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公开(公告)号：CN1099675A
公开(公告)日：1995-03-08
申请号：CN94102138.6
申请日：1994-02-22
Applicant: 柴野佳英
CPC classification number: B06B1/0284 , B06B2201/71 , B08B3/12
Abstract: 一种超声波清洗用的超声波振子的振动方法，即按规定时间连续地交换具有超声波振子的单一固有振动频率的互不相同的整数倍(特别是奇数倍)的频率的若干种信号，用以驱动超声波振子振动，于是在清洗液中产生各种频率的超声波，使气穴分布均匀，能够有效地对工件进行清洗或去毛刺。
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公开(公告)号：CN1078666A
公开(公告)日：1993-11-24
申请号：CN92105819.5
申请日：1992-06-15
Applicant: 哈尔克罗被提名人有限公司
Inventor： B·H·坎迪
CPC classification number: B06B1/0207 , B06B2201/71
Abstract: 一种超声清洗设备和方法，其中，在一个液体容器中设有一个电子电路驱动的换能器(35)，用以在任何所需时间内使频率快速变化，以限制高凝聚污物的产生。所述电子电路中使用了两个场效应晶体管(19和20)，将方波馈送到与电感变压器(33)串联的电感器(31)和电容器(32)中，而电感变压器(33)则与换能器(35)并联。电感器(31)、电容器(32)和与换能器(35)并联的电感变压器(33)被选择成以主驱动频率而谐振。
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公开(公告)号：CN103170476B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201210574090.6
申请日：2012-12-26
Applicant: 硅电子股份公司
IPC: B08B3/12
CPC classification number: B08B3/12 , B06B2201/71 , H01L21/02052 , H01L21/67057
Abstract: 本发明提供能够在稳定的情况下实现高的颗粒去除效率的超声波清洁法。该超声波清洁法用于用超声波照射具有溶解在其中的气体的溶液以对有待在所述溶液中清洁的物品进行清洁。所述方法包括以下步骤。用超声波照射具有第一溶解的气体的浓度的所述溶液。在用超声波照射所述溶液的状态下，将所述溶液中的溶解的气体的浓度从所述第一溶解的气体的浓度改变至低于所述第一溶解的气体的浓度的第二溶解的气体的浓度。通过用超声波照射所述溶液发生声致发光，同时将所述溶液中的所述溶解的气体的浓度从所述第一溶解的气体的浓度改变至所述第二溶解的气体的浓度。
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公开(公告)号：CN103874550A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201280039420.X
申请日：2012-12-13
Applicant: 株式会社海上
IPC: B08B3/12 , H01L21/304
CPC classification number: B08B3/12 , B06B1/0253 , B06B2201/71
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。
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公开(公告)号：CN103170476A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210574090.6
申请日：2012-12-26
Applicant: 硅电子股份公司
IPC: B08B3/12
CPC classification number: B08B3/12 , B06B2201/71 , H01L21/02052 , H01L21/67057
Abstract: 本发明提供能够在稳定的情况下实现高的颗粒去除效率的超声波清洁法。该超声波清洁法用于用超声波照射具有溶解在其中的气体的溶液以对有待在所述溶液中清洁的物品进行清洁。所述方法包括以下步骤。用超声波照射具有第一溶解的气体的浓度的所述溶液。在用超声波照射所述溶液的状态下，将所述溶液中的溶解的气体的浓度从所述第一溶解的气体的浓度改变至低于所述第一溶解的气体的浓度的第二溶解的气体的浓度。通过用超声波照射所述溶液发生声致发光，同时将所述溶液中的所述溶解的气体的浓度从所述第一溶解的气体的浓度改变至所述第二溶解的气体的浓度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1034399C
公开(公告)日：1997-04-02
申请号：CN94102138.6
申请日：1994-02-22
Applicant: 柴野佳英
CPC classification number: B06B1/0284 , B06B2201/71 , B08B3/12
Abstract: 一种超声波清洗用的超声波振子的振动方法，即按规定时间连续地交换具有超声波振子的单一固有振动频率的互不相同的整数倍(特别是奇数倍)的频率的若干种信号，用以驱动超声波振子振动，于是在清洗液中产生各种频率的超声波，使气穴分布均匀，能够有效地对工件进行清洗或去毛刺。
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公开(公告)号：EP2906363B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：EP13794949.1
申请日：2013-10-15
Applicant: Alphasonics Ultrasonic Cleaning Systems Ltd.
