR1654523

申请日：2016-05-20

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： BOEUF FREDERIC ,  BAUDOT CHARLES

IPC: G02B6/10 ,  G02B6/122 ,  G02B6/24

Abstract: Structure intégrée photonique tridimensionnelle comprenant un premier substrat semi-conducteur (22) incorporant au moins un premier guide d'ondes (24), un deuxième substrat semi-conducteur (32) incorporant au moins un deuxième guide d'ondes (34), et au moins une région intermédiaire (INT) située entre les deux substrats et comportant au moins une couche diélectrique (23), le deuxième substrat (3) comportant au moins un coupleur optique (36) configuré pour recevoir un signal lumineux (L1), et le premier substrat (2) et ladite au moins une couche diélectrique (23) comportant un élément réflecteur (26) situé en dessous et en regard dudit au moins un coupleur à réseau (36) et apte à réfléchir au moins une partie dudit signal lumineux (L1).