Inventor： JONES, David Stanley , HODGSON, Neil
CPC classification number: B08B3/12 , B06B1/0207 , B06B1/0276 , B06B1/0284 , B06B2201/71
Abstract: An ultrasonic cleaning apparatus comprising: a tank for in use receiving a cleaning liquid and an item to be cleaned; a plurality of transducers arranged, when driven, to direct ultrasonic pressure waves into the tank; and a controller arranged in use to drive the transducers. First and second transducers from the plurality of transducers are arranged in use to direct ultrasonic pressure waves into an overlapping volume; and the controller is arranged in use to drive the first and second transducers to produce ultrasonic pressure waves at different frequencies from each other. The controller is arranged to in use produce first and second drive signals for the transducers using first and second frequency generators to each switch between primary and secondary operation, with the sequential switching taking place to cause different combinations of primary and secondary operation for the first and second frequency generators to occur over time.
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公开(公告)号：JP2006110418A
公开(公告)日：2006-04-27
申请号：JP2004298104
申请日：2004-10-12
Applicant: Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd , Univ Of Tokyo , 国立大学法人 東京大学 , 日立プラント建設株式会社
Inventor： MATSUMOTO YOICHIRO , IKEDA TEIICHIRO , YOSHIZAWA SUSUMU , SAWARA TERUTAKA , TSUMAKI NOBUO , KITADA YOSHIMITSU
CPC classification number: B08B3/12 , B06B2201/71 , B08B3/02 , B08B2203/0288 , G10K11/352
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means enabling an effective removal of particles adhered to a surface of a glass substrate, organic contaminants or the like without damaging or breaking the surface.
SOLUTION: An ultrasonic cleansing apparatus 10 ultrasonic-cleansing smudge adhered to the surface 14A of the glass substrate 14 with a cleaning liquid to which an ultrasonic wave is applied comprises a cleaning tank 12 retaining the cleaning liquid 11, a support stand 16 supporting the glass substrate 14 in the cleaning liquid 11, an ultrasonic generating means 20 converging a first ultrasonic wave of frequency 1-10 MHz and a second ultrasonic wave of frequency one-half or less the first ultrasonic wave alternatively toward the glass substrate 14, a converging position adjusting means 22 adjusting a distance from a converging position P to converge to the surface 14A of the glass substrate 14, and a moving means 24 to move the support stand 16 such that the effect of the ultrasonic wave by the ultrasonic generating means 20 may spread over the surface of a material to be washed all over.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPIAbstract translation: 要解决的问题：提供能够有效去除附着在玻璃基板，有机污染物等的表面上的颗粒而不损坏或破坏表面的手段。 解决方案：超声波清洗装置10用施加有超声波的清洗液附着在玻璃基板14的表面14A上的超声波清洗装置包括保持清洗液11的清洗槽12，支撑架16 将玻璃基板14支撑在清洗液11中，将频率为1-10MHz的第一超声波和第一超声波的一半以下的第二超声波交替地朝向玻璃基板14会聚的超声波发生单元20， 调整从会聚位置P到玻璃基板14的表面14A的距离的会聚位置调整单元22，以及使支撑架16移动的移动单元24，使得超声波发生单元 20可以遍布待洗涤材料的表面。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI
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公开(公告)号：EP2734384A2
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：EP12742820.9
申请日：2012-07-10
Applicant: Weber Ultrasonics GmbH
Inventor： WEBER, Dieter , WEBER, Markus , DREYER, Thomas
CPC classification number: B06B1/0207 , B06B2201/40 , B06B2201/71 , B06B2201/74 , B08B3/12
Abstract: A method for operating an ultrasound device (1) is proposed, which ultrasound device (1) comprises at least one ultrasound oscillator (3) and at least one ultrasound generator (2), which ultrasound oscillator (3) is prompted to oscillate by the ultrasound generator (2), which method is distinguished in that during operation of the ultrasound device (1) a temperature (T) of the ultrasound oscillator (3) is ascertained, and in that the ascertained temperature (T) is taken as a basis for modifying a power delivered by the ultrasound generator (2) to the ultrasound oscillator (3), to which end an actual variable (IL, ILS) and/or a setpoint variable (SL) for a control loop of the ultrasound generator (2) is/are altered in said control loop. In addition, a regulatory circuit (6) for an ultrasound device (1) and also an ultrasound device (1) are proposed which are suitable for carrying out the method.
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公开(公告)号：EP0612570B1
公开(公告)日：1997-06-25
申请号：EP94301254.2
申请日：1994-02-22
Applicant: Shibano, Yoshihide
CPC classification number: B06B1/0284 , B06B2201/71 , B08B3/12
